涂布装置及涂布方法与流程

1.本发明涉及一种涂布装置及涂布方法，上述涂布装置在涂布用喷嘴的内部设置有对涂布液进行收容的涂布液收容部，并且在涂布用喷嘴的前端部设置有将上述涂布液收容部内的涂布液排出的狭缝状排出口，且使上述狭缝状排出口位于被涂布体的上方，使上述涂布用喷嘴与被涂布体相对移动，并使涂布液经过上述狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面，上述涂布方法是使用上述涂布装置在被涂布体的表面涂布涂布液的方法。特别地，具有如下特征：在如上所述使被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并使涂布液经过设置于涂布用喷嘴的狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面时，能够使涂布液在被涂布体的表面不会产生不均等，能够简单且准确地涂布成圆形等各种形状。


背景技术：

2.以往，在利用涂布装置将涂布液以规定的形状涂布于晶圆等被涂布体的表面时，使用了各种方法，例如，已知如下的涂布装置等各种涂布装置：在被涂布体的上方配置有在前端部具有使涂布液排出的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，使上述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并使涂布液经过上述狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面。
3.在此，例如，在晶圆等圆形的被涂布体的表面以圆形涂布涂布液时，如专利文献1所示，已知如下的旋涂机：将圆形的被涂布体设置在旋转的转台上并使之旋转，从喷嘴向这样旋转的被涂布体的中心部供给涂布液，并利用旋转的被涂布体的离心力将涂布液涂布于圆形的被涂布体的表面。
4.但是，在专利文献1所示的旋涂机中，存在如下的问题：难以将涂布液以成为固定的厚度的方式均匀地供给至旋转的被涂布体的表面，而且，供给至旋转的被涂布体的表面的涂布液因离心力而从被涂布体上甩飞，造成浪费涂布液，尤其是在昂贵的涂布液的情况下，浪费的涂布液的成本增加。
5.此外，如专利文献2所示，提出了如下的方案：将圆形的被涂布体设置于旋转的转台上并使之旋转，并且使向旋转的被涂布体的表面供给涂布液的喷嘴从旋转的被涂布体的中心部向外周侧逐渐地移动，从而将涂布液以涡旋状供给至旋转的被涂布体的表面，以向旋转的圆形的被涂布体的表面涂布涂布液。
6.但是，如专利文献2所示，在使向旋转的被涂布体的表面供给涂布液的喷嘴从旋转的被涂布体的中心部向外周侧逐渐地移动，从而将涂布液以涡旋状供给至旋转的被涂布体的表面，以向旋转的圆形的被涂布体的表面涂布涂布液的情况下，存在如下的问题：向圆形的被涂布体的表面涂布涂布液所需的时间变长，生产性变差，并且难以将涂布液以成为均匀的厚度的方式涂布在被涂布体的表面。
7.此外，如专利文献3所示，提出了使用机构在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液的方案，上述机构设置有供被涂布体载置并能旋转至少180度的旋转工作台，并且设置有：树脂膜形成头部，其使用于排出树脂的多个喷嘴沿着相当于以穿过上述被涂布体的中心的第一方向(x方向)轴分割成两部分而成的第一被涂布体周边区域和第二被涂布体周边区域中
的一方的圆弧配置，且设置成上述喷嘴与被涂布体的周边区域相对；以及移动机构，其使被涂布体和树脂膜形成头部在与第一方向正交的第二方向(y方向)上相对移动，通过上述移动机构，对树脂膜形成头部的移动进行控制，并且单独地控制各喷嘴中的涂布液的排出和停止，并单独地控制从各喷嘴排出的涂布液的排出宽度。
8.但是，存在以下问题：如专利文献3所示，为了在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液，装置变得复杂并且其控制也困难，在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液所需的装置的成本变高，并且，进行其控制操作也变得麻烦，无法简单地在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液，此外，将涂布液以成为均匀的厚度的方式涂布在被涂布体的表面也变得困难等等。
9.此外，在专利文献4中，示出如下的方案：在具有沿喷嘴长度方向延伸的圆柱形空洞部、沿喷嘴长度方向延伸的狭缝状的排出口及形成从上述空洞部到上述排出口的药液通路的平坦部(日语：
ランド
部)的长条型喷嘴主体中，对涂布液进行收容的圆筒状的旋转歧管能旋转地嵌入于上述空洞部内，使涂布液从涂布液供给部供给并收容至该旋转歧管内，使该旋转歧管的端部封闭，另一方面，在该旋转歧管的外周部贯通地设置有与供给至被涂布体上的涂布液的涂布形状对应的开口。
10.而且，在专利文献4示出的方案中，使上述喷嘴主体相对于涂布涂布液的被涂布体进行相对移动，并且使供给有涂布液的上述旋转歧管在空洞部内旋转，将贯通地设置在该旋转歧管的外周的开口引导至与上述狭缝状排出口对应的位置，使涂布液从设置在旋转歧管外周的上述开口经过狭缝状排出口而供给至上述被涂布体的表面，以与设置在旋转歧管外周的开口的形状对应的方式将涂布液涂布在被涂布体的表面。
