1.本发明的各个方面和实施方式涉及输送装置和机械臂的示教(teaching)方法。
背景技术：
：：2.在近年来的产业领域中，应用了各种机器人。例如，在半导体制造的领域中，在输送基片的输送装置中应用了机械臂。在半导体装置的制造中，要求高精度地进行微小的加工。因此，进行示教，该示教将为了将要形成半导体装置的基片高精度地输送到对基片进行处理的处理装置内的预先设定的位置而所需的信息教导给输送装置。3.现有技术文献4.专利文献5.专利文献1：日本特开平6-326172号公报技术实现要素：6.发明要解决的技术问题7.本发明提供能够高精度地进行机械臂的示教的输送装置和机械臂的示教方法。8.用于解决技术问题的技术方案9.本发明的一个方面是输送基片的输送装置，其包括机械臂、第一照射部、第一受光部和控制装置。机械臂具有输送基片的臂和使臂旋转的驱动部。第一照射部沿着第一光路照射光。第一受光部接收从第一照射部照射的光。控制装置控制驱动部以使臂横穿第一光路地旋转。此外，控制装置执行步骤a)、步骤b)和步骤c)。在步骤a)中，基于从第一照射部照射的光是否被第一受光部接收到，检测从第一光路不被臂遮挡的状态变化为第一光路被臂遮挡的状态时的臂的第一旋转角度。在步骤b)中，基于从第一照射部照射的光是否被第一受光部接收到，检测第一光路从被臂遮挡的状态变化为不被臂遮挡的状态时的臂的第二旋转角度。在步骤c)中，基于通过了第一光路的臂的部分的宽度、第一光路被遮挡时的第一光路与臂的第一交点的位置、第一旋转角度和第二旋转角度，确定臂的第一旋转轴的位置。10.发明效果11.依照本发明的各个方面和实施方式，能够高精度地进行机械臂的示教。附图说明12.图1是表示第一实施方式中的处理系统的一个例子的概要俯视图。13.图2是表示第一实施方式中的真空输送模块和大气输送模块的一个例子的概要截面图。14.图3是表示真空输送模块和大气输送模块的另一个例子的概要截面图。15.图4是表示真空输送模块和大气输送模块的另一个例子的概要截面图。16.图5是表示机械臂的一个例子的图。17.图6是表示第一实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。18.图7是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。19.图8是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。20.图9是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。21.图10是说明第一实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。22.图11是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。23.图12是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。24.图13是表示第二实施方式中的处理系统的一个例子的概要俯视图。25.图14是表示第二实施方式中的真空输送模块和大气输送模块的一个例子的概要截面图。26.图15是表示第二实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。27.图16是表示第二实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。28.图17是表示第二实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。29.图18是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。30.图19是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。31.图20是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。32.图21是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。33.图22是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。34.图23是说明第二实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。35.图24是说明第二实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。36.图25是说明第二实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。37.图26是表示控制装置的硬件的一个例子的图。38.附图标记说明39.gꢀꢀꢀ闸门40.lꢀꢀꢀ光路41.pꢀꢀꢀ位置42.wꢀꢀꢀ宽度[0043]1ꢀꢀꢀ处理系统[0044]10ꢀꢀ主体[0045]11ꢀꢀ真空输送模块[0046]110引导轨道[0047]12ꢀꢀ处理模块[0048]13ꢀꢀ负载锁定模块[0049]14ꢀꢀ大气输送模块[0050]140引导轨道[0051]15ꢀꢀ装载端口[0052]20ꢀꢀ机械臂[0053]21ꢀꢀ基座[0054]22a第一驱动部[0055]22b第二驱动部[0056]22c第三驱动部[0057]23a第一臂[0058]23b第二臂[0059]23c第三臂[0060]24a第一部分[0061]24b第二部分[0062]24c第三部分[0063]25ꢀꢀ末端执行器[0064]30ꢀꢀ传感器[0065]31ꢀꢀ照射部[0066]32ꢀꢀ受光部[0067]100控制装置[0068]101处理器[0069]102ram[0070]103rom[0071]104辅助存储装置[0072]105通信i/f[0073]106输入输出i/f[0074]107媒体i/f[0075]108记录介质。具体实施方式[0076]以下，基于附图，对公开的输送装置和机械臂的示教方法的实施方式，详细地进行说明。此外，所公开的输送装置和机械臂的示教方法，并不由以下的实施方式限定。[0077](第一实施方式)[0078][处理系统1的结构][0079]图1是表示第一实施方式中的处理系统1的一个例子的概要俯视图。在图1中，为了方便，以透视一部分装置的内部的构成要素的方式进行图示。处理系统1包括主体10和控制主体10的控制装置100。处理系统1是输送装置的一个例子。