光调制器及使用该光调制器的光发送装置的制作方法

1.本发明涉及一种光调制器及使用该光调制器的光发送装置，该光调制器具备对在信号输入端子与光调制元件的信号电极之间的电信号的传输进行中继的中继基板。


背景技术：

2.在高速/大容量光纤通信系统中，较多地使用装入有波导型的光调制元件的光调制器。其中，将具有光电效应的linbo3(以下，也称为ln)使用于基板的光调制元件能实现光的损失少且宽带的光调制特性，因此广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。
3.在该使用了ln基板的光调制元件中，设有马赫-曾德尔型光波导和用于向该光波导施加作为调制信号的高频电信号的信号电极。并且，设置于光调制元件的这些信号电极经由在收容该光调制元件的光调制器的壳体内设置的中继基板，与设置于该壳体的作为信号输入端子的引脚或连接器连接。由此，通过在搭载有用于使光调制器进行调制动作的电子电路的电路基板上连接上述作为信号输入端子的引脚或连接器，将从该电子电路输出的电信号经由上述中继基板向上述光调制元件的信号电极施加。
4.光纤通信系统中的调制方式受到近年来的传送容量的增大化的潮流的影响，qpsk(quadrature phase shift keying)、dp-qpsk(dual polarization-quadrature phase shift keying)等多值调制、向多值调制取入了偏振复用的传送制式成为主流，除了在基干光传送网络中使用之外，也正在被导入于城域网。
5.进行qpsk调制的光调制器(qpsk光调制器)、进行dp-qpsk调制的光调制器(dp-qpsk光调制器)具备被称为所谓嵌套型的成为嵌套结构的多个马赫-曾德尔型光波导，其分别具备至少一个信号电极。因此，这些光调制器具备多个信号电极，向这些信号电极赋予的高频电信号协作而进行上述dp-qpsk调制动作。具体而言，在dp-qpsk调制器中，生成分别由一对高频电信号调制的两束调制光，并将这两束调制光合成而作为一束调制光输出。
6.在这样的光调制器中，有时在形成于中继基板上的信号线路安装有用于对高频特性进行改善等的电气滤波器等的电路元件(专利文献1、2)。
7.图13是表示具备搭载有这样的电路元件的中继基板的以往的光调制器的构成的一例的俯视图。光调制器2200具备例如形成在ln基板上的作为dp-qpsk调制器的光调制元件2202；收容该光调制元件2202的壳体2204。在此，壳体2204由主体2214a和罩2214b构成。光调制器2200还具有固定于主体2214a而进行相对于上述光调制元件2202的光的输入输出的输入光纤2208及输出光纤2210。
8.在壳体2204的主体2214a还设有用于从外部的电子电路输入对光调制元件2202进行驱动的高频电信号的四个信号输入端子2224a、2224b、2224c、2224d(以下，也总称为信号输入端子2224)。具体而言，信号输入端子2224是例如作为高频同轴连接器的电连接器2216a、2216b、2216c、2216d(以下，也总称为电连接器2216)的中心电极。从信号输入端子2224分别输入的高频电信号经由收容在壳体2204内的中继基板2218向设置于光调制元件2202的四个信号电极2212a、2212b、2212c、2212d(以下，也总称为信号电极2212)的一端分
别输入，由在信号电极2212的另一端设置的具有规定的阻抗的终端器2220形成终端。
9.光调制元件2202从两个输出光波导2226a、2226b输出两束调制光，该输出的两束光由通过偏振波合成棱镜等构成的偏振波合成部2228合波成一个光束。该合波后的光经由输出光纤2210向壳体2204的外部输出。
10.图14是表示图13所示的光调制器2200中的中继基板2218及其周边的图。在光调制元件2202以信号电极2212分别构成共平面线路(cpw，coplanar waveguide)的方式设置有接地电极2222a、2222b、2222c、2222d、2222e。
11.另外，在中继基板2218上形成有将四个信号输入端子2224与光调制元件2202的四个信号电极2212分别连接的信号导体图案2230a、2230b、2230c、2230d(以下，总称为信号导体图案2230)。这些信号导体图案2230在中继基板2218上，与在基板面方向上夹着该信号导体图案2230地配置的接地导体图案2240a、2240b、2240c、2240d、2240e一起构成高频信号线路。
12.在中继基板2218的四个信号导体图案2230分别设置搭载有例如用于改善光调制器2200的高频特性的电气滤波器的部件搭载部2250a、2250b、2250c、2250d(以下，也总称为部件搭载部2250)。图15是图14所示的中继基板2218的j部的局部详情图，图16是图15中的xvi-xvi剖视向视图。这些图是示出部件搭载部2250b的结构作为部件搭载部2250的一例的图，其他的部件搭载部2250a、2250c、2250d也具有同样的结构。
13.与例如专利文献1记载的电气滤波器同样，部件搭载部2250b由在信号导体图案2230b的一部分形成作为电路元件的薄膜电阻2252b(图示斜线部分)和搭载在信号导体图案2230b上的电容器2254b构成。而且，部件搭载部2250b的信号导体图案2230b与例如其他的部分相比形成得宽幅。
14.薄膜电阻2252b是以信号导体图案2230b的一部分具有所希望的电阻值的方式将该部分以所希望的厚度形成的结构，与例如其他的部分的厚度相比形成得薄。而且，例如，电容器2254b是单板电容器，其下表面电极部分通过例如焊料而固定于在薄膜电阻2252b的一方的端部连接的信号导体图案2230b的宽幅部分上。另一方面，例如电容器2254b的上表面电极通过使用了导体引线2270的引线键合而连接于在薄膜电阻2252b的另一方的端部连接的信号导体图案2230b的宽幅部分上。由此，部件搭载部2250b构成将薄膜电阻2252b与电容器2254b并联连接而成的电气滤波器。
15.在此，如图14所示，将例如作为电气滤波器的各个部件搭载部2250以相互朝向相同方向的方式且大致以同一间隔配置的情况在制造上及检查上优选，一直以来以常识方式实施。
16.然而，上述那样的dp-qpsk光调制器当前多在100gb/s的传送率下使用，但是用于将该传送率向400gb/s以上扩大的开发也不断进展。伴随着这样的调制器动作的高频化，进行作为在上述那样的部件搭载部2250搭载的电路元件(电容器2254b等)而选定高频特性优异的部件的处理，或者使部件搭载部2250的阻抗与信号导体图案2230的线路阻抗匹配的处理等。
17.然而，上述的部件搭载部2250以例如电路元件与信号导体图案2230的物理的形状的差异、该电路元件的安装位置偏离等为起因，可能使在信号导体图案2230中传输的高频(微波)电信号产生紊乱。其结果是，上述微波电信号的一部分从部件搭载部2250泄漏，成为
泄漏微波2290(图14)，对于相邻的信号导体图案2230、光调制元件2202上的信号电极2212，可能作为噪声发挥作用。
18.而且，如上所述，在一直以来以常识方式实施的、部件搭载部2250相互朝向相同方向而以大致同一间隔配置的上述的结构中，从各个部件搭载部2250泄漏的泄漏微波可能具有相互朝向大致同一方向的指向性地传输。而且，在如dp-qpsk光调制器那样生成分别由一对高频电信号调制的两束调制光的光调制器的情况下，不仅上述的高频信号在成对的高频电信号间成为大致同相位，而且在不同的对之间也具有大致相同的高频成分，因此可能从部件搭载部2250放射相位、频率成分大致相同的泄漏微波。
19.其结果是，泄漏微波相互加强干涉，会产生如下的在以往的100gb/s传送中未想到的新的问题：对于周围的信号导体图案2230及与之连接的光调制元件2202的信号电极2212作为电气噪声发挥作用。此外，在信号导体图案2230的一部分从构成电气滤波器的部件搭载部2250产生的泄漏微波和自身的信号导体图案2230及与之连接的光调制元件2202的信号电极2212再耦合的情况下，不仅作为电气噪声发挥作用，而且也会产生使上述电气滤波器的滤波器特性劣化或变化等进一步附加的问题。