11.但是，如专利文献4所示，在将涂布液供给并收容至能旋转地嵌入到喷嘴主体的空洞部内的圆筒状旋转歧管内，并使这样收容有涂布液的旋转歧管在空洞部内旋转，将贯通地设置于该旋转歧管外周的开口引导至与喷嘴主体的狭缝状排出口对应的位置，使收容在旋转歧管内的涂布液从上述开口经过狭缝状排出口而供给至上述被涂布体的表面的情况下，存在以下问题：收容在旋转歧管内的涂布液从贯通地设置的开口经过狭缝状排出口而过剩地供给至被涂布体的表面，难以以固定的厚度将涂布液供给至被涂布体的表面；而且，旋转歧管内的涂布液经过设置于旋转歧管的上述开口而流入旋转歧管与空洞部之间，该涂布液经过狭缝状排出口而滴落至被涂布体的表面；此外，收容在旋转歧管内的涂布液没被充分使用，一部分涂布液的浓度或粘度产生不均，从而产生涂布操作不良。
12.此外，专利文献5所示的方案也与上述专利文献4所示的方案相同地形成为使涂布液收容在内筒部内，并使这样收容的涂布液经过周部开口与排出口重叠的部分而供给至被涂布体的表面，存在与上述专利文献4所示的方案相同的问题。
13.现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009－290029号公报专利文献2：日本特开2002－320902号公报专利文献3：日本特开2013－54128号公报专利文献4：日本特开2014－22545号公报专利文献5：日本特开2012－120938号公报


技术实现要素：

14.本发明的技术问题是解决将涂布液以规定的形状涂布于被涂布体等的表面时的上述各种问题。
15.即，本发明中的技术问题是，在被涂布体的上方设置有在前端部具有使涂布液排出的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，使上述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并使涂布液经过上述狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面时，能够使涂布液在被涂布体的表面不会产生不均等，能够简单且准确地涂布成各种形状。
16.在本发明的涂布装置中，为了解决上述技术问题，涂布装置在涂布用喷嘴的内部设置有对涂布液进行收容的涂布液收容部，并且在涂布用喷嘴的前端部设置有将所述涂布液收容部内的涂布液排出的狭缝状排出口，且使所述狭缝状排出口位于被涂布体的上方，使所述涂布用喷嘴与被涂布体相对移动，并使涂布液经过所述狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面，其特征是，使在外周面设置有对涂布液进行收容且呈规定的图案形状的涂布液收容凹部的涂布液供给体以位于所述狭缝状排出口的上方的方式能旋转地设置于所述涂布液收容部内，并且，设置有沿着所述狭缝状排出口的长度方向使狭缝状排出口分离成多个排出部的分隔构件，使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且使在所述涂布液收容凹部内收容有涂布液的涂布液供给体在涂布液收容部内旋转，使所述涂布液收容凹部内的涂布液经过位于与被引导至涂布用喷嘴的狭缝状排出口的涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而排出至被涂布体的表面，以与涂布液收容凹部的形状对应的方式将涂布液涂布在所述被涂布体的表面。
17.并且，如果像本发明的涂布装置这样，使在外周面设置有呈规定的图案形状且对涂布液进行收容的涂布液收容凹部的涂布液供给体以在狭缝状排出口的上方的位置进行旋转的方式能旋转地设置于涂布用喷嘴中的涂布液收容部内，在上述涂布液供给体的涂布液收容凹部内收容涂布液，使涂布液供给体在狭缝状排出口的上方的位置进行旋转，并且使被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，则在上述涂布液供给体的涂布液收容凹部被引导至与狭缝状排出口连通的位置的状态下，上述涂布液收容凹部的部分中的涂布液经过涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口，供给至与涂布用喷嘴相对移动的被涂布体的表面，涂布液与涂布液收容凹部的形状相应地被涂布于被涂布体的表面。
18.此外，如果像本发明的涂布装置这样，设置沿着狭缝状排出口的长度方向使狭缝状排出口分离成多个排出部的分隔构件，则在如上所述使涂布液供给体的涂布液收容凹部内的涂布液经过狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面时，即使狭缝状排出口内残留有未被涂布于被涂布体的表面的涂布液，涂布液收容凹部内的涂布液也仅被引导至位于与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部，且仅经过像这样涂布液被引导的排出部而供给至被涂布体的表面，能对如下情况进行抑制：涂布液流向狭缝状排出口中的其他部分、涂布液从与涂布液收容凹部对应的位置以外的许多部分被拖拽而供给至被涂布体的表面，从而能与涂布液收容凹部的形状相应地将涂布液准确地涂布于被涂布体的表面。
19.此外，在本发明的涂布装置中，优选的是，在如上所述在狭缝状排出口设置分隔构件以沿着狭缝状排出口的长度方向使狭缝状排出口分离成多个排出部时，设置沿着狭缝状排出口的长度方向呈波形的分隔构件，并设置成在狭缝状排出口的宽度方向两侧使多个排出部交替地连续。如果通过像这样呈波形的分隔构件，在狭缝状排出口的宽度方向两侧使
多个排出部交替地连续，则在狭缝状排出口的长度方向的各位置处，宽度方向两侧的排出部的合计宽度大致固定，使涂布液收容凹部内的涂布液经过位于对应位置处的排出部而供给至被涂布体的表面的量在狭缝状排出口的长度方向的各位置处是固定的，供给至被涂布体的表面的涂布液的量变固定，能防止产生厚度不均。