[0080]主体10包括真空输送模块11、多个处理模块12、多个负载锁定模块13和大气输送模块14。在真空输送模块11的侧壁经由闸门(gatevalve)g1连接有多个处理模块12。在图1的例子中，在真空输送模块11连接有6个处理模块12，但与真空输送模块11连接的处理模块12的数量可以为5个以下，也可以为7个以上。[0081]各个处理模块12通过对成为处理对象的基片实施蚀刻、成膜等处理，在基片形成半导体装置。在真空输送模块11的另一侧壁经由闸门g2连接有多个负载锁定模块13。在图1的例子中，在真空输送模块11连接有二个负载锁定模块13，但与真空输送模块11连接的负载锁定模块13的数量可以为一个，也可以为三个以上。[0082]在真空输送模块11内配置有机械臂20。机械臂20沿着设置于真空输送模块11内的引导轨道110在真空输送模块11内移动。而且，机械臂20在处理模块12与其他处理模块12之间以及处理模块12与负载锁定模块13之间输送基片。此外，机械臂20也可以为固定于真空输送模块11内的预先设定的位置而不在真空输送模块11内移动的结构。真空输送模块11内被保持为比大气压低的压力气氛。[0083]在各个负载锁定模块13的一个侧壁经由闸门g2连接真空输送模块11，在另一个侧壁经由闸门g3连接大气输送模块14。在经由闸门g3从大气输送模块14将基片送入负载锁定模块13内的情况下，关闭闸门g3，负载锁定模块13内的压力从大气压下降至预先设定的压力。然后，打开闸门g2，利用机械臂20将负载锁定模块13内的基片向真空输送模块11内送出。[0084]另外，在负载锁定模块13内成为比大气压低的压力的状态下，利用机械臂20经由闸门g2从真空输送模块11将基片送入负载锁定模块13内，关闭闸门g2。然后，使负载锁定模块13内的压力上升至大气压。然后，打开闸门g3，将负载锁定模块13内的基片向大气输送模块14内送出。[0085]在与设置有闸门g3的大气输送模块14的侧壁相反侧的大气输送模块14的侧壁设置有多个装载端口15。在各个装载端口15连接能够收纳多个基片的foup(frontopeningunifiedpod：前开式晶片传送盒)等容器。此外，也可以在大气输送模块14设置改变基片的朝向的对准模块等。[0086]大气输送模块14内的压力为大气压。在大气输送模块14内设置有机械臂20。机械臂20沿着设置于大气输送模块14内的引导轨道140在大气输送模块14内移动，在负载锁定模块13与连接于装载端口15的容器之间输送基片。其中，机械臂20也可以是固定于大气输送模块14内的预先设定的位置而不在大气输送模块14内移动的结构。[0087]在大气输送模块14的上部设置有ffu(fanfilterunit：风机过滤器)等，除去了颗粒等的空气从上部被供给到大气输送模块14内，在大气输送模块14内形成下降流。此外，在本实施方式中，大气输送模块14内为大气压气氛，但作为其他方式，大气输送模块14内的压力也可以被控制为正压。由此，能够抑制颗粒等从外部侵入大气输送模块14内。[0088]另外，在真空输送模块11内和大气输送模块14内设置有用于检测机械臂20的位置的传感器30。图2是表示第一实施方式中的真空输送模块11和大气输送模块14的一个例子的概要截面图。传感器30例如如图2所示，包括照射部31和受光部32。照射部31沿着光路l照射光。受光部32接收从照射部31照射的光。在本实施方式中，受光部32设置于光路l上。照射部31是第一照射部的一个例子，受光部32是第一受光部的一个例子，光路l是第一光路的一个例子。[0089]在本实施方式中，照射部31例如是激光照射装置，沿着光路l照射直径为数毫米以下的点光。在本实施方式中，照射部31沿着铅垂方向照射光。从照射部31沿铅垂方向照射的光，在机械臂20横穿光路l时被机械臂20遮挡。在光路l被机械臂20遮挡时，从照射部31照射的光照射到机械臂20上的位置p。位置p是光路l被机械臂20遮挡时的光路l与机械臂20的第一交点的位置的一个例子。[0090]在本实施方式中，控制装置100通过判断受光部32是否接收到从照射部31照射的光，来判断从照射部31照射的光是否被机械臂20遮挡。而且，控制装置100通过判断从照射部31照射的光是否被机械臂20遮挡，来判断机械臂20是否通过了传感器30附近。[0091]在本实施方式中，光路l是沿着铅垂方向的光路，因此位置p与照射部31和受光部32的位置(即传感器30的位置)在水平面内的方向上一致。此外，作为其他方式，也可以是，照射部31设置于真空输送模块11的下部，受光部32设置于真空输送模块11的上部，照射部31沿着铅垂方向向上方照射光。[0092]另外，在本实施方式中，光路l是沿着铅垂方向的光路，但作为其他方式，例如如图3所示，光路l也可以是沿着相对于铅垂方向倾斜的方向的光路。在图3的例子中，位置p与照射部31和受光部32的位置(即传感器30的位置)在水平面内的方向上不同。[0093]另外，在本实施方式中，控制装置100在从照射部31照射的光没有被受光部32接收到的情况下，判断为从照射部31照射的光被机械臂20遮挡，但本发明的技术不限于此。例如，如图4所示，也可以为在从照射部31沿着光路l照射的光被机械臂20在位置p反射而被受光部32接收的情况下，也可以判断为从照射部31照射的光被机械臂20遮挡。[0094][机械臂20的结构][0095]图5是表示机械臂20的一个例子的图。机械臂20具有基座21、第一驱动部22a、第二驱动部22b、第三驱动部22c、第一臂23a、第二臂23b和第三臂23c。第一驱动部22a和第一臂23a设置于基座21上。第二驱动部22b和第二臂23b设置于第一臂23a上。第三驱动部22c和第三臂23c设置于第二臂23b上。第一驱动部22a是驱动部的一个例子，第一臂23a是臂的一个例子。[0096]第一臂23a具有在第一臂23a的长边方向上外形的宽度大致一定的第一部分24a。第二臂23b具有在第二臂23b的长边方向上外形的宽度大致一定的第二部分24b。第三臂23c具有在第三臂23c的长边方向上外形的宽度大致一定的第三部分24c。在第三臂23c的前端设置有能够载置基片的末端执行器25。[0097]第一驱动部22a使第一臂23a相对于基座21以第一驱动部22a的旋转轴为中心旋转。第二驱动部22b使第二臂23b相对于第一臂23a以第二驱动部22b的旋转轴为中心旋转。第三驱动部22c使第三臂23c相对于第二臂23b以第三驱动部22c的旋转轴为中心旋转。[0098][机械臂20的示教方法][0099]图6是表示第一实施方式中的机械臂20的示教方法的一个例子的流程图。图6例示的处理通过控制装置100控制机械臂20和传感器30来实现。