20.在先技术文献
21.专利文献
22.专利文献1：日本特开2009-244325号公报
23.专利文献2：日本特开2018-54929号公报


技术实现要素：

24.发明的概要
25.发明要解决的课题
26.从上述背景出发，在将光调制元件的信号电极与信号输入端子电连接的中继基板上设有电气滤波器等电路元件的光调制器中，要求抑制以可能从该电路元件的一部分产生的泄漏微波为起因的电气噪声、高频特性的劣化或变动，实现良好的调制特性。
27.用于解决课题的方案
28.根据本发明的一方案，提供一种光调制器，具备：光调制元件，构成为生成分别由两组电信号调制的两束调制光，每组电信号分别包含两个电信号，所述光调制元件具备多个信号电极；多个信号输入端子，输入分别向所述信号电极施加的电信号；中继基板，形成有多个接地导体图案及将所述信号输入端子与所述信号电极电连接的多个信号导体图案，并构成为通过所述信号导体图案的两个对来分别传输所述两组电信号，所述信号导体图案的每个对分别由相邻的两个所述信号导体图案构成；及壳体，收容所述光调制元件及所述中继基板，所述光调制器中，至少两个所述信号导体图案具有至少一个包含电路元件的部件搭载部，至少两个具备所述部件搭载部的所述信号导体图案构成为所述部件搭载部处的信号传输方向即第一信号传输方向互不相同。
29.根据本发明的另一方案，至少一个具备所述部件搭载部的所述信号导体图案构成为与所述信号输入端子连接的连接部分处的信号传输方向即第二信号传输方向与所述第一信号传输方向不同，及/或构成为在从与所述信号电极连接的连接部分至所述部件搭载部的区间中包含信号传输方向向与所述第一信号传输方向不同的第三信号传输方向变化
的部分。
30.根据本发明的另一方案，所述至少两个具备所述部件搭载部的所述信号导体图案包含构成所述对的两个所述信号导体图案，在构成相同的所述对的两个所述信号导体图案之间，所述第一信号传输方向互不相同。
31.根据本发明的另一方案，全部的所述信号导体图案分别具备至少一个所述部件搭载部，构成相同的所述对的两个所述信号导体图案构成为在各自的所述对中所述第一信号传输方向互不相同。
32.根据本发明的另一方案，全部的所述信号导体图案分别构成为与所述信号输入端子连接的连接部分处的信号传输方向即第二信号传输方向与所述第一信号传输方向不同，及/或构成为在从与所述信号电极连接的连接部分至所述部件搭载部的区间中包含信号传输方向向与所述第一信号传输方向不同的第三信号传输方向变化的部分。
33.根据本发明的另一方案，全部的所述信号导体图案构成为各自的所述第一信号传输方向互不相同。
34.根据本发明的另一方案，在全部的所述信号导体图案分别设置的所述部件搭载部在所述中继基板上不配置于共同的一条直线上。
35.根据本发明的另一方案，构成所述部件搭载部的所述电路元件构成电气滤波器。
36.本发明的另一方案提供一种光发送装置，具备：上述任一项的光调制器；及电子电路，输出用于使该光调制器进行调制动作的电信号。
37.需要说明的是，本说明书包含2019年9月26日提出申请的日本国专利申请特愿2019-175516号的全部内容。
38.发明效果
39.根据本发明，在中继基板上设有电气滤波器等电路元件的光调制器中，能够抑制以可能从上述电路元件的一部分产生的泄漏微波为起因的电气噪声、高频特性的劣化或变动，实现良好的调制特性。
附图说明
40.图1是本发明的第一实施方式的光调制器的俯视图。
41.图2是图1所示的光调制器的侧视图。
42.图3是图1所示的光调制器的a部详情图。
43.图4是表示第一实施方式的光调制器的第一变形例的中继基板的结构的图。
44.图5是表示第一实施方式的光调制器的第二变形例的中继基板的结构的图。
45.图6是表示第一实施方式的光调制器的第三变形例的中继基板的结构的图。
46.图7是表示第一实施方式的光调制器的第四变形例的中继基板的结构的图。
47.图8是表示第二实施方式的光调制器的结构的俯视图。
48.图9是图8所示的光调制器的b部详情图。
49.图10是表示第三实施方式的光调制器的结构的俯视图。
50.图11是图10所示的光调制器的c部详情图。
51.图12是表示本发明的第四实施方式的光发送装置的结构的图。
52.图13示出以往的光调制器的结构的一例。
53.图14是表示以往的光调制器中的中继基板的周边的局部详情图。
54.图15是表示图14所示的j部的详情的局部详情图。
55.图16是图15所示的局部详情图的xvi-xvi剖视向视图。
具体实施方式
56.通常，由中继基板的部件搭载部产生的泄漏微波以该部件搭载部为点波源而整体地扩展，但是具有沿着该部件搭载部中的信号导体图案的高频信号的传输方向的指向性。本发明通过将搭载各个部件搭载部的信号导体图案上的部分的朝向(延伸方向)、位置设为规定的朝向、位置，抑制上述具有指向性的泄漏微波相互增强而作为电气噪声发挥作用或在自身的信号导体图案上再耦合而使高频特性变动的情况，实现良好的调制特性。需要说明的是，以下，“泄漏微波的方向”是指对于泄漏微波的上述指向性的方向。
57.以下，参照附图，说明本发明的实施方式。
58.[第一实施方式]
[0059]
首先，说明本发明的第一实施方式。图1是表示本发明的第一实施方式的光调制器100的结构的俯视图，图2是光调制器100的侧视图，图3是图1中的a部的局部详情图。
[0060]
光调制器100具备光调制元件102、收容光调制元件102的壳体104、用于使光向光调制元件102入射的输入光纤108、将从光调制元件102输出的光向壳体104的外部引导的输出光纤110。
[0061]
光调制元件102是进行例如400gb/s的光调制的dp-qpsk调制器，由设置在例如ln基板上的两个嵌套型马赫-曾德尔光波导构成，每个嵌套型马赫-曾德尔光波导分别包含两个马赫-曾德尔型光波导。在构成这两个嵌套型马赫-曾德尔光波导的合计四个马赫-曾德尔型光波导上，设有对于在该马赫-曾德尔型光波导中传输的光波分别进行调制的四个信号电极112a、112b、112c、112d(以下，也总称为信号电极112)。而且，如作为现有技术已知那样，在光调制元件102的ln基板的表面，以例如上述四个信号电极112a、112b、112c、112d分别构成共平面线路(cpw，coplanar waveguide)的方式设置接地电极122a、122b、122c、122d、122e(参照图3。在图1中未图示。)。
[0062]
具体而言，上述接地电极122a、122b、122c、122d、122e(以下，也总称为接地电极122)在ln基板表面的面内分别夹着信号电极112a、112b、112c、112d地配置，与四个信号电极112a、112b、112c、112d一起构成在规定的动作频率下具有规定的特性阻抗的共平面线路。
[0063]
向四个信号电极112分别输入四个高频电信号(调制信号)。这些高频电信号协作而控制上述四个马赫-曾德尔型光波导中的光波的传输，作为整体进行400gb/s的dp-qpsk调制的动作。
[0064]
具体而言，向四个信号电极112分别施加两对高频电信号，一对所述高频电信号由两个高频电信号构成。光调制元件102构成为生成分别由一对电信号调制的两束调制光106a、106b(图示箭头)。生成的两束调制光106a、106b分别从构成光调制元件102的上述两个嵌套型马赫-曾德尔光波导的两个输出光波导126a、126b输出。在本实施方式中，一方的成对的两个高频电信号向信号电极112a、112b施加，生成从输出光波导126a输出的调制光106a，另一成对的其他的两个高频电信号向信号电极112c、112d施加，生成从输出光波导
126b输出的调制光106b。这两束调制光106a、106b在由通过偏振波合成棱镜等构成的偏振波合成部128合波成一个光束之后，经由输出光纤110向壳体104的外部输出。
[0065]