20.此外，在本发明的涂布装置中，优选的是，在设置沿着狭缝状排出口的长度方向使狭缝状排出口分离成多个排出部的分隔构件时，将所述分隔构件的排出方向上的长度设置为比所述狭缝状排出口的排出方向上的长度短。如果像这样将分隔构件的排出方向上的长度设置为比狭缝状排出口的排出方向上的长度短，则在狭缝状排出口的排出方向端部没有分隔构件，变成狭缝状排出口在排出方向端部处连续的状态，从涂布液收容凹部内被引导至位于对应位置的排出部的涂布液跨越被分隔构件分离的排出部并被引导至排出方向端部处的连续的狭缝状排出口而供给至被涂布体的表面，涂布液以在被涂布体的表面不产生与分隔构件对应的纹理的方式均匀地被涂布。另外，此时的连续的狭缝状排出口的排出方向上的长度仅在排出方向的端部侧设置一点点，不存在上述那样的涂布液从与涂布液收容凹部对应的位置以外的许多部分被拖拽的情况。
21.此外，在本发明的涂布装置中，优选的是，设置对施加于所述涂布液收容部内的涂布液的压力进行调节的压力调节单元，在通过所述压力调节单元使施加于涂布液收容部内的涂布液的压力保持为固定压力的状态下使所述涂布液供给体旋转，并使所述涂布液收容凹部内的涂布液经过位于与被引导至涂布用喷嘴的狭缝状排出口的涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而排出至被涂布体的表面。如果像这样设置，则在使涂布液收容凹部内的涂布液经过位于与被引导至涂布用喷嘴的狭缝状排出口的涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而排出至被涂布体的表面时，涂布液收容凹部内的涂布液在固定的压力下经过狭缝状排出口处的排出部而供给至被涂布体表面，涂布液以固定的厚度被涂布在被涂布体的表面。
22.此外，在本发明的涂布装置中，可以是，作为所述压力调节单元，设置气体供给调节单元，该气体供给调节单元在所述涂布液收容部内供给有涂布液的状态下将气体供给至涂布液收容部内，并以使施加于所述涂布液收容部内的涂布液的压力变成固定压力的方式进行调节，或是设置涂布液供给调节单元，该涂布液供给调节单元将涂布液填充至所述涂布液收容部内，并以使施加于填充在涂布液收容部内的涂布液的压力变成固定压力的方式对朝涂布液收容部内的涂布液的供给进行调节。
23.此外，在本发明的涂布装置中，可以是，在所述涂布液供给体的外周面使涂布液收容凹部凹设成轴向长度较长的椭圆形，将使被涂布体与涂布用喷嘴相对移动的移动速度设置成比使所述涂布液供给体旋转的周速度快，以使涂布液在被涂布体的表面涂布成圆形。如此，则能够在晶圆等呈圆形的被涂布体的表面将涂布液涂布成圆形，并且能减小设置有涂布液收容凹部的涂布液供给体的直径，能使涂布用喷嘴变小型。
24.并且，在本发明的涂布方法中，使用上述涂布装置，在通过能旋转地设置于所述涂布液收容部内的涂布液供给体中的未设置涂布液收容凹部的部分将涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口封闭的状态下，向所述涂布液收容部内供给涂布液，使涂布液收容于在能旋转地设置于所述涂布液收容部内的所述涂布液供给体的外周面形成且呈规定的图案形状的涂布液收容凹部内，使所述涂布用喷嘴与被涂布体相对移动，并且，使在所述涂布液
收容凹部内供给有涂布液的涂布液供给体在涂布液收容部内旋转，使所述涂布液收容凹部内的涂布液经过位于与被引导至涂布用喷嘴的狭缝状排出口的涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而排出至被涂布体的表面，与涂布液收容凹部的形状相应地将涂布液涂布在所述被涂布体的表面。
25.如果像这样设置，则涂布用喷嘴中的狭缝状排出口由涂布液供给体中的未设置涂布液收容凹部的部分封闭，不存在供给至涂布液收容部内的涂布液从狭缝状排出口漏出到外部的情况，而且如果使被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且使涂布液收容部内的涂布液收容于涂布液收容凹部内的上述涂布液供给体旋转，则涂布液收容凹部内的涂布液经过位于与被引导至涂布用喷嘴的狭缝状排出口的涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而排出至被涂布体的表面，与涂布液收容凹部的形状相应地被涂布在被涂布体的表面。
26.在本发明的涂布装置中，如上所述使在外周面设置有呈规定的图案形状且对涂布液进行收容的涂布液收容凹部的涂布液供给体以在狭缝状排出口的上方的位置进行旋转的方式能旋转地设置于涂布用喷嘴的涂布液收容部内，在上述涂布液供给体的涂布液收容凹部内收容涂布液，使涂布液供给体在狭缝状排出口的上方的位置进行旋转，并且使被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，因此，在上述涂布液供给体的涂布液收容凹部被引导至与狭缝状排出口连通的位置的状态下，上述涂布液收容凹部的部分中的涂布液经过涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口，供给至与涂布用喷嘴相对移动的被涂布体的表面，涂布液与涂布液收容凹部的形状相应地被适当地涂布于被涂布体的表面。