在开始图6例示的处理之前，机械臂20被控制为例如图7例示那样的位置和姿态。在图7所示的例子中，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a在受光部32附近朝向预先设定的基准方向d。[0100]首先，控制装置100控制照射部31以照射光，确认处于从照射部31照射的光被受光部32接收的状态。然后，例如如图7所示，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a开始旋转(s100)。在步骤s100中，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a的第一部分24a通过受光部32的上方。在图7的例子中，第一臂23a顺时针旋转，但第一臂23a也可以逆时针旋转。[0101]当第一臂23a通过受光部32的上方时，例如如图8所示，从照射部31照射的光被第一臂23a遮挡，来自照射部31的光变得不能被受光部32接收。控制装置100根据从照射部31照射的光被第一臂23a遮挡的这一情况，检测出来自照射部31的光被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θa(s101)。步骤s101是步骤a)的一个例子，旋转角度θa是第一旋转角度的一个例子。[0102]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图9所示，第一臂23a对光的遮挡被解除，使得从照射部31照射的光能够被受光部32再次接收。控制装置100根据由第一臂23a造成的遮挡被解除的这一情况，检测出来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θb(s102)。步骤s102是步骤b)的一个例子，旋转角度θb是第二旋转角度的一个例子。[0103]接着，控制装置100确定第一臂23a的旋转轴的位置o(s103)。步骤s103是步骤c)的一个例子。在步骤s103中，控制装置100基于第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l与第一臂23a的交点的位置p、旋转角度θa和旋转角度θb，确定第一臂23a的旋转轴的位置o。第一臂23a的旋转轴的位置o是第一旋转轴的位置的一个例子。[0104]图10是说明第一实施方式中的第一臂23a的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。图10例示的三角形aob为等腰三角形，∠aob的角度为(θb－θa)，所以∠aop的角度为(θb－θa)/2。此外，由于第一臂23a的第一部分24a的宽度w是已知的，因此图10例示的直角三角形aop中的边ap的长度为w/2。[0105]由此，图10例示的直角三角形aop中的边po的长度lpo如以下的式(1)那样表示。[0106][0107]∠apo为90度－∠poa，因此能够将从位置p起在∠apo的方向上距离长度lpo的位置确定为第一臂23a的旋转轴的位置o。[0108]此外，第一臂23a旋转，由此从照射部31照射的光的光路l例如如图10所示，被第一臂23a的长边方向上外形的宽度大致一定的第一部分24a遮挡。第一部分24a的外形的宽度是已知的。由于光路l被第一臂23a的第一部分24a遮挡，即使第一臂23a的位置相对于受光部32稍微偏移，也能够高精度地确定图10的三角形aop中的边ap的长度。[0109]接着，控制装置100以在步骤s103中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图11所示，使第一臂23a旋转至预先设定的角度θ1(s104)。角度θ1是从基准方向d起的角度，在本实施方式中，角度θ1例如为110度。在图11所示的状态下，从照射部31照射的光被受光部32接收。[0110]接着，控制装置100例如在图11所示的状态下，控制第二驱动部22b，以使第二臂23b开始顺时针旋转(s105)。此外，第二臂23b也可以逆时针旋转。[0111]然后，第二臂23b通过受光部32的上方，由此从照射部31照射的光被第二臂23b遮挡。控制装置100检测出来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θa(s106)。[0112]然后，当第二臂23b进一步旋转而第二臂23b对光的遮挡被解除时，控制装置100检测出来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θb(s107)。[0113]接着，控制装置100以与图10同样的步骤确定第二臂23b的旋转轴的位置o(s108)。然后，控制装置100以在步骤s108中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图12所示，使第二臂23b旋转至预先设定的角度θ2(s109)。角度θ2是从第一臂23a的方向起的角度，在本实施方式中，角度θ2例如为10度。在图12所示的状态下，从照射部31照射的光被受光部32接收。[0114]接着，控制装置100例如在图12所示的状态下，控制第三驱动部22c，以使第三臂23c开始逆时针旋转(s110)。此外，第三臂23c也可以顺时针旋转。[0115]然后，第三臂23c通过受光部32的上方，由此从照射部31照射的光被第三臂23c遮挡。控制装置100检测出来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θa(s111)。[0116]然后，当第三臂23c进一步旋转而第三臂23c对光的遮挡被解除时，控制装置100检测出来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θb(s112)。[0117]接着，控制装置100以与图10同样的步骤确定第三臂23c的旋转轴的位置o(s113)。然后，控制装置100结束本流程图所示的机械臂20的示教方法。基于通过图6例示的机械臂20的示教方法确定出的旋转轴的位置来修正第一臂23a、第二臂23b和第三臂23c的旋转轴的位置。由此，能够高精度地进行机械臂20的示教。[0118]以上，对第一实施方式进行了说明。本实施方式中的处理系统1包括机械臂20、照射部31、受光部32和控制装置100。机械臂20具有输送基片的第一臂23a和使第一臂23a旋转的第一驱动部22a。照射部31沿着光路l照射光。受光部32接收从照射部31照射的光。