微调装置和加工装置的制作方法

技术特征：
1.一种微调装置，其夹设在工作台基座与支承该工作台基座的基台之间，对该工作台基座与该基台之间的距离进行调整，该工作台基座将在保持面上保持被加工物的卡盘工作台支承为能够旋转，其中，该微调装置具有：支承部件，其具有上部、中间部以及下部，该上部固定于工作台基座，该中间部固定于基台；收纳室，其形成于该支承部件；压电致动器，其收纳于该收纳室内，能够在垂直方向上伸缩；以及伸缩构造部，其交替形成多个从第1侧将该中间部部分地切断的第1缝和从该第1侧的相反侧将该中间部部分地切断的第2缝，由此能够使该收纳室在垂直方向上伸缩，通过控制提供至该压电致动器的电压而使该压电致动器伸缩，从而使该伸缩构造部伸缩而能够变更该基台与该工作台基座之间的距离。2.根据权利要求1所述的微调装置，其中，所述微调装置在该工作台基座与该基台之间沿周向隔开间隔而配设有多个，通过对该多个微调装置进行微调，对搭载于该工作台基座的该卡盘工作台的该保持面的倾斜进行调整。3.根据权利要求1所述的微调装置，其中，该微调装置还具有使该伸缩构造部压缩的压缩弹簧机构。4.一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其在保持面上保持被加工物；加工单元，其具有配设成能够旋转的加工器具，该加工单元对该卡盘工作台的该保持面所保持的被加工物进行加工；控制单元；以及微调装置，其夹设在将该卡盘工作台支承为能够旋转的工作台基座与配设有该工作台基座的基台之间，对该工作台基座与该基台之间的距离进行调整，该微调装置包含：支承部件，其具有上部、中间部以及下部，该上部固定于工作台基座，该中间部固定于基台；收纳室，其形成于该支承部件；压电致动器，其收纳于该收纳室内，能够在垂直方向上伸缩；以及伸缩构造部，其交替形成多个从第1侧将该中间部部分地切断的第1缝和从该第1侧的相反侧将该中间部部分地切断的第2缝，由此能够使该收纳室在垂直方向上伸缩，该控制单元通过控制提供至该微调装置的该压电致动器的电压而使该压电致动器伸缩，从而能够调整以能够旋转的方式搭载于该工作台基座上的该卡盘工作台的保持面的倾斜。5.根据权利要求4所述的加工装置，其中，该加工单元包含呈环状配设有多个磨削磨具的能够旋转的磨削磨轮，该加工装置还具有：
电动机，其以该保持面为中心而使该卡盘工作台的旋转轴旋转；以及编码器，其对该旋转轴的旋转角度进行检测，该控制单元根据该编码器所检测的该旋转角度而控制提供至该压电致动器的电压，根据该旋转角度使该保持面的倾斜变化，利用该磨削磨具对被加工物进行磨削。

技术总结
本发明提供微调装置和加工装置，其缩短倾斜调整的时间。该微调装置夹设在工作台基座与支承该工作台基座的基台之间，对该工作台基座与该基台之间的距离进行调整，该工作台基座将在保持面上保持被加工物的卡盘工作台支承为能够旋转，其中，该微调装置包含：支承部件，其具有上部、中间部以及下部，该上部固定于工作台基座，该中间部固定于基台；收纳室，其形成于该支承部件；压电致动器，其收纳于该收纳室内，能够在垂直方向上伸缩；以及伸缩构造部，其交替形成多个从第1侧将该中间部部分地切断的第1缝和从该第1侧的相反侧将该中间部部分地切断的第2缝，由此能够使该收纳室在垂直方向上伸缩。伸缩。伸缩。


技术研发人员：山中聪
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2021.09.30
技术公布日：2022/4/25