27.此外，在本发明的涂布装置中，如上所述设置沿着狭缝状排出口的长度方向使狭缝状排出口分离成多个排出部的分隔构件，因此，在使涂布液供给体的涂布液收容凹部内的涂布液经过狭缝状排出口而涂布在被涂布体的表面时，即使在狭缝状排出口内残留有未被涂布于被涂布体的表面的涂布液，涂布液收容凹部内的涂布液也仅被引导至位于与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部，且仅经过像这样涂布液被引导的排出部而供给至被涂布体的表面，能对涂布液流向狭缝状排出口中的其他部分、涂布液从与涂布液收容凹部对应的位置以外的许多部分被拖拽而供给至被涂布体的表面进行抑制，能与涂布液收容凹部的形状相应地将涂布液准确地涂布于被涂布体的表面。
附图说明
28.图1示出如下的涂布用喷嘴：在本发明实施方式的涂布装置中，使设置有对涂布液进行收容且呈椭圆形的涂布液收容凹部的涂布液供给体以位于涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口的上方的方式能旋转地设置于涂布液收容部内，并且使呈波形的分隔构件沿着狭缝状排出口的长度方向设置于上述狭缝状排出口，图1的(a)是涂布用喷嘴的长度方向的概略剖面说明图，图1的(b)是涂布用喷嘴的与长度方向交叉的方向的概略剖面说明，图1的(c)是从设置有呈波形的分隔构件的涂布用喷嘴的前端侧观察的概略仰视图。图2示出上述实施方式的涂布装置中使用的涂布液供给体，图2的(a)是在外周面设置有呈椭圆形的涂布液收容凹部的涂布液供给体的概略主视图，图2的(b)是设置在涂布液供给体的外周面的涂布液收容凹部的展开俯视图。图3示出在上述实施方式的涂布装置中，在涂布用喷嘴的狭缝状排出口沿着长度方向设置的分隔构件的变形例，图3的(a)是从示出了使呈锯齿状的分隔构件沿着狭缝状排
出口的长度方向设置的状态的涂布用喷嘴的前端侧观察的概略仰视图，图3的(b)是从示出了使呈梳齿状的分隔构件沿着狭缝状排出口的长度方向设置的状态的涂布用喷嘴的前端侧观察的概略仰视图。图4是示出了如下的状态的涂布用喷嘴的长度方向的概略剖面说明图：在上述实施方式的第一涂布装置中，在通过设置于涂布液收容部内的涂布液供给体的未设置涂布液收容凹部的部分将狭缝状排出口的上方封闭的状态下，使涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管而向涂布液收容部内供给。图5是示出了如下的状态的涂布用喷嘴的与长度方向交叉的方向的概略剖面说明图：在上述第一涂布装置中，在通过设置于涂布液收容部内的涂布液供给体的未设置涂布液收容凹部的部分将狭缝状排出口的上方封闭的状态下，使涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管而向涂布液收容部内供给。图6是示出了如下的状态的涂布用喷嘴的与长度方向交叉的方向的概略剖面说明图：在上述第一涂布装置中，在如图5所示使涂布液从涂布液供给装置经过涂布液供给管而供给至涂布液收容部内之后，向涂布液收容部内供给气体，以使施加于涂布液收容部内的涂布液的压力变成固定压力的方式进行调节。图7示出上述第一涂布装置，图7的(a)～(d)是示出如下的工序的概略剖面说明图：在向供给有规定量的涂布液的涂布液收容部内供给气体而对施加于涂布液收容部内的涂布液的压力进行了调节的状态下，将涂布用喷嘴配置于圆形的被涂布体的上方，使上述涂布液供给体旋转，将凹设于涂布液供给体的外周面且呈椭圆形的涂布液收容凹部引导至狭缝状排出口的上方，使涂布液收容部内的涂布液经过与涂布液收容凹部对应地被连通的涂布液收容部与狭缝状排出口之间而被引导至排出部，并涂布于被涂布体的表面。图8示出上述第一涂布装置，图8的(a)～(d)是与图7的(a)～(d)对应地示出了在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液的状态的概略俯视图。图9的(a)是示出了如下的状态的狭缝状排出口的与长度方向交叉的方向的概略剖面说明图：在上述实施方式的第二涂布装置中，在通过设置于涂布用喷嘴的涂布液收容部内的涂布液供给体的未设置涂布液收容凹部的部分将涂布用喷嘴的狭缝状排出口封闭的状态下，向涂布液收容部内供给涂布液，图9的(b)是示出了如下的状态的狭缝状排出口的与长度方向交叉的方向的概略剖面说明图：在上述实施方式的第二涂布装置中，向涂布液收容部内填充涂布液，以使施加于收容在涂布液收容部内的涂布液的压力变成固定压力的方式对涂布液的供给进行调节。图10的(a)～(d)是示出如下的工序的概略剖面说明图：在上述第二涂布装置中，在向涂布液收容部内填充涂布液，并将施加于填充在涂布液收容部内的涂布液的压力调节成固定压力的状态下，将涂布用喷嘴配置于被涂布体的上方，一边使被涂布体移动至涂布用喷嘴的下方、一边使上述涂布液供给体旋转，将凹设于涂布液供给体的外周面且呈椭圆形的涂布液收容凹部引导至狭缝状排出口的上方，使涂布液收容部内的涂布液经过与涂布液收容凹部对应地被连通的涂布液收容部与狭缝状排出口之间而被引导至排出部，并涂布于被涂布体的表面。图11是示出在上述实施方式的涂布装置中，在涂布液供给体的外周面设置对涂布液进行收容的涂布液收容凹部时，改变了涂布液收容凹部的形状的多个变形例的概略展开
图。图12是示出了如下状态的涂布用喷嘴的长度方向的概略剖面说明图：在上述第二涂布装置中，在使上述涂布液供给体旋转，将上述涂布液收容凹部引导至狭缝状排出口的上方，使涂布液从涂布液收容凹部经过其与狭缝状排出口之间而被引导至排出部，将涂布液收容部内的涂布液涂布于被涂布体的表面时，与图10的(c)对应的状态。(符号说明)10：涂布用喷嘴11：涂布液收容部12：狭缝状排出口12a：排出部12b：连续狭缝状排出部13：分隔构件13x：分隔构件13y：分隔构件14：涂布液供给体14a：涂布液收容凹部20：涂布液供给装置21：涂布液供给管22：涂布液供给阀22a：第一涂布液供给阀22b：第二涂布液供给阀30：气体供给装置31：供给/排气管31a：供给侧管31b：排气侧管32：气体供给调节阀33：排气阀34：排气用管35：排气用阀40：注射泵41：缸p：涂布液w：被涂布体