控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a横穿光路l地旋转。此外，控制装置100执行步骤a)、步骤b)和步骤c)。在步骤a)中，基于从照射部31照射的光是否被受光部32接收到，检测从光路l不被第一臂23a遮挡的状态变化为光路l被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θa。在步骤b)中，基于从照射部31照射的光是否被受光部32接收到，检测光路l从被第一臂23a遮挡的状态变化为不被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θb。在步骤c)中，基于通过了光路l的第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l被遮挡时的光路l与第一臂23a的交点的位置p、旋转角度θa和旋转角度θb，来确定第一臂23a的旋转轴的位置o。由此，能够高精度地进行机械臂20的示教。[0119]另外，在上述的第一实施方式中，受光部32设置于光路l上。在从受光部32接收到从照射部31照射的光的状态变化为没有接收到从照射部照射的光的状态的情况下，控制装置100判断为光路l从不被第一臂23a遮挡的状态变化为被遮挡的状态。此外，在从受光部32没有接收到从照射部31照射的光的状态变化为接收到从照射部照射的光的状态的情况下，控制装置100判断为光路l从被第一臂23a遮挡的状态变化为不被第一臂23a遮挡的状态。由此，能够容易地判断出光路l从不被第一臂23a遮挡的状态变化为被遮挡的状态这一情况，以及光路l从被第一臂23a遮挡的状态变化为不被第一臂23a遮挡的状态这一情况。[0120]另外，在上述的实施方式中，控制装置100控制第一驱动部22a，以使外形的宽度一定的第一臂23a的部分横穿从照射部31照射的光的光路l地旋转。由此，即使第一臂23a的位置稍微偏移，也能够高精度地确定第一臂23a的旋转轴的位置o。[0121]另外，在上述的实施方式中，机械臂20具有第一臂23a、设置于第一臂23a上的第二臂23b、使第一臂23a旋转的第一驱动部22a和设置于第一臂23a上的使第二臂23b旋转的第二驱动部22b。控制装置100通过控制第一驱动部22a来对第一臂23a执行步骤a)～步骤c)。然后，控制装置100在基于通过步骤c)确定出的第一臂23a的旋转轴的位置将第一臂23a控制为预先设定的姿态之后，通过控制第二驱动部22b来对第二臂23b执行步骤a)～步骤c)。由此，在多关节的机械臂20中，也能够高精度地进行机械臂20的示教。[0122](第二实施方式)[0123]在第一实施方式中，使用一个传感器30对一个机械臂20进行了机械臂20的旋转轴的位置的确定。但是，在机械臂20中，有时存在旋转角度的零点偏移、机械臂20的安装误差等。在这样的情况下，在一个传感器30中，难以高精度地确定机械臂20的旋转轴的位置。因此，在本实施方式中，使用二个传感器30对一个机械臂20进行机械臂20的旋转轴的位置的确定。由此，即使在存在旋转角度的零点偏移、机械臂20的安装误差等的情况下，也能够高精度地确定机械臂20的旋转轴的位置。[0124][处理系统1的结构][0125]图13是表示第二实施方式中的处理系统1的一个例子的概要俯视图。在图13中，为了方便起见，以透视一部分装置的内部的构成要素的方式进行图示。此外，除了以下说明的点以外，在图13中，标注了与图1相同的附图标记的结构具有与图1中的结构同样或类似的功能，因此省略说明。[0126]在真空输送模块11内和大气输送模块14内设置有用于检测机械臂20的位置的传感器30-1和30-2。图14是表示第二实施方式中的真空输送模块11和大气输送模块14的一个例子的概要截面图。传感器30-1包括照射部31-1和受光部32-1。传感器30-2包括照射部31-2和受光部32-2。照射部31-1沿着光路l1照射光，照射部31-2沿着光路l2照射光。受光部32-1配置于光路l1上，接收从照射部31-1照射的光。受光部32-2配置于光路l2上，接收从照射部31-2照射的光。照射部31-1是第一照射部的一个例子，照射部31-2是第二照射部的一个例子。此外，受光部32-1是第一受光部的一个例子，受光部32-2是第二受光部的一个例子。另外，光路l1是第一光路的一个例子，光路l2是第二光路的一个例子。[0127]在本实施方式中，照射部31-1和31-2沿着铅垂方向照射光。在从照射部31-1沿铅垂方向照射的光被机械臂20遮挡时，从照射部31-1照射的光被照射到机械臂20上的位置p1。位置p1是光路l1被机械臂20遮挡时的光路l1与机械臂20的第一交点的位置的一个例子。此外，在从照射部31-2沿铅垂方向照射的光被机械臂20遮挡时，从照射部31-2照射的光被照射到机械臂20上的位置p2。位置p2是光路l2被机械臂20遮挡时的光路l2与机械臂20的第二交点的位置的一个例子。[0128]在本实施方式中，控制装置100通过判断受光部32-1是否接收到从照射部31-1照射的光，来判断从照射部31-1照射的光是否被机械臂20遮挡。此外，控制装置100通过判断受光部32-2是否接收到从照射部31-2照射的光，来判断从照射部31-2照射的光是否被机械臂20遮挡。[0129]在本实施方式中，光路l1是沿着铅垂方向的光路，因此位置p1与照射部31-1和受光部32-1的位置(即传感器30-1的位置)在水平面内的方向上一致。此外，光路l2是沿着铅垂方向的光路，因此位置p2与照射部31-2和受光部32-2的位置(即，传感器30-2的位置)在水平面内的方向上一致。此外，在本实施方式中，也可以将照射部31-1和31-2设置在真空输送模块11的下部，将受光部32-1和32-2设置在真空输送模块11的上部。[0130]另外，在本实施方式中，光路l1和光路l2例如也可以与图3同样，是沿着相对于铅垂方向倾斜的方向的光路。此外，例如也可以与图4同样地，在从照射部31-1沿着光路l1照射的光在位置p1被反射并被受光部32-1接收到的情况下，控制装置100判断为从照射部31照射的光被机械臂20遮挡。此外，例如也可以与图4同样地，在从照射部31-2沿着光路l2照射的光在位置p2被反射并被受光部32-2接收到的情况下，控制装置100判断为从照射部31-2照射的光被机械臂20遮挡。[0131][机械臂20的示教方法][0132]图15～图17是表示第二实施方式中的机械臂20的示教方法的一个例子的流程图。图15～图17例示的处理通过控制装置100控制机械臂20和传感器30来实现。在开始图15例示的处理之前，机械臂20被控制为例如图18例示那样的位置和姿态。