壳体104由将光调制元件102固定的主体114a和罩114b构成。需要说明的是，为了便于理解壳体104内部的结构，在图1中，在图示右方仅示出罩114b的一部分，但是实际上，罩114b以覆盖箱状的主体114a的整体的方式配置而对壳体104的内部进行气密封闭。主体114a由金属或例如镀金的陶瓷等构成，电气性地作为导电体发挥功能。而且，在壳体104通常可设置直流偏压控制用等的多个引脚，但是在本附图中省略。
[0066]
主体114a设有具备信号输入端子124a、124b、124c、124d(以下，也总称为信号输入端子124)的作为同轴连接器的电连接器116a、116b、116c、116d(以下，也总称为电连接器116)，所述信号输入端子124a、124b、124c、124d输入向光调制元件102的信号电极112a、112b、112c、112d分别施加的高频的电信号。
[0067]
电连接器116分别是例如按压接通(push on)型的同轴连接器的插槽，包含圆筒状的接地导体，信号输入端子124由沿着该圆筒状的接地导体的中心线延伸的中心导体(芯线)构成。上述圆筒状的接地导体分别电连接且固定于主体114a。因此，主体114a构成供给接地电位的接地线的一部分。而且，信号输入端子124分别经由中继基板118而电连接于光调制元件102的信号电极112的各自的一端。
[0068]
光调制元件102的信号电极112的另一端由具有规定的阻抗的终端器120形成终端。由此，向信号电极112的各自的一端输入的电信号作为行波分别在信号电极112内传输。
[0069]
图3是图1所示的a部的详情图，示出中继基板118及其周围的结构。在中继基板118形成有信号导体图案330a、330b、330c、330d(以下，也总称为信号导体图案330)和接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e(以下，也总称为接地导体图案340)。
[0070]
信号导体图案330a、330b、330c、330d分别将信号电极112a、112b、112c、112d与各自对应的信号输入端子124连接。特别是生成调制光106a的一方的成对的高频电信号经由相互相邻的信号导体图案330a、330b向信号电极112a、112b赋予。而且，生成调制光106b的另一方的成对的高频电信号经由相互相邻的信号导体图案330c、330d向信号电极112d、112d赋予。即，信号导体图案330a、330b构成信号导体图案的一方的对而在一方的高频电信号的对(组)中传输，信号导体图案330c、330d构成信号导体图案的另一方的对而在另一方的高频电信号的对(组)中传输。
[0071]
中继基板118在与表面(形成有信号导体图案330及接地导体图案340的图3所示的面)相对的背面的例如整面形成有背面接地导体(未图示)。背面接地导体通过例如焊料、钎料或导电性粘结剂等而固定于壳体104的主体114a。由此，背面接地导体成为接地线构成要素。接地导体图案340分别经由适当的通孔(未图示)与背面接地导体连接而连接于接地线。
[0072]
接地导体图案340a、340b、340c、340d、340e分别在中继基板118的表面的面内夹着信号导体图案330a、330b、330c、330d地设置。由此，信号导体图案330分别与接地导体图案340一起构成共平面线路。
[0073]
信号导体图案330在本实施方式中沿图示上下方向延伸，在中继基板118的边中的图示下侧的边处，将其一端与信号输入端子124连接。在此，将中继基板118的边中的将信号导体图案330与信号输入端子124连接的一侧的边称为信号输入边318a。
[0074]
光调制元件102的信号电极112分别在中继基板118的边中的图示上侧的边处，通
过使用了例如导体引线326的引线键合，与中继基板118的信号导体图案330的另一端电连接。导体引线326可以设为例如金丝。在此，将中继基板118的边中的将信号导体图案330与光调制元件102的信号电极112连接的一侧的边称为信号输出边318b。在本实施方式中，信号输入边318a和信号输出边318b在俯视观察下构成中继基板118的相对的两边。将图3中的中继基板118的边中的除了信号输入边318a、信号输出边318b以外的其他的相对的两边称为侧边缘(侧边)318c、318d。
[0075]
在光调制元件102中与信号电极112一起构成共平面线路的接地电极122分别与上述同样地通过使用了例如导体引线326的引线键合，在中继基板118的信号输出边318b处与接地导体图案340的各自的一端电连接。需要说明的是，上述的使用了导体引线326的引线键合为一例，并不局限于此。也可以取代导体引线326的引线键合而利用例如使用了金带等导体带的带接合。
[0076]
信号导体图案330a、330b、330c、330d分别具有部件搭载部350a、350b、350c、350d(以下，也总称为部件搭载部350)，所述部件搭载部350a、350b、350c、350d是例如设有构成电气滤波器(带通滤波器、高通滤波器等)的电路元件的部分(图示的带有深影的部分)。在此，电路元件是指构成电路的作为功能元件的主动元件及/或被动元件，不包括专门为了电气连接而设置的配线图案或焊盘(垫)。
[0077]
部件搭载部350例如与图13～图16所示的部件搭载部2250同样，能够通过在比其他设置得宽幅的信号导体图案330的部分搭载电容器等电路元件及/或形成薄膜电阻等电路元件而构成。即，例如，能够与图15、图16所示的信号导体图案2230b同样在信号导体图案330形成宽幅部分，搭载与电容器2254b同样的电容器，并且在信号导体图案330的上述宽幅部的一部分形成与薄膜电阻2252b同样的薄膜电阻，构成部件搭载部350。但是，在部件搭载部350将信号导体图案330形成为宽幅的情况为一例，也可以将部件搭载部350的信号导体图案330以与其他相同的宽度形成。
[0078]
在本实施方式中，特别是分别被输入成对的两个高频电信号的两个信号导体图案330相互具有角度地延伸形成，由此各个部件搭载部350处的信号传输方向互不相同。需要说明的是，部件搭载部350处的信号传输方向对应于第一信号传输方向。
[0079]
具体而言，上述的分别被输入一方的成对的两个高频电信号的信号导体图案330a、330b中的一方的信号导体图案330a沿着相对于另一方的信号导体图案330b的延伸方向具有角度的方向(在图示的例子中，向图示右方向倾斜的方向)延伸地形成。
[0080]
通常，从部件搭载部350产生的泄漏微波的方向沿着该部件搭载部350处的信号传输方向。而且，部件搭载部350处的信号传输方向通常沿着形成有部件搭载部350的信号导体图案330的部分处的该信号导体图案330的延伸方向。
[0081]
在本实施方式中，信号导体图案330a沿着相对于信号导体图案330b具有角度的方向形成，因此从部件搭载部350a、350b分别产生的泄漏微波的方向也相互具有角度。例如图3所示，从部件搭载部350a、350b产生的泄漏微波以表示为从该部件搭载部350a、350b延伸的各自的两个单点划线的箭头夹着的范围的方式，在以信号导体图案330a、330b的延伸方向为中心的方向范围中，分别具有大的强度分布。
[0082]
其结果是，抑制从部件搭载部350a、350b产生的泄漏微波的相互的干涉，避免这些泄漏微波相互加强而作为电气噪声发挥作用的情况。即，在分别传输容易产生干涉的成对
的两个高频电信号的信号导体图案330a、330b之间，能抑制以从部件搭载部350a、350b产生的泄漏微波间的干涉为起因的电气噪声的产生。
[0083]
同样，分别被输入另一方的成对的两个高频电信号的信号导体图案330c、330d中的一方的信号导体图案330d沿着相对于另一方的信号导体图案330c的延伸方向具有角度的方向(在图示的例子中，向图示左方向倾斜的方向)延伸地形成。由此，从部件搭载部350c、350d产生的泄漏微波以在图3中表示为从部件搭载部350c、350d延伸的各自的两个单点划线的箭头夹着的范围的方式，在沿着信号导体图案330c、330d的延伸方向具有中心的方向范围中具有大的强度分布。
[0084]