具体实施方式
29.以下，基于附图对本发明实施方式的涂布装置及涂布方法进行具体说明。另外，本发明的涂布装置及涂布方法不限定于下述实施方式所示的装置及方法，能在不改变发明的主旨的范围内进行适当变更来实施。
30.在此，在本发明实施方式的涂布装置中，如图1的(a)～(c)所示，在涂布用喷嘴10
的内部设置有对涂布液p进行收容的涂布液收容部11，并且，以与上述涂布液收容部11连通的方式在涂布用喷嘴10的前端部设置将涂布液p排出的狭缝状排出口12。
31.而且，在本实施方式的涂布装置中，在狭缝状排出口12内沿着其长度方向设置有分隔构件13，该分隔构件13呈波形，且在上述狭缝状排出口12的排出方向上的长度比狭缝状排出口12的长度短，在这样设置有分隔构件13的位置处，使上述狭缝状排出口12沿着其长度方向分离成多个排出部12a，另一方面，狭缝状排出口12的排出方向前端部成为处于狭缝状排出口12在长度方向上连续的状态的连续狭缝状排出部12b。另外，在本实施方式中，将呈波形的分隔构件13设置为比狭缝状排出口12的排出方向上的长度短，并在狭缝状排出口12的排出方向前端部设置有处于狭缝状排出口12连续的状态的连续狭缝状排出部12b，但也可以将呈波形的分隔构件13的排出方向上的长度设置为与狭缝状排出口12的排出方向上的长度相同。
32.而且，在上述涂布用喷嘴10中，如图2的(a)、(b)所示，在呈圆柱状的棒状体的外周面凹设呈轴向长度较长的椭圆形的涂布液收容凹部14a的涂布液供给体14以位于上述狭缝状排出口12的上方的方式能旋转地设置于上述涂布液收容部11内，在使涂布液供给体14中的未设置涂布液收容凹部14a的部分位于上述狭缝状排出口12的上方的状态下，通过上述涂布液供给体14将狭缝状排出口12与涂布液收容部11之间封闭。
33.而且，在本实施方式中，如上所述使呈曲线的波形的分隔构件13沿着狭缝状排出口12的长度方向设置，但分隔构件13不限于此，例如，也可以是，如图3的(a)所示，使呈锯齿状的直线的波形的分隔构件13x沿着狭缝状排出口12的长度方向设置，使狭缝状排出口12沿着其长度方向分离成多个排出部12a；以及，如图3的(b)所示，使呈梳齿状的分隔构件13y沿着狭缝状排出口12的长度方向设置，使狭缝状排出口12沿着其长度方向分离成多个排出部12a；此外，虽未图示，但也可以使用沿着狭缝状排出口12的长度方向使多个排出孔在狭缝状排出口12的宽度方向上设置有多个的分隔构件。
34.(第一涂布装置)接着，对上述实施方式的第一涂布装置进行具体说明。
35.在第一涂布装置中，如图4等所示，在从涂布液供给装置20对上述涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给涂布液p的涂布液供给管21上设置涂布液供给阀22，使该涂布液供给阀22开闭，从而进行涂布液p向涂布液收容部11的供给或停止，并且设置向涂布液收容部11内进行气体的供给、排气的供给/排气管31，在该供给/排气管31的供给侧管31a设置作为气体供给调节单元的对从气体供给装置30供给到上述涂布液收容部11的气体进行调节的气体供给调节阀32，并且在供给/排气管31的排气侧管31b设置排气阀33，使涂布液收容部11内的气体经过该排气阀33进行排气。在此，在图4等中，处于涂布液p局部地存在于上述涂布用喷嘴10的前端部处的狭缝状排出口12的状态，这是由于在上述涂布装置的操作中、试运行时等准备阶段或运行时，处于供给至涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12的涂布液p积存的状态。
36.而且，在上述第一涂布装置中，在将涂布液p向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给的情况下，如图4及图5所示，在使上述涂布液供给体14中的未设置涂布液收容凹部14a的部分位于涂布用喷嘴10的前端部处的狭缝状排出口12的上方、而将涂布液收容部11与狭缝状排出口12之间关闭的状态下，打开设置于涂布液供给管21的上述涂布液供给阀22，从
涂布液供给装置20经过涂布液供给管21而向涂布液收容部11内供给规定量的涂布液p，并且，将设置于上述排气侧管31b的排气阀33打开，使涂布液收容部11内的气体经过上述排气侧管31b而排气(跑气)，另一方面，将设置于上述供给侧管31a的气体供给调节阀32关闭，不从气体供给装置30向涂布液收容部11供给气体。在此，关于图中示出的涂布液供给阀22、气体供给调节阀32、排气阀33的开闭，用空心表示打开状态，用涂黑表示关闭状态。
37.此外，在如上所述向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给规定量的涂布液p之后，如图6所示，在通过上述涂布液供给体14中的未设置涂布液收容凹部14a的部分将上述狭缝状排出口12关闭的状态下，将设置于涂布液供给管21的上述涂布液供给阀22关闭，不从涂布液供给装置20向涂布液收容部11供给涂布液p，并且在上述状态下将设置于上述排气侧管31b的排气阀33关闭，使涂布液收容部11内的气体不排气，另一方面，将设置于上述供给侧管31a的气体供给调节阀32打开，使气体从气体供给装置30经过设置于供给侧管31a的气体供给调节阀32而向涂布液收容部11内供给，以使施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力变成固定压力的方式进行调节。