在图18所示的例子中，控制装置100控制第一驱动部22a，使得在受光部32-1和32-2附近第一臂23a朝向预先设定的基准方向d。[0133]首先，控制装置100控制照射部31-1和31-2以照射光，确认处于从照射部31-1照射的光被受光部32-1接收且从照射部31-2照射的光被受光部32-2接收的状态。然后，例如如图18所示，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a开始旋转(s200)。在图18的例子中，第一臂23a顺时针旋转，但第一臂23a也可以逆时针旋转。[0134]当第一臂23a通过受光部32-1时，例如，如图19所示，从照射部31-1照射的光被第一臂23a遮挡，来自照射部31-1的光变得不能被受光部32-1接收。控制装置100根据从照射部31-1照射的光被第一臂23a遮挡这一情况，检测出来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θa1(s201)。步骤s201是步骤a)的一个例子，旋转角度θa1是第一旋转角度的一个例子。[0135]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图20所示，从照射部31-2照射的光被第一臂23a遮挡，来自照射部31-2的光变得不能被受光部32-2接收。控制装置100通过从照射部31-2照射的光被第一臂23a遮挡的情况，检测出来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θa2(s202)。步骤s202是步骤d)的一个例子，旋转角度θa2是第三旋转角度的一个例子。[0136]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图21所示，来自照射部31-1的光的遮挡被解除，从照射部31-1照射的光能够被受光部32-1再次接收。根据由第一臂23a造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θb1(s203)。步骤s203是步骤b)的一个例子，旋转角度θb1是第二旋转角度的一个例子。[0137]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图22所示，来自照射部31-2的光的遮挡被解除，从照射部31-2照射的光能够被受光部32-2再次接收。根据由第一臂23a造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θb2(s204)。步骤s204是步骤e)的一个例子，旋转角度θb2是第四旋转角度的一个例子。[0138]接着，控制装置100确定第一臂23a的旋转轴的位置o1(s205)。步骤s205是步骤c)的一个例子。在步骤s205中，基于通过了光路l1的第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l1与第一臂23a的交点的位置p1、旋转角度θa1和旋转角度θb1，确定第一臂23a的第一旋转轴的位置o1。[0139]图23是说明第二实施方式中的第一臂23a的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。图23例示的三角形ao1b为等腰三角形，∠ao1b的角度为(θb1－θa1)，因此∠ao1p1的角度为(θb1-θa1)/2。此外，由于第一臂23a的第一部分24a的宽度w是已知的，因此图23例示的直角三角形ao1p1中的边ap1的长度为w/2。[0140]由此，图23例示的直角三角形ao1p1中的边p1o1的长度lp1o1如以下的式(2)那样表示。[0141][0142]∠ap1o1为90度－∠ao1p1，因此能够将从位置p1起在∠ap1o1的方向上距离长度lp1o1的位置确定为第一臂23a的第一旋转轴的位置o1。[0143]接着，控制装置100确定第一臂23a的旋转轴的位置o2(s206)。步骤s206是步骤f)的一个例子。在步骤s206中，控制装置100基于第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l2与第一臂23a的交点的位置p2、旋转角度θa2和旋转角度θb2，确定第一臂23a的第二旋转轴的位置o2。[0144]图24是说明第二实施方式中的第一臂23a的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。图24例示的三角形ao2b为等腰三角形，∠ao2b的角度为(θb2－θa2)，因此∠ao2p2的角度为(θb2－θa2)/2。此外，由于第一臂23a的第一部分24a的宽度w是已知的，因此图24例示的直角三角形ao2p2中的边ap2的长度为w/2。[0145]由此，图24例示的直角三角形ao2p2中的边p2o2的长度lp2o2如以下的式(3)那样表示。[0146][0147]∠ap2o2为90度－∠ao2p2，因此能够将从位置p2起在∠ap2o2的方向距离长度lp2o2的位置确定为第一臂23a的第二旋转轴的位置o2。[0148]接着，控制装置100使用第一旋转轴的位置o1和第二旋转轴的位置o2，确定第一臂23a的旋转轴的位置o(s207)。步骤s207是步骤g)的一个例子。在步骤s207中，例如如图25所示，将以位置p1为中心且通过第一旋转轴的位置o1的第一圆c1与以位置p2为中心且通过第二旋转轴的位置o2的第二圆c2的交点确定为第一臂23a的旋转轴的位置o。[0149]另外，在图25中，线段p1o1与线段p1o所成的角和线段p2o2与线段p2o所成的角是相同的角度δθ，角度δθ是与第一臂23a的角度的零点偏移相同的角度。因此，通过确定线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，能够确定第一臂23a的角度的零点偏移的大小。由此，能够基于确定出的零点偏移的大小，来修正第一臂23a的零点偏移。[0150]接着，控制装置100以在步骤s207中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图11所示，使第一臂23a旋转至预先设定的角度θ1(s208)。[0151]接着，控制装置100例如在图11所示的状态下，控制第二驱动部22b，以使第二臂23b开始顺时针旋转(s210)。