其结果是，在分别传输容易产生干涉的成对的两个高频电信号的信号导体图案330c、330d之间，也能抑制以从部件搭载部350c、350d产生的泄漏微波间的干涉为起因的电气噪声的产生。
[0085]
在此，在中继基板118中，例如，在被输入成对的高频电信号的信号导体图案330a、330b中，部件搭载部350a、350b处的信号传输方向构成为相互分离的方向，但是并不局限于此。部件搭载部350处的信号传输方向只要互不相同即可，也可以构成为相互接近的方向。
[0086]
接下来，说明光调制器100所使用的中继基板的变形例。
[0087]
《第一变形例》
[0088]
图4是表示第一变形例的中继基板418的结构的图，是相当于图3所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板418在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图4中，关于与图3所示的中继基板118的构成要素相同的构成要素，使用与图3中的标号相同的标号，援引上述的关于图3的说明。
[0089]
中继基板418具有与图3所示的中继基板118同样的结构，但是取代信号导体图案330a及330d而具有信号导体图案430a、430d这一点与中继基板118不同。而且，中继基板418取代接地导体图案340a、340b、340d、340e而具有接地导体图案440a、440b、440d、440e这一点与中继基板118不同。
[0090]
信号导体图案430a、430d具有与信号导体图案330a、330d同样的结构，但是其形状与信号导体图案330a、330d不同。接地导体图案440a、440b、440d、440e具有与接地导体图案340a、340b、340d、340e同样的结构，但是与信号导体图案430a、430d一起分别构成共平面线路，因此它们的形状与接地导体图案340a、340b、340d、340e不同。
[0091]
具体而言，信号导体图案430a、430d除了与信号输入端子124a、124d连接的连接部分的延伸方向之外，具有与信号导体图案330a、330d同样的结构。
[0092]
由此，在中继基板418中，与中继基板118同样，部件搭载部350a、350d处的信号传输方向与相邻的部件搭载部350b、350c处的信号传输方向分别互不相同，因此在部件搭载部350a与350b之间、及部件搭载部350c与350d之间，能抑制从这些部件搭载部分产生的泄漏微波间的相互加强的干涉。
[0093]
但是，中继基板418的信号导体图案430a、430d与信号导体图案330a、330d不同，其整体不为直线状，而是在信号输入边318a的附近形成的与信号输入端子124a、124d的连接部分处的信号导体图案430a、430d的延伸方向分别与部件搭载部350a、350d处的延伸方向不同。在此，信号导体图案330、430a、430d与信号输入端子124的连接部分处的信号传输方向对应于第二信号传输方向。
[0094]
即，在中继基板418中，关于信号导体图案430a、430d，部件搭载部350a、350d处的信号传输方向和与信号输入端子124a、124d连接的连接部分处的信号传输方向分别互不相同。例如，在中继基板418中，信号导体图案430a、430d与信号输入端子124a、124d连接的连接部分处的延伸方向与信号导体图案330b、330c平行(或与侧边缘318c、318d平行)地形成，由此与部件搭载部350a、350d处的延伸方向不同。
[0095]
由此，在中继基板418中，在上述连接部分产生的泄漏微波的方向与在部件搭载部350a产生的泄漏微波的方向互不相同。因此，在中继基板418中，也能抑制在一个信号导体图案430a的不同的两个部分产生的容易产生干涉的两个泄漏微波(即，在信号导体图案430a中，在与信号输入端子124a连接的连接部分和部件搭载部350a分别产生的两个泄漏微波)之间的干涉。
[0096]
另外，信号导体图案430d也与信号导体图案430a同样地在与信号输入端子124d连接的连接部分及部件搭载部350d分别产生的两个泄漏微波的方向互不相同，因此能抑制这些泄漏微波间的干涉。
[0097]
其结果是，在中继基板418中，与中继基板118相比，能进一步抑制以从部件搭载部350产生的泄漏微波为起因的电气噪声的产生。
[0098]
《第二变形例》
[0099]
接下来，说明光调制器100使用的中继基板的第二变形例。
[0100]
图5是表示第二变形例的中继基板518的结构的图，是相当于图3所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板518在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图5中，关于与图3所示的中继基板118的构成要素相同的构成要素，使用与图3中的标号相同的标号表示，并援引上述的关于图3的说明。
[0101]
中继基板518具有与图3所示的中继基板118同样的结构，但是取代信号导体图案330a及330d而具有信号导体图案530a、530d这一点与中继基板118不同。而且，中继基板518取代接地导体图案340a、340b、340d、340e而具有接地导体图案540a、540b、540d、540e这一点与中继基板518不同。
[0102]
信号导体图案530a、530d具有与信号导体图案330a、330d同样的结构，但是其形状与信号导体图案530a、530d不同。接地导体图案540a、540b、540d、540e具有与接地导体图案340a、340b、340d、340e同样的结构，但是与信号导体图案530a、530d一起分别构成共平面线路，因此它们的形状与接地导体图案340a、340b、340d、340e不同。
[0103]
具体而言，信号导体图案530a、530d除了从与信号电极112a、112d连接的连接部分至部件搭载部350a、350d为止的区间的形状之外，具有与图4所示的第一变形例的信号导体图案430a、430d同样的结构。
[0104]
由此，中继基板518与图4所示的中继基板418同样，能抑制部件搭载部350a与350b之间及部件搭载部350c与350d之间的泄漏微波间的干涉，并且也能抑制将信号输入端子124a连接的信号导体图案530a的部分与部件搭载部350a之间、及将信号输入端子124d连接的信号导体图案530d的部分与部件搭载部350a之间的泄漏微波间的干涉，因此能够抑制以它们的干涉为起因的电气噪声的产生。
[0105]
但是，中继基板518的信号导体图案530a、530d与图4所示的第一变形例的信号导体图案430a、430d不同，在从信号输出边318b的与信号电极112a、112d连接的连接部分至部
件搭载部350a、350d为止的区间分别包含该区间的信号导体图案530a、530d的延伸方向、进而该区间中的信号传输方向向与部件搭载部350a、350d处的信号传输方向不同的方向变化的部分。
[0106]
由此，在中继基板518中，信号导体图案530a、530d在分别对应的上述区间包含具有与从部件搭载部350a、350d产生的泄漏微波的方向不同的信号传输方向的部分。因此，能够抑制从设置于信号导体图案530a、530d的部件搭载部350a、350d产生的泄漏微波分别向相同信号导体图案530a、530d再耦合的情况。该再耦合的抑制由泄漏微波通常与具有与该泄漏微波的方向不同的信号传输方向的导体图案内的传输模难以耦合产生。
[0107]
通常，当从部件搭载部350a、350d分别向自身的信号导体图案530a、530d的泄漏微波的再耦合产生时，使包含例如作为电气滤波器的部件搭载部350a、350d的信号导体图案530a、530d的各自的作为整体的高频特性(频率特性)变动，可能对光调制器100的调制动作造成影响。
[0108]
相对于此，在具有上述的结构的中继基板518中，除了上述的电气噪声的抑制之外，如上所述也能够有效地抑制上述再耦合，因此也抑制与该再耦合相伴的高频特性的变动，能够实现良好的调制动作。