38.而且，在上述第一涂布装置中，在使涂布液p从上述涂布用喷嘴10涂布到被涂布体w的表面时，如上所述通过涂布液供给体14中的未设置涂布液收容凹部14a的部分将涂布用喷嘴10的前端部处的狭缝状排出口12关闭，使气体从气体供给装置30经过气体供给调节阀32而向涂布液收容部11内供给，在将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节成规定压力的状态下，如图7的(a)所示，将上述涂布用喷嘴10引导至开始从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面涂布涂布液p的位置。
39.然后，如图7的(b)～(d)所示，一边使被涂布体w相对于上述涂布用喷嘴10移动，一边使上述涂布液供给体14旋转，从凹设于涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a与涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12重叠的部分，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p经过涂布液收容凹部14a而被引导至上述设置有呈波形的分隔构件13的狭缝状排出口12，并经过位于与上述涂布液收容凹部14a对应的位置的排出部12a而从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面供给，从而，如图8的(a)～(d)所示，使收容在凹设于上述涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a的涂布液p从涂布用喷嘴10经过狭缝状排出口12而在呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形。另外，在本实施方式中，如上所述使被涂布体w相对于上述涂布用喷嘴10移动，但也可以是，对被涂布体w进行固定并使涂布用喷嘴10在被涂布体w的上方移动。
40.在此，在本实施方式的第一涂布装置中，如上所述，在呈圆柱状的涂布液供给体14的外周面使涂布液收容凹部14a凹设成轴向长度较长的椭圆形，因此，在如上所述使收容在凹设于上述涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a的涂布液p从涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12朝呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形时，将使上述被涂布体w移动的移动速度设置成比使上述涂布液供给体14旋转的周速度快，以使涂布液p从轴向长度较长的椭圆形涂布液收容凹部14a经过上述狭缝状排出口12而在呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形。
41.如此，则在使涂布液p在呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形时，无需在涂布液供给体14的外周面设置与被涂布体w对应大小的圆形的涂布液收容凹部14a，通过如上所述地设置成轴向长度较长的椭圆形的涂布液收容凹部14a，能够减小涂布液供给体14的直径，
能够使涂布用喷嘴10变小型。
42.此外，在本实施方式的第一涂布装置中，如上所述使呈波形的分隔构件13沿着狭缝状排出口12的长度方向设置于涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12，使狭缝状排出口12沿着其长度方向分离成多个排出部12a，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p仅经过位于与涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a而向被涂布体w的表面供给，因此，能对如下情况进行抑制：涂布液p从位于与涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a以外的排出部12a被拖拽，使得涂布液p从与涂布液收容凹部14a并不对应的部分供给至被涂布体w的表面。如此，则能与涂布液收容凹部14a的形状对应地将涂布液p准确地涂布于被涂布体w的表面，并且，也能防止供给至被涂布体w的表面的涂布液p的周边部分的厚度变厚等。
43.而且，在本实施方式的第一涂布装置中，如上所述将呈波形的分隔构件13设置为比狭缝状排出口12的排出方向上的长度短，并在狭缝状排出口12的排出方向前端部设置有使狭缝状排出口12在长度方向上连续的连续狭缝状排出部12b，因此，也能防止如下的情况：涂布液p单独地从处于由分隔构件13分离的状态的各排出部12a直接涂布于被涂布体w的表面，导致供给到被涂布体w的表面的涂布液p产生与各排出部12a对应的纹理的不均。
