流量控制器及驱动装置的制作方法

技术特征：
1.一种流量控制器(10、10a)，其特征在于，具备：第一流路(12、12a)，该第一流路连接在动作切换阀(38)与气缸(30)之间，对所述气缸的缸室(24)进行空气的供给、排放；第一流量调整部(16)，该第一流量调整部设置于所述第一流路；第二流路(14、14a)，该第二流路与所述第一流路并联设置；先导单向阀(20)，该先导单向阀设置于所述第二流路的中途，具有入口端口(20a)、出口端口(20b)以及先导端口(20c)，所述入口端口与所述第二流路的所述动作切换阀侧的第一部分(14a)连接，所述出口端口与所述第二流路的所述气缸侧的第二部分(14b)连接；第二流量调整部(18)，该第二流量调整部设置于所述第二流路的中途，并与所述先导单向阀串联地连接；先导空气流路(21、21a)，该先导空气流路的一端与所述动作切换阀连通，另一端与所述先导单向阀的所述先导端口连接；以及第三流量调整部(22)，该第三流量调整部设置于所述先导空气流路。2.根据权利要求1所述的流量控制器，其特征在于，在先导空气的压力小于规定值时，所述先导单向阀阻止从所述出口端口朝向所述入口端口流动的空气，在所述先导空气的压力为规定值以上时，所述先导单向阀使从所述出口端口朝向所述入口端口流动的空气通过。3.根据权利要求1或2所述的流量控制器，其特征在于，所述第三流量调整部具备：第三节流阀(22a)；以及单向阀(22b)，该单向阀与所述第三节流阀并联设置，使朝向所述先导端口流动的空气通过并阻止逆向流动的空气。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的流量控制器，其特征在于，所述第二流量调整部具备：第二节流阀(18a)；以及单向阀(18b)，该单向阀与所述第二节流阀并联设置，使朝向所述气缸流动的空气通过，并阻止逆向流动的空气。5.一种驱动装置(40)，具备：高压空气供给源(46)，该高压空气供给源向气缸供给高压空气；排气口(48)，该排气口排出来自所述气缸的排出空气；动作切换阀(38)，该动作切换阀将所述高压空气供给源和所述排气口中的一方切换地连接到所述气缸的端口；以及流量控制器，该流量控制器设置于所述动作切换阀与所述气缸的所述端口之间，所述驱动装置的特征在于，所述流量控制器具备：第一流路，该第一流路连接在所述动作切换阀与所述气缸之间，对所述气缸的缸室进行空气的供给、排放；第一流量调整部，该第一流量调整部设置于所述第一流路；
第二流路，该第二流路与所述第一流路并联设置；先导单向阀，该先导单向阀设置于所述第二流路的中途，具有入口端口、出口端口以及先导端口，所述入口端口与所述第二流路的所述动作切换阀侧的第一部分连接，所述出口端口与所述第二流路的所述气缸侧的第二部分连接；第二流量调整部，该第二流量调整部设置于所述第二流路的中途，并与所述先导单向阀串联地连接；先导空气流路，该先导空气流路的一端与所述动作切换阀连通，另一端与所述先导单向阀的所述先导端口连接；以及第三流量调整部，该第三流量调整部设置于所述先导空气流路。

技术总结
流量控制器(10)及驱动装置(40)具备：连接在动作切换阀(38)与气缸(30)之间并对气缸(30)的缸室(24)进行空气的供给、排放的第一流路(12)；设置于第一流路(12)的第一流量调整部(16)；与第一流路(12)并联设置的第二流路(14)；设置于第二流路(14)的中途的先导单向阀(20)；在第二流路(14)的中途与先导单向阀(20)串联连接的第二流量调整部(18)；一端与动作切换阀(38)连通，另一端与先导单向阀(20)的先导端口(20c)连接的先导空气流路(21)；以及设置于先导空气流路(21)的第三流量调整部(22)。于先导空气流路(21)的第三流量调整部(22)。于先导空气流路(21)的第三流量调整部(22)。


技术研发人员：高桑洋二 风间晶博 朝原浩之 门田谦吾
受保护的技术使用者：SMC株式会社
技术研发日：2020.08.03
技术公布日：2022/4/13