[0109]
需要说明的是，信号导体图案530a、530b的从与信号电极112连接的连接部分至部件搭载部350为止的区间的信号传输方向中的向与对应的部件搭载部350的信号传输方向不同的方向变化之后的信号传输方向对应于第三信号传输方向。
[0110]
《第三变形例》
[0111]
接下来，说明光调制器100使用的中继基板的第三变形例。
[0112]
图6是表示第三变形例的中继基板618的结构的图，是相当于图3所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板618在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图6中，关于与图3所示的中继基板118的构成要素及图5所示的第二变形例的中继基板518的构成要素相同的构成要素，分别使用与图3及图5中的标号相同的标号表示，并援引上述的关于图3及图5的说明。
[0113]
中继基板618具有与图5所示的中继基板518同样的结构，但是取代信号导体图案330b及330c而具有信号导体图案630b及630c这一点与中继基板518不同。而且，中继基板618取代接地导体图案540b、540c、540d而具有接地导体图案640b、640c、640d这一点与中继基板518不同。
[0114]
信号导体图案630b、630c具有与信号导体图案330b、330c同样的结构，但是其形状与信号导体图案330b、330c不同。接地导体图案640b、640c、640d具有与接地导体图案540b、540c、540d同样的结构，但是与信号导体图案630b、630c一起构成共平面线路，因此它们的形状与接地导体图案540b、540c、540d不同。
[0115]
具体而言，信号导体图案630b、630c具有与信号导体图案330b、330c同样的结构，但是不为直线状而具有与信号导体图案530a、530d同样的形状这一点与信号导体图案330b、330c不同。
[0116]
即，信号导体图案630b、630c以部件搭载部350b、350c处的信号传输方向分别与相邻的信号导体图案530a、530b的部件搭载部350a、350d处的信号传输方向不同的方式形成。在此，信号导体图案530a与630b、及630c与530d分别传输成对的高频电信号。
[0117]
另外，信号导体图案630b、630c以与信号输入端子124b、124c连接的连接部分处的信号传输方向分别与部件搭载部350b、350c处的信号传输方向不同的方式形成。而且，信号导体图案630b、630c在从光调制元件102的与信号电极112b、112c连接的连接部分至部件搭载部350b、350c为止的区间分别包含该区间中的导体图案的延伸方向、进而该区间中的信号传输方向向与部件搭载部350b、350c处的信号传输方向不同的信号传输方向变化的部分。
[0118]
通过上述的结构，在本变形例中，在信号导体图案630b、630c中，也与信号导体图案530a、530d同样，使来自与信号输入端子124b、124c连接的连接部分的泄漏微波的方向与来自部件搭载部350b、350c的泄漏微波的方向不同，能够抑制这些泄漏微波间的干涉。由此，在中继基板618中，与图5所示的中继基板相比，能够进一步减少以泄漏微波间的干涉为起因的电气噪声。
[0119]
另外，在本变形例中，在信号导体图案630b、630c中，也与信号导体图案530a、530d同样，在至光调制元件102的与信号电极112b、112c连接的连接部为止的区间具有信号传输方向向与部件搭载部350b、350c处的信号传输方向不同的方向变化的部分。因此，能抑制从部件搭载部350b、350c产生的泄漏微波与自身的信号导体图案630b、630c再耦合的情况。因此，在信号导体图案630b、630c中，也分别能抑制例如作为包含构成电气滤波器的部件搭载部350b、350c的整体的高频特性的变动。
[0120]
其结果是，在中继基板618中，与图5所示的中继基板518相比，能够实现更良好的光调制动作。
[0121]
《第四变形例》
[0122]
接下来，说明光调制器100使用的中继基板的第四变形例。
[0123]
图7是表示第四变形例的中继基板718的结构的图，是相当于图3所示的第一实施方式的局部详情图的图。该中继基板718在图1所示的光调制器100中可以取代中继基板118使用。需要说明的是，在图7中，关于与图3所示的中继基板118的构成要素相同的构成要素，使用与图3中的标号相同的标号，援引上述的关于图3的说明。
[0124]
中继基板718具有与图6所示的中继基板618同样的结构。但是，中继基板718以部件搭载部350不像中继基板618那样沿图示横向配置在一直线上(即，不是直线性地配置)的方式构成。
[0125]
具体而言，中继基板718具有与图6所示的中继基板618同样的结构，但是取代信号导体图案530a、630b、630c、530d而具有信号导体图案730a、730b、730c、730d(以下，也总称为信号导体图案730)这一点不同。而且，中继基板718在取代接地导体图案540a、640b、640c、640d、540e而具有接地导体图案740a、740b、740c、740d、740e(以下，也总称为接地导体图案740)这一点与中继基板618不同。
[0126]
信号导体图案730a、730b、730c、730d具有与信号导体图案530a、630b、630c、530d同样的结构，但是其形状与信号导体图案530a、630b、630c、530d不同。接地导体图案740a、740b、740c、740d、740e具有与接地导体图案540a、640b、640c、640d、540e同样的结构，但是与信号导体图案730a、730b、730c、730d一起分别构成共平面线路，因此它们的形状与接地导体图案540a、640b、640c、640d、540e不同。
[0127]
具体而言，信号导体图案730a、730b、730c、730d分别具有与信号导体图案530a、
630b、630c、530d同样的结构，但是部件搭载部350以不配置在一直线上的方式配置，例如配置于锯齿形的位置。但是，这样的锯齿形的配置为一例，只要不是三个以上的部件搭载部350配置于共同的一直线上，部件搭载部350就可以配置于任意的位置。
[0128]
由此，在中继基板718中，能够防止各个部件搭载部350作为点波源排列发挥功能(例如在中继基板718上的特定的场所)，三个以上的泄漏微波重合而产生强干涉的情况。因此，在中继基板718中，与图6所示的中继基板618相比能够进一步抑制电气噪声的产生，实现良好的光调制特性。
[0129]
需要说明的是，从抑制这样的来自三个以上的部件搭载部350的泄漏微波的干涉的缘由出发，部件搭载部350不仅不配置在一直线上，而且优选配置在不规则的位置(随机的位置)。上述锯齿形配置是不规则配置的一例。
[0130]
以下，将信号导体图案330、430a、430d、530a、530d、630b、630c及信号导体图案730总称为信号导体图案330等。
[0131]
[第二实施方式]
[0132]
接下来，说明本发明的第二实施方式的光调制器。在上述的第一实施方式的光调制器100中，光调制元件102的信号电极112的排列间距与信号输入端子124的排列间距相等，但是本发明没有限定于此。光调制元件的信号电极的排列间距可以比信号输入端子124的排列间距大，也可以比信号输入端子124的排列间距小。本实施方式是光调制元件的信号电极的排列间距比信号输入端子124的排列间距小时的第一例。
[0133]
图8是表示本发明的第二实施方式的光调制器800的结构的俯视图，图9是图8中的b部的局部详情图。
[0134]
如以下说明所述，本实施方式的光调制器800使用的中继基板818具有与图7所示的中继基板718同样的特征，但是信号导体图案930a等以与中继基板718的信号导体图案730a等不同的形状形成。特别是在本实施方式中，光调制元件802的信号电极812的排列间距比壳体104具备的信号输入端子124的排列间距窄。