44.而且，在本实施方式的第一涂布装置中，在如上所述在将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节成固定压力的状态下，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p经过位于与涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a而向被涂布体w的表面供给，因此，能涂布成涂布液p在被涂布体w的整个表面成为均匀的厚度。
45.(第二涂布装置)接着，对上述实施方式的第二涂布装置进行具体说明。
46.在本第二涂布装置中，也与上述第一涂布装置相同地设置成使涂布液p从未图示的涂布液供给装置20经过涂布液供给管21而向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给。
47.而且，在本第二涂布装置中，在使涂布液p从涂布液供给装置20经过涂布液供给管21而向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11供给时，如图9的(a)、(b)和图10的(a)～(d)所示，作为以使施加于收容在涂布液收容部11内的涂布液p的压力变成固定压力的方式对涂布液p的供给进行调节的涂布液供给调节单元，在上述涂布液供给管21的中途的位置设置注射泵40，使涂布液p经过在注射泵40的上游侧的涂布液供给管21设置的第一涂布液供给阀22a而被引导至注射泵40内，并且，使被引导至上述注射泵40内的涂布液p经过在注射泵40下游侧的涂布液供给管21设置的第二涂布液供给阀22b而向涂布液收容部11内供给。
48.此外，在本第二涂布装置中，为了向涂布液收容部11内供给涂布液p的情况，设置将涂布液收容部11内的气体向外部排出的排气用管34，并且在上述排气用管34上设置排气用阀35。
49.而且，在本第二涂布装置中，在向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给涂布液p时，如图9的(a)所示，在通过上述涂布液供给体14中的未设置涂布液收容凹部14a的部分将涂布用喷嘴10的前端部处的狭缝状排出口12关闭的状态下，将设置于涂布液供给管21的上述第一涂布液供给阀22a及第二涂布液供给阀22b打开，使涂布液p经过涂布液供给管21向注射泵40内供给，并使像这样供给至注射泵40内的涂布液p向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给，并且，将设置于排气用管34的排气用阀35打开，使供给有涂布液p的涂布液收容部11内的气体经过排气用管34而排气(跑气)。
50.此外，在像这样向涂布用喷嘴10的涂布液收容部11内供给涂布液p而将涂布液p填充于涂布液收容部11内之后，如图9的(b)所示，在将上述第一涂布液供给阀22a及排气用阀35关闭的状态下，通过上述注射泵40中的缸41，将注射泵40内的涂布液p朝送出到涂布液收容部11内的方向挤压，使施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力成为规定的固定压力。另外，关于图中示出的第一涂布液供给阀22a、第二涂布液供给阀22b、排气用阀35的开闭，用空心表示打开状态，用涂黑表示关闭状态。
51.并且，在上述第二涂布装置中，在使涂布液p从上述涂布用喷嘴10涂布到被涂布体w的表面时，如上所述通过涂布液供给体14中的未设置涂布液收容凹部14a的部分将涂布用喷嘴10的前端部处的狭缝状排出口12关闭，通过注射泵40中的缸41，将注射泵40内的涂布液p朝送出到涂布液收容部11内的方向挤压，在将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节成规定的固定压力的状态下，如图10的(a)所示，将上述涂布用喷嘴10引导至开始从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面涂布涂布液p的位置。
52.然后，如图10的(b)～(d)所示，一边使被涂布体w相对于上述涂布用喷嘴10移动，一边使上述涂布液供给体14旋转，从凹设于涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a与涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12重叠的部分，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p经过涂布液收容凹部14a而被引导至上述设置有呈波形的分隔构件13的狭缝状排出口12，并经过位于与上述涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a而从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面供给，从而，与上述第一涂布装置的情况相同地，如上述图8的(a)～(d)所示，使在凹设于上述涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a收容的涂布液p从涂布用喷嘴10经过狭缝状排出口12而在呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形。另外，在本实施方式中，也与上述第一涂布装置的情况相同地，也可以对被涂布体w进行固定并使涂布用喷嘴10在被涂布体w的上方移动。