然后，第二臂23b通过受光部32-1的上方，由此从照射部31-1照射的光被第二臂23b遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θa1(s211)。[0152]当第二臂23b进一步旋转时，第二臂23b通过受光部32-2的上方，由此从照射部31-2照射的光被第二臂23b遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θa2(s212)。[0153]当第二臂23b进一步旋转时，来自照射部31-1的光的遮挡被解除，从照射部31-1照射的光能够被受光部32-1再次接收。根据由第二臂23b造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θb1(s213)。[0154]当第二臂23b进一步旋转时，来自照射部31-2的光的遮挡被解除，从照射部31-2照射的光能够被受光部32-2再次接收。根据由第二臂23b造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θb2(s214)。[0155]接着，控制装置100以与图23例示的步骤同样的步骤确定第二臂23b的第一旋转轴的位置o1(s215)。然后，控制装置100以与图24例示的步骤同样的步骤确定第二臂23b的第二旋转轴的位置o2(s216)。然后，控制装置100以与图25例示的步骤同样的步骤，利用第一旋转轴的位置o1和第二旋转轴的位置o2来确定第二臂23b的旋转轴的位置o。进而，根据线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，确定第二臂23b的角度的零点偏移的大小(s217)。然后，控制装置100以在步骤s217中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图12所示，使第二臂23b旋转至预先设定的角度θ2(s218)。[0156]接着，控制装置100例如在图12所示的状态下，控制第三驱动部22c，以使第三臂23c开始顺时针旋转(s220)。然后，第三臂23c通过受光部32-1的上方，由此从照射部31-1照射的光被第三臂23c遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θa1(s221)。[0157]当第三臂23c进一步旋转时，第三臂23c通过受光部32-2的上方，由此从照射部31-2照射的光被第三臂23c遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θa2(s222)。[0158]当第三臂23c进一步旋转时，来自照射部31-1的光的遮挡被解除，从照射部31-1照射的光能够被受光部32-1再次接收。根据由第三臂23c造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θb1(s223)。[0159]当第三臂23c进一步旋转时，来自照射部31-2的光的遮挡被解除，从照射部31-2照射的光能够被受光部32-2再次接收。根据由第三臂23c造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θb2(s224)。[0160]接着，控制装置100以与图23所示的步骤同样的步骤确定第三臂23c的第一旋转轴的位置o1(s225)。然后，控制装置100以与图24所示的步骤同样的步骤确定第三臂23c的第二旋转轴的位置o2(s226)。然后，控制装置100以与图25所示的步骤同样的步骤，利用第一旋转轴的位置o1和第二旋转轴的位置o2来确定第三臂23c的旋转轴的位置o。进而，根据线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，确定第三臂23c的角度的零点偏移的大小(s227)。然后，控制装置100结束本流程图所示的机械臂20的示教方法。[0161]以上，对第二实施方式进行了说明。本实施方式中的处理系统1具有照射部31-1、照射部31-2、受光部32-1和受光部32-2。照射部31-2在与光路l1和第一臂23a的交点的位置p1不同的位置p2，沿着能被第一臂23a遮挡的光路l2照射光。受光部32-2接收从照射部31-2照射的光。控制装置100执行步骤d)～步骤g)。在步骤d)中，基于从照射部31-2照射的光是否被受光部32-2接收到，检测从光路l2不被第一臂23a遮挡的状态变化为光路l2被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θa2。在步骤e)中，基于从照射部31-2照射的光是否被受光部32-2接收到，检测从光路l2被第一臂23a遮挡的状态变化为光路l2不被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θb2。在步骤f)中，基于通过了光路l2的第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l2被遮挡时的光路l2与第一臂23a的交点的位置p2、旋转角度θa2和旋转角度θb2，确定第一臂23a的第二旋转轴的位置o2。在步骤g)中，将以位置p1为中心且通过第一旋转轴的位置o1的第一圆c1与以位置p2为中心且通过第二旋转轴的位置o2的第二圆c2的交点确定为第一臂23a的校正后的旋转轴的位置o。进而，根据线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，确定第一臂23a的角度的零点偏移的大小。由此，即使在真空输送模块11或大气输送模块14内的机械臂20存在坐标或旋转角度的偏移等的情况下，控制装置100也能够检测并修正这些偏移量。因此，能够高精度且简便地进行机械臂20的示教。[0162]另外，也可以基于通过上述第一实施方式或第二实施方式的方法求出的值，对预先根据设计值暂时决定的示教数据进行修正或更新。例如，在控制装置100的辅助存储装置或ram(randomaccessmemory：随机存取存储器)等存储部内，预先保存作为处理模块12、负载锁定模块13等每个输送目标的设计值的示教数据。在预先保存的示教数据中，例如包含表示使机械臂20的各旋转轴每次旋转几次即可的信息和表示各臂的长度的信息等。而且，通过上述第一实施方式或第二实施方式所示的方法，基于感测(传感器检测)的结果对作为设计值预先保存的示教数据进行修正或更新。之后，控制装置100基于该示教数据控制机械臂20的各臂，将基片输送到各输送目标。[0163][硬件][0164]图26是表示控制装置100的硬件的一个例子的图。