[0135]
在图8中，关于与图1所示的第一实施方式的光调制器100相同的构成要素，使用与图1中的标号相同的标号，援引上述的关于图1的说明。图8所示的光调制器800具有与图1所示的光调制器100同样的结构，但是取代光调制元件102及中继基板118而具备光调制元件802及中继基板818这一点不同。
[0136]
光调制元件802具有与光调制元件102同样的结构，但是取代信号电极112而具备信号电极812a、812b、812c、812d(以下，也总称为信号电极812)，并且取代接地电极122而具备接地电极822a、822b、822c、822d、822e(以下，也总称为接地电极822)这一点不同(参照图9)。
[0137]
信号电极812具有与信号电极112同样的结构，但是信号电极812间的间距与信号电极112间的间距不同。而且，接地电极822具有与接地电极122同样的结构，但是与信号电极812一起构成共平面线路，因此它们的形状与接地电极122的形状不同。
[0138]
图9是图8所示的b部的局部详情图，示出光调制器800中的中继基板818及其周围的结构。需要说明的是，在图9中，关于与图3所示的中继基板118相同的构成要素，使用与图3中的标号相同的标号，并援引上述的关于图3的说明。
[0139]
中继基板818具有与图7所示的中继基板718同样的结构，但是取代信号导体图案
730a、730b、730c、730d而具备信号导体图案930a、930b、930c、930d(以下，也总称为信号导体图案930)这一点不同。而且，中继基板818取代接地导体图案740a、740b、740c、740d、740e而具备接地导体图案940a、940b、940c、940d、940e(以下，也总称为接地导体图案940)这一点与图7所示的中继基板718不同。
[0140]
四个信号导体图案930与图7所示的中继基板718的信号导体图案730同样地具有以下的特征，但是以与信号导体图案730不同的形状形成。
[0141]
1)部件搭载部350处的信号传输方向互不相同。
[0142]
2)各个信号导体图案930以与信号输入端子124连接的连接部分处的信号传输方向与部件搭载部350处的信号传输方向不同的方式形成。
[0143]
3)各个信号导体图案930在从光调制元件802的与信号电极812连接的连接部分至部件搭载部350为止的区间包括该信号传输方向向与部件搭载部350的信号传输方向不同的方向变化的部分。
[0144]
4)信号导体图案930构成为作为整体不将部件搭载部350(例如三个以上的部件搭载部350)配置在一直线上。
[0145]
需要说明的是，接地导体图案940具有与接地导体图案740同样的结构，但是与信号导体图案930一起构成共平面线路，因此它们的形状与接地导体图案740不同。
[0146]
具体而言，信号导体图案930a、930b、930c、930d具有与信号导体图案730a、730b、730c、730d同样的结构，但是配置有部件搭载部350的部分向图示左方向延伸或向图示左方向倾斜延伸。由此，信号输入端子124的每一个与以比该信号输入端子124的排列间距窄的间隔排列的光调制元件802的信号电极812的每一个分别由信号导体图案930连接。
[0147]
另外，信号导体图案930中的配置部件搭载部350的部分向图示左方向倾斜的角度互不相同，由此它们延伸的方向互不相同地形成。需要说明的是，信号导体图案930d包含的向图示左方向延伸的部分可解释为向左方向的上述倾斜的角度为90度。
[0148]
由此，中继基板818以部件搭载部350处的信号传输方向互不相同的方式构成。因此，在中继基板818中，与图3所示的中继基板118、图4所示的中继基板418、图5所示的中继基板518、图6所示的中继基板618、图7所示的中继基板718同样，能抑制从部件搭载部350的每一个分别产生的泄漏微波间的干涉，能抑制以此为起因的电气噪声。
[0149]
另外，信号导体图案930中的与信号输入端子124连接的连接部分分别沿着图示上下方向，即，与和信号输入边318a正交的侧边缘318c、318d平行的方向延伸。由此，信号导体图案930a、80b、930c、930d分别以与信号输入端子124连接的连接部分处的信号传输传输方向与部件搭载部350a、350b、350c、350d处的信号传输方向不同的方式构成。因此，在中继基板818中，与图4所示的中继基板418、图5所示的中继基板518、图6所示的中继基板618、图7所示的中继基板718同样，抑制从与信号输入端子124连接的连接部分产生的泄漏微波与从部件搭载部350产生的泄漏微波的干涉，也能抑制以该干涉为起因的电气噪声。
[0150]
此外，信号导体图案930以在从光调制元件802的与信号电极812连接的连接部分至部件搭载部350为止的区间包含其延伸方向向与侧边缘318c、318d平行的方向变化的部分的方式形成。由此，中继基板818在上述的区间包含其信号传输方向向与部件搭载部350的信号传输方向不同的方向变化的部分。因此，在中继基板818中，与图5所示的中继基板518、图6所示的中继基板618、图7所示的中继基板718同样，能抑制从部件搭载部350a、
350b、350c、350d产生的泄漏微波和与自身对应的信号导体图案930a、80b、930c、930d再耦合的情况。其结果是，能抑制例如包含作为电气滤波器的部件搭载部350的信号导体图案930各自的作为整体的高频特性的变动。
[0151]
通过以上所述，在中继基板818中，与图7所示的中继基板718同样，能抑制电气噪声的产生及高频特性的变动，实现良好的调制特性。
[0152]
[第三实施方式]
[0153]
接下来，说明本发明的第三实施方式的光调制器。在上述的第一实施方式及其变形例的中继基板118、418、518、618、718以及第二实施方式的中继基板918中，信号导体图案330等及940构成作为包含弯折的形状，但是，当然，本发明没有限定为这样的弯折的形状。这些信号导体图案330等及940可以取代弯折而使用曲线构成。
[0154]
本实施方式是光调制元件的信号电极的排列间距比信号输入端子124的排列间距小时的第二例，特别是如后所述，中继基板1018的信号导体图案1130a、1130b、1130c、1130d的弯曲部分不弯折而由曲线构成。
[0155]
图10是表示本发明的第三实施方式的光调制器1000的结构的俯视图，图11是图10中的c部的局部详情图。在图10中，关于与图1所示的第一实施方式的光调制器100相同的构成要素，使用与图1中的标号相同的标号，并援引上述的关于图1的说明。图10所示的光调制器1000具有与图1所示的光调制器100同样的结构，但是取代光调制元件102及中继基板118而具备光调制元件1002及中继基板1018这一点不同。
[0156]
光调制元件1002具有与光调制元件102同样的结构，但是取代信号电极112而具备信号电极1012a、1012b、1012c、1012d(以下，也总称为信号电极1012)，并且取代接地电极122而具备接地电极1022a、1022b、1022c、1022d、1022e(以下，也称为接地电极1022)这一点不同。
[0157]
信号电极1012具有与信号电极112同样的结构，但是信号电极1012间的间距与信号电极112间的间距不同。而且，接地电极1022具有与接地电极122同样的结构，但是与信号电极1012一起构成共平面线路，因此它们的形状与接地电极122的形状不同。
[0158]
图11是图10所示的c部的局部详情图，示出光调制器1000中的中继基板1018及其周围的结构。需要说明的是，在图11中，关于与图3所示的中继基板118相同的构成要素，使用与图3中的标号相同的标号，并援引上述的关于图3的说明。
[0159]
中继基板1018具有与图7所示的中继基板718同样的结构，但是取代信号导体图案730a、730b、730c、730d而具备信号导体图案1130a、1130b、1130c、1130d(以下，也总称为信号导体图案1130)这一点不同。而且，中继基板1018取代接地导体图案740a、740b、740c、740d、740e而具备接地导体图案1140a、1140b、1140c、1140d、1140e(以下，也总称为接地导体图案1140)这一点与图7所示的中继基板718不同。