53.此外，在如上所述地将涂布液p涂布于被涂布体w的表面之后的结果导致上述注射泵40内的涂布液p减少的情况下，虽未图示，但将上述第二涂布液供给阀22b关闭，另一方面，将上述第一涂布液供给阀22a打开，使上述注射泵40朝抽吸方向移动，再次使涂布液p经过涂布液供给管21而填充到注射泵40内。另外，在示出第二涂布装置的上述图中，示出了注射泵40内的涂布液p因一次涂布而用尽，但通常而言，形成为在进行多次涂布之后向注射泵40内填充涂布液p。
54.在此，在本实施方式的第二涂布装置中，如上所述，在呈圆柱状的涂布液供给体14的外周面使涂布液收容凹部14a凹设成轴向长度较长的椭圆形，因此，在如上所述使在凹设于上述涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a收容的涂布液p从涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12向呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形时，与上述第一涂布装置的情况相同地，将使上述被涂布体w移动的移动速度设置成比使上述涂布液供给体14旋转的周速度快，以使涂布液p从轴向长度较长的椭圆形的涂布液收容凹部14a经过上述狭缝状排出口12而在圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形。
55.如此，则在使涂布液p在圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形时，无需在涂布液供给体14的外周面设置与被涂布体w对应大小的圆形的涂布液收容凹部14a，通过如上所述地设置成轴向长度较长的椭圆形的涂布液收容凹部14a，能够减小涂布液供给体14的直径，能够使涂布用喷嘴10变小型。
56.此外，在本实施方式的第二涂布装置中，如上所述也在使呈波形的分隔构件13沿着狭缝状排出口12的长度方向设置于涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12，使狭缝状排出口12沿着其长度方向分离成多个排出部12a，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p仅经过位于与涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a而向被涂布体w的表面供给，因此，与上述第一涂布装置的情况相同地，能对如下情况进行抑制：涂布液p从位于与涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a以外的排出部12a被拖拽，使得涂布液p从与涂布液收容凹部14a并不对应的部分供给至被涂布体w的表面。如此，则能与涂布液收容凹部14a的形状对应地将涂布液p准确地涂布于被涂布体w的表面，并且，还能防止供给至被涂布体w的表面的涂布液p的周边部分的厚度变厚等。
57.在此，在图12中示出了如下的情况下的涂布用喷嘴10的长度方向的概略剖面说明图：如图10的(c)所示，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p经过涂布液收容凹部14a而被引导至上述设置有呈波形的分隔构件13的狭缝状排出口12，使涂布液p经过位于与上述涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a而从狭缝状排出口12向被涂布体w的表面涂布。在上述情况下，如上所述通过呈波形的分隔构件13使狭缝状排出口12分离成沿着其长度方向的多个排出部12a，因此，能对如下情况进行抑制：涂布液p从位于与涂布液收容凹部14a对应的位置的排出部12a以外的排出部12a被拖拽，使得涂布液p从与涂布液收容凹部14a并不对应的部分供给至被涂布体w的表面，且能防止供给至被涂布体w的表面的涂布液p的周边部分的厚度变厚等。
58.而且，在本实施方式的第二涂布装置中，如上所述也将呈波形的分隔构件13设置为比狭缝状排出口12的排出方向上的长度短，并在狭缝状排出口12的排出方向前端部设置有使狭缝状排出口12在长度方向上连续的连续狭缝状排出部12b，因此，也能防止如下的情况：涂布液p单独地从处于由分隔构件13分离的状态的各排出部12a直接涂布于被涂布体w的表面，导致供给到被涂布体w的表面的涂布液p产生与各排出部12a对应的纹理的不均。
59.而且，在本实施方式的第二涂布装置中，如上所述也在将施加于涂布液收容部11内的涂布液p的压力调节成固定压力的状态下，使收容于涂布液收容凹部14a内的涂布液p经过位于与涂布液收容凹部14a对应的位置处的排出部12a而向被涂布体w的表面供给，因此，能涂布成涂布液p在被涂布体w的整个表面成为均匀的厚度。
60.另外，在上述第一涂布装置及第二涂布装置中，在呈圆柱状的涂布液供给体14的外周面使涂布液收容凹部14a凹设成轴向长度较长的椭圆形，从而，如图8的(a)～(d)所示，使在凹设于上述涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a收容的涂布液p从涂布用喷嘴10经过狭缝状排出口12而在呈圆形的被涂布体w的表面涂布成圆形，但被涂布体w的形状不特别限定为圆形。此外，在使涂布液p经过涂布用喷嘴10的狭缝状排出口12而涂布在被涂布体w的表面的上述涂布液供给体14的外周面凹设的涂布液收容凹部14a的形状也没有限定，例如，根据涂布涂布液p的产品，如图11的(a)、(b)、(c)所示，可以将凹设于涂布液供给体14的外周面的涂布液收容凹部14a的形状设置成菱形、三角形、葫芦形等，可以设置各种形状的涂布液收容凹部14a。