控制装置100包括处理器101、ram102、rom103、辅助存储装置104、通信接口(i/f)105、输入输出接口(i/f)106和媒体接口(i/f)107。[0165]处理器101基于保存在rom103或辅助存储装置104中的程序来工作，进行各部的控制。rom103保存在控制装置100启动时由处理器101执行的引导程序、取决于控制装置100的硬件的程序等。[0166]辅助存储装置104例如是hdd(harddiskdrive：硬盘驱动器)或者ssd(solidstatedrive：固态硬盘)等，保存由处理器101执行的程序和由该程序使用的数据等。处理器101从辅助存储装置104读出该程序并将其加载到ram102中，执行所加载的程序。[0167]通信i/f105经由lan(localareanetwork：局域网)等通信线路与主体10之间进行通信。通信i/f105经由通信线路从主体10接收数据并向处理器101发送，将处理器101生成的数据经由通信线路向主体10发送。处理器101经由通信i/f105，例如从传感器30获取感测信息。此外，处理器101经由通信i/f105向机械臂20发送例如用于驱动机械臂20的控制信号。[0168]处理器101经由输入输出i/f106控制键盘等输入装置和显示器等输出装置。处理器101经由输入输出i/f106获取从输入装置输入的信号并向处理器101发送。此外，处理器101将生成的数据经由输入输出i/f106向输出装置输出。[0169]媒体i/f107读取保存在记录介质108中的程序或数据，并将其保存在辅助存储装置104中。记录介质108例如是dvd(digitalversatiledisc：数字多功能光盘)、pd(phasechangerewritabledisk：可擦重写相变光盘)等光学记录介质、mo(magneto-opticaldisk：磁光盘)等光磁记录介质、磁带介质、磁记录介质或半导体存储器等。[0170]控制装置100的处理器101通过执行载入到ram102中的程序，来控制主体10的各部。处理器101从记录介质108读取加载到ram102中的程序并将其保存到辅助存储装置104中，但作为其他例子，也可以为处理器101经由通信线路从其他装置获取程序并保存到辅助存储装置104中。或者，也可以为处理器101不将从其他装置经由通信线路获取的程序保存在辅助存储装置104中，而将其加载到ram102中来执行。[0171][其他][0172]另外，本技术所公开的技术并不限定于上述的实施方式，能够在其主旨的范围内进行各种变形。[0173]例如，在上述的各实施方式中，机械臂20输送基片，但公开的技术不限于此，机械臂20也可以输送处理模块12内的边缘环等消耗部件。[0174]另外，应当认为本次公开的实施方式在所有方面都是例示而不是限制性的。实际上，上述的实施方式能够以多种方式具体实现。此外，上述的实施方式在不脱离所附的权利要求书及其主旨的情况下，可以以各种方式进行省略、替换、改变。当前第1页12当前第1页12
背景技术：
：：2.在近年来的产业领域中，应用了各种机器人。例如，在半导体制造的领域中，在输送基片的输送装置中应用了机械臂。在半导体装置的制造中，要求高精度地进行微小的加工。因此，进行示教，该示教将为了将要形成半导体装置的基片高精度地输送到对基片进行处理的处理装置内的预先设定的位置而所需的信息教导给输送装置。3.现有技术文献4.专利文献5.专利文献1：日本特开平6-326172号公报技术实现要素：6.发明要解决的技术问题7.本发明提供能够高精度地进行机械臂的示教的输送装置和机械臂的示教方法。8.用于解决技术问题的技术方案9.本发明的一个方面是输送基片的输送装置，其包括机械臂、第一照射部、第一受光部和控制装置。机械臂具有输送基片的臂和使臂旋转的驱动部。第一照射部沿着第一光路照射光。第一受光部接收从第一照射部照射的光。控制装置控制驱动部以使臂横穿第一光路地旋转。此外，控制装置执行步骤a)、步骤b)和步骤c)。在步骤a)中，基于从第一照射部照射的光是否被第一受光部接收到，检测从第一光路不被臂遮挡的状态变化为第一光路被臂遮挡的状态时的臂的第一旋转角度。在步骤b)中，基于从第一照射部照射的光是否被第一受光部接收到，检测第一光路从被臂遮挡的状态变化为不被臂遮挡的状态时的臂的第二旋转角度。在步骤c)中，基于通过了第一光路的臂的部分的宽度、第一光路被遮挡时的第一光路与臂的第一交点的位置、第一旋转角度和第二旋转角度，确定臂的第一旋转轴的位置。10.发明效果11.依照本发明的各个方面和实施方式，能够高精度地进行机械臂的示教。附图说明12.图1是表示第一实施方式中的处理系统的一个例子的概要俯视图。13.图2是表示第一实施方式中的真空输送模块和大气输送模块的一个例子的概要截面图。14.图3是表示真空输送模块和大气输送模块的另一个例子的概要截面图。15.图4是表示真空输送模块和大气输送模块的另一个例子的概要截面图。16.图5是表示机械臂的一个例子的图。17.图6是表示第一实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。18.图7是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。19.图8是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。20.图9是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。21.图10是说明第一实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。22.图11是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。23.图12是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。24.图13是表示第二实施方式中的处理系统的一个例子的概要俯视图。25.图14是表示第二实施方式中的真空输送模块和大气输送模块的一个例子的概要截面图。26.图15是表示第二实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。27.图16是表示第二实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。28.图17是表示第二实施方式中的机械臂的示教方法的一个例子的流程图。29.