[0160]
四个信号导体图案1130与图9所示的第二实施方式的中继基板818的信号导体图案930同样地具有上述的四个特征，但是以与信号导体图案930不同的形状形成。
[0161]
需要说明的是，接地导体图案1140具有与接地导体图案740同样的结构，但是与信号导体图案1130一起构成共平面线路，因此它们的形状与接地导体图案740不同。
[0162]
信号导体图案1130具有与信号导体图案730同样的结构，但是它们的形状与信号导体图案730不同，弯曲部分不是弯折而由曲线构成。
[0163]
并且，信号导体图案1130中的配置有部件搭载部350的部分的信号传输方向互不相同。更具体而言，信号导体图案1130a、1130b、1130c中的配置有部件搭载部350a、350b、350c的部分的延伸方向向图示左方向倾斜，它们的倾斜角度互不相同。而且，信号导体图案1130d中的配置有部件搭载部350d的部分的延伸方向向图示右方向倾斜。
[0164]
由此，在中继基板1018中，与图3所示的中继基板118、图4所示的中继基板418、图5所示的中继基板518、图6所示的中继基板618、图7所示的中继基板718、图9所示的中继基板818同样地能抑制从部件搭载部350分别产生的泄漏微波间的干涉，从而抑制以此为起因的电气噪声。
[0165]
另外，信号导体图案1130中的与信号输入端子124连接的连接部分分别沿着图示上下方向，即，与和信号输入边318a正交的侧边缘318c、318d平行的方向延伸。由此，信号导体图案1130a、1130b、1930c、1130d分别以与信号输入端子124连接的连接部分处的信号传输方向与部件搭载部350a、350b、350c、350d处的信号传输方向不同的方式构成。
[0166]
因此，在中继基板1018中，与图4所示的中继基板418、图5所示的中继基板518、图6所示的中继基板618、图7所示的中继基板718、图9所示的中继基板818同样，能抑制从信号导体图案1130与信号输入端子124连接的连接部分产生的泄漏微波与从部件搭载部350产生的泄漏微波的干涉，也能抑制以该干涉为起因的电气噪声。
[0167]
此外，信号导体图案1130以在从光调制元件1002的与信号电极1012连接的连接部分至部件搭载部350为止的区间包含其延伸方向向与侧边缘318c、318d平行的方向变化的部分的方式形成。由此，中继基板1018在上述的区间包含其信号传输方向向与部件搭载部350的信号传输方向不同的方向变化的部分。因此，在中继基板1018中，与图5所示的中继基板518、图6所示的中继基板618、图7所示的中继基板718、图9所示的中继基板818同样，能抑制从部件搭载部350a、350b、350c、350d产生的泄漏微波和与自身对应的信号导体图案1130a、1130b、1130c、1130d再耦合的情况。其结果是，能抑制例如包含作为电气滤波器的部件搭载部350的信号导体图案1130各自的作为整体的高频特性的变动。
[0168]
通过以上所述，在中继基板1018中，与图7所示的中继基板718同样能抑制电气噪声的产生及高频特性的变动，实现良好的调制特性。
[0169]
[第四实施方式]
[0170]
接下来，说明本发明的第四实施方式。本实施方式是搭载有具备第一实施方式的中继基板118的光调制器100的光发送装置。需要说明的是，本结构为一例，也可以取代具备中继基板118的光调制器100，将使用了第一至第四变形例的中继基板418、518、618、718的光调制器100、以及分别具备中继基板818、1018的第二及第三实施方式的光调制器800、1000搭载于光发送装置。
[0171]
图12是表示本实施方式的光发送装置的结构的图。该光发送装置2100具有光调制器100、使光向光调制器100入射的光源2104、调制信号生成部2106、调制数据生成部2108。
[0172]
调制数据生成部2108接收从外部赋予的发送数据，生成用于发送该发送数据的调制数据(例如，将发送数据转换或加工成规定的数据格式后的数据)，并将该生成的调制数据向调制信号生成部2106输出。
[0173]
调制信号生成部2106是输出用于使光调制器100进行调制动作的电信号的电子电路(驱动电路)，基于调制数据生成部2108输出的调制数据，生成用于使光调制器100进行遵
照该调制数据的光调制动作的作为高频信号的调制信号，向光调制器100输入。该调制信号由与光调制器100具备的光调制元件102的四个信号电极112a、112b、112c、112d对应的四个高频电信号构成。
[0174]
该四个高频电信号从光调制器100的电连接器116a、116b、116c、116d各自的信号输入端子124a、124b、124c、124d向中继基板118的信号导体图案330a、330b、330c、330d输入，经由这些信号导体图案330a等向光调制元件102的信号电极112a、112b、112c、112d输入。
[0175]
由此，从光源2104输出的光由光调制器100进行例如dp-qpsk调制，成为调制光之后从光发送装置2100输出。
[0176]
特别是在光发送装置2100中，能抑制在光调制器100的中继基板118中可能从部件搭载部350产生的泄漏微波间的干涉，确保良好的调制特性，能够实现良好的传送特性。而且，在光发送装置2100中，如果取代具备中继基板118的光调制器100而使用具备例如图5所示的第二变形例的中继基板518的光调制器100，则能够抑制从部件搭载部350产生的泄漏微波与自身的信号导体图案330等再耦合的情况，也能够抑制例如包含作为电气滤波器的部件搭载部350的作为整体的高频特性的变动。其结果是，在光调制器100中能够实现更良好的调制特性，实现光发送装置2100中的良好的传送特性。
[0177]
需要说明的是，本发明并不局限于上述实施方式及其变形例的结构，在不脱离其主旨的范围内能够以各种形态实施。
[0178]
例如，在上述的第一实施方式及其变形例、以及第二及第三实施方式中，在信号导体图案330等、830、1130的全部分别设置一个部件搭载部350，但是并不局限于此。部件搭载部350只要设置于信号导体图案330等、830、1130中的至少两个(即，多个)信号导体图案即可，而且，对于同一信号导体图案可以设置多个。即，可以在多个信号导体图案设置至少一个部件搭载部350。需要说明的是，优选在同一信号导体图案设置多个部件搭载部的情况下，以这些部件搭载部各自的信号传输方向也互不相同的方式形成该信号导体图案。
[0179]
另外，在图5、6、7中，关于例如信号导体图案530a，部件搭载部350a的信号传输方向(第一信号传输方向)和与信号输入端子124a连接的连接部分处的信号传输方向(第二信号传输方向)不同，且在从与信号电极112a连接的连接部分至部件搭载部350a为止的区间包含信号传输方向向与第一信号传输方向不同的第三信号传输方向变化的部分，但是并不局限于此。关于一个信号导体图案330，可以是部件搭载部350的第一信号传输方向与第二信号传输方向不同，或者在从与信号电极112连接的连接部分至部件搭载部350为止的区间包含信号传输方向向第三信号传输方向变化的部分。
[0180]
另外，在上述的实施方式中，光调制元件102、802、1002是使用ln基板构成的dp-qpsk调制器，但是并不局限于此。光调制元件102、802、1002可以取代dp-qpsk调制，进行使用由两组的成对的高频信号分别调制的两束调制光的任意的调制方式，例如qam调制等。而且，光调制元件102、802、1002可以是取代ln基板而使用半导体基板构成的光调制元件。
[0181]
此外，在上述的实施方式中，在壳体104收容光调制元件102等和中继基板118等，但是除此之外，用于使光调制元件102等动作的电子电路元件(驱动器元件)也可以收容于壳体104内。
[0182]
如以上说明所述，上述的第一实施方式的光调制器100具备：具备多个信号电极
112的光调制元件102；中继基板118；收容光调制元件102及中继基板118的壳体104。光调制元件102生成由分别包含两个电信号的两组的电信号分别调制的两束调制光106a、106b。中继基板118形成有输入向信号电极112分别施加的电信号的多个信号输入端子124、将信号输入端子124与信号电极112电连接的多个信号导体图案330、及多个接地导体图案340。而且，中继基板118通过由相邻的两个信号导体图案330分别构成的信号导体图案330的两对，分别传输上述两组电信号。并且，至少两个信号导体图案330具有包含电路元件的至少一个部件搭载部530，部件搭载部530处的信号传输方向即第一信号传输方向互不相同。
[0183]
根据该结构，在中继基板118上的信号导体图案330设有由电气滤波器等电路元件构成的部件搭载部350的光调制器100中，能够抑制以从这些部件搭载部350产生的泄漏微波间的干涉为起因的电气噪声，实现良好的调制特性。
[0184]
另外，光调制器100可以具备中继基板418。在中继基板418中，具备部件搭载部350的信号导体图案330等的至少一个以作为与信号输入端子124连接的连接部分处的信号传输方向的第二信号传输方向与上述第一信号传输方向不同的方式构成。
[0185]
根据该结构，能够抑制以例如从信号导体图案430d与信号输入端子124d连接的连接部分产生的泄漏微波与从该信号导体图案430d的部件搭载部350d产生的泄漏微波干涉的情况为起因的电气噪声的产生，实现更良好的调制特性。
[0186]
另外，光调制器100可以具备中继基板518。在中继基板518中，具备部件搭载部350的信号导体图案330等的至少一个在从与信号电极112连接的连接部分至部件搭载部350为止的区间包含信号传输方向向与上述第一信号传输方向不同的第三信号传输方向变化的部分。
[0187]
根据该结构，能够抑制例如在信号导体图案530d中，从部件搭载部350d产生的泄漏微波在上述区间与自身的信号导体图案530d再耦合的情况。由此，在具备中继基板518的光调制器100中，能够抑制以上述再耦合为起因的作为包含部件搭载部350d的信号导体图案330d整体的高频特性的变动，实现更良好的调制特性。
[0188]
另外，在光调制器100中，具备部件搭载部350的至少两个信号导体图案330等包含构成上述对的两个信号导体图案330等，在构成相同对的两个信号导体图案330等之间，第一信号传输方向互不相同。
[0189]
通常，在分别传输成对的两个高频电信号的相邻配置的两个信号导体图案330等中，容易受到电气噪声、高频特性变动的影响。相对于此，根据上述的结构，在传输这样的成对的高频电信号的相邻的信号导体图案330等之间，能够抑制从部件搭载部530产生的泄漏微波间的干涉，实现良好的调制特性。
[0190]
另外，在光调制器100中，全部的信号导体图案330等分别具备至少一个部件搭载部350，构成相同对的两个信号导体图案330等全部以第一信号传输方向互不相同的方式构成。
[0191]
根据该结构，在全部的信号导体图案330等包含部件搭载部350的结构中，能够抑制从这些部件搭载部350产生的泄漏微波间的干涉，实现良好的调制特性。
[0192]
另外，光调制器100可以具备中继基板618。在中继基板618中，在全部的信号导体图案330等中，以上述第一信号传输方向与上述第二信号传输方向及上述第三信号传输方向不同的方式构成。在此，第一信号传输方向未必需要与第二信号传输方向及第三信号传
输方向这两者不同，可以与第二信号传输方向和第三信号传输方向中的一方不同。
[0193]
根据该结构，分别在全部的信号导体图案330等中，能够抑制以泄漏微波为起因的电气噪声，及/或抑制以泄漏微波的再耦合为起因的信号导体图案330等的高频特性的变动，实现良好的调制特性。
[0194]
另外，在光调制器100中，全部的信号导体图案330具备部件搭载部350，且关于各个部件搭载部350的上述第一信号传输方向互不相同。根据该结构，在全部的信号导体图案330等之间，能够抑制从部件搭载部350产生的泄漏微波间的干涉，实现良好的调制特性。
[0195]
另外，光调制器100可以具备中继基板718。在中继基板718中，在全部的信号导体图案330等分别设置的部件搭载部350在中继基板718上不配置于共同的一直线上。根据该结构，例如在中继基板718上的特定的场所，能够防止泄漏微波的强干涉的产生，实现良好的调制特性。
[0196]
另外，在光调制器100中，部件搭载部构成电气滤波器。根据该结构，通过将具有所希望的频率特性的电气滤波器作为部件搭载部350设置于信号导体图案330等，能够使设计上的调制特性良好，并抑制泄漏微波的干涉、再耦合，更忠实地实现上述设计的调制特性。
[0197]
另外，上述的第四实施方式的光发送装置2100具备使用了第一实施方式和其变形例所示的任一中继基板的光调制器100，或者具备第二或第三实施方式的光调制器800或1000，并且具备输出用于使该光调制器进行调制动作的电信号的作为电子电路的调制信号生成部2106等。根据该结构，能够抑制例如伴随着传送率的高速化而变得显著的泄漏微波的影响，有效地减少电气噪声及/或高频特性的变动，实现稳定且良好的传送特性。
[0198]
标号说明
[0199]
100、800、1000、2200
…
光调制器，102、802、1002、2202
…
光调制元件，104、2204
…
壳体，106a、106b
…
调制光，108、2208
…
输入光纤，110、2210
…
输出光纤，112、112a、112b、112c、112d、812、812a、812b、812c、812d、1012、1012a、1012b、1012c、1012d、2212、2212a、2212b、2212c、2212d
…
信号电极，114a、2214a
…
主体，114b、2214b
…
罩，116、116a、116b、116c、116d、2216、2216a、2216b、2216c、2216d
…
电连接器，118、418、518、618、718、818、1018、2218
…
中继基板，120、2220
…
终端器，122、122a、122b、122c、122d、122e、822、822a、822b、822c、822d、822e、1022、1022a、1022b、1022c、1022d、1022e、2222a、2222b、2222c、2222d、2222e
…
接地电极，124、124a、124b、124c、124d、2224、2224a、2224b、2224c、2224d
…
信号输入端子，126a、126b
…
输出光波导，318a
…
信号输入边，318b
…
信号输出边，318c、318d
…
侧边缘，326、2270
…
导体引线，330、330a、330b、330c、330d、430a、430d、530a、530d、630b、630c、730、730a、730b、730c、730d、930、930a、930b、930c、930d、1130、1130a、1130b、1130c、1130d、2230、2230a、2230b、2230c、2230d
…
信号导体图案，340、340a、340b、340c、340d、340e、440a、440b、440d、440e、540a、540b、540d、540e、640b、640c、640d、740、740a、740b、740c、740d、740e、940、940a、940b、940c、940d、940e、1140、1140a、1140b、1140c、1140d、1140e、2240a、2240b、2240c、2240d、2240e
…
接地导体图案，350、350a、350b、350c、350d
…
部件搭载部，2100
…
光发送装置，2104
…
光源，2106
…
调制信号生成部，2108
…
调制数据生成部，2252b
…
薄膜电阻，2254b
…
电容器，2290
…
泄漏微波。