图18是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。30.图19是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。31.图20是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。32.图21是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。33.图22是表示机械臂的示教步骤的一个例子的图。34.图23是说明第二实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。35.图24是说明第二实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。36.图25是说明第二实施方式中的第一臂的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。37.图26是表示控制装置的硬件的一个例子的图。38.附图标记说明39.gꢀꢀꢀ闸门40.lꢀꢀꢀ光路41.pꢀꢀꢀ位置42.wꢀꢀꢀ宽度[0043]1ꢀꢀꢀ处理系统[0044]10ꢀꢀ主体[0045]11ꢀꢀ真空输送模块[0046]110引导轨道[0047]12ꢀꢀ处理模块[0048]13ꢀꢀ负载锁定模块[0049]14ꢀꢀ大气输送模块[0050]140引导轨道[0051]15ꢀꢀ装载端口[0052]20ꢀꢀ机械臂[0053]21ꢀꢀ基座[0054]22a第一驱动部[0055]22b第二驱动部[0056]22c第三驱动部[0057]23a第一臂[0058]23b第二臂[0059]23c第三臂[0060]24a第一部分[0061]24b第二部分[0062]24c第三部分[0063]25ꢀꢀ末端执行器[0064]30ꢀꢀ传感器[0065]31ꢀꢀ照射部[0066]32ꢀꢀ受光部[0067]100控制装置[0068]101处理器[0069]102ram[0070]103rom[0071]104辅助存储装置[0072]105通信i/f[0073]106输入输出i/f[0074]107媒体i/f[0075]108记录介质。具体实施方式[0076]以下，基于附图，对公开的输送装置和机械臂的示教方法的实施方式，详细地进行说明。此外，所公开的输送装置和机械臂的示教方法，并不由以下的实施方式限定。[0077](第一实施方式)[0078][处理系统1的结构][0079]图1是表示第一实施方式中的处理系统1的一个例子的概要俯视图。在图1中，为了方便，以透视一部分装置的内部的构成要素的方式进行图示。处理系统1包括主体10和控制主体10的控制装置100。处理系统1是输送装置的一个例子。[0080]主体10包括真空输送模块11、多个处理模块12、多个负载锁定模块13和大气输送模块14。在真空输送模块11的侧壁经由闸门(gatevalve)g1连接有多个处理模块12。在图1的例子中，在真空输送模块11连接有6个处理模块12，但与真空输送模块11连接的处理模块12的数量可以为5个以下，也可以为7个以上。[0081]各个处理模块12通过对成为处理对象的基片实施蚀刻、成膜等处理，在基片形成半导体装置。在真空输送模块11的另一侧壁经由闸门g2连接有多个负载锁定模块13。在图1的例子中，在真空输送模块11连接有二个负载锁定模块13，但与真空输送模块11连接的负载锁定模块13的数量可以为一个，也可以为三个以上。[0082]在真空输送模块11内配置有机械臂20。机械臂20沿着设置于真空输送模块11内的引导轨道110在真空输送模块11内移动。而且，机械臂20在处理模块12与其他处理模块12之间以及处理模块12与负载锁定模块13之间输送基片。此外，机械臂20也可以为固定于真空输送模块11内的预先设定的位置而不在真空输送模块11内移动的结构。真空输送模块11内被保持为比大气压低的压力气氛。[0083]在各个负载锁定模块13的一个侧壁经由闸门g2连接真空输送模块11，在另一个侧壁经由闸门g3连接大气输送模块14。在经由闸门g3从大气输送模块14将基片送入负载锁定模块13内的情况下，关闭闸门g3，负载锁定模块13内的压力从大气压下降至预先设定的压力。然后，打开闸门g2，利用机械臂20将负载锁定模块13内的基片向真空输送模块11内送出。[0084]另外，在负载锁定模块13内成为比大气压低的压力的状态下，利用机械臂20经由闸门g2从真空输送模块11将基片送入负载锁定模块13内，关闭闸门g2。然后，使负载锁定模块13内的压力上升至大气压。然后，打开闸门g3，将负载锁定模块13内的基片向大气输送模块14内送出。[0085]在与设置有闸门g3的大气输送模块14的侧壁相反侧的大气输送模块14的侧壁设置有多个装载端口15。在各个装载端口15连接能够收纳多个基片的foup(frontopeningunifiedpod：前开式晶片传送盒)等容器。此外，也可以在大气输送模块14设置改变基片的朝向的对准模块等。[0086]大气输送模块14内的压力为大气压。在大气输送模块14内设置有机械臂20。机械臂20沿着设置于大气输送模块14内的引导轨道140在大气输送模块14内移动，在负载锁定模块13与连接于装载端口15的容器之间输送基片。其中，机械臂20也可以是固定于大气输送模块14内的预先设定的位置而不在大气输送模块14内移动的结构。[0087]在大气输送模块14的上部设置有ffu(fanfilterunit：风机过滤器)等，除去了颗粒等的空气从上部被供给到大气输送模块14内，在大气输送模块14内形成下降流。此外，在本实施方式中，大气输送模块14内为大气压气氛，但作为其他方式，大气输送模块14内的压力也可以被控制为正压。由此，能够抑制颗粒等从外部侵入大气输送模块14内。[0088]另外，在真空输送模块11内和大气输送模块14内设置有用于检测机械臂20的位置的传感器30。图2是表示第一实施方式中的真空输送模块11和大气输送模块14的一个例子的概要截面图。传感器30例如如图2所示，包括照射部31和受光部32。照射部31沿着光路l照射光。受光部32接收从照射部31照射的光。在本实施方式中，受光部32设置于光路l上。照射部31是第一照射部的一个例子，受光部32是第一受光部的一个例子，光路l是第一光路的一个例子。[0089]在本实施方式中，照射部31例如是激光照射装置，沿着光路l照射直径为数毫米以下的点光。在本实施方式中，照射部31沿着铅垂方向照射光。从照射部31沿铅垂方向照射的光，在机械臂20横穿光路l时被机械臂20遮挡。在光路l被机械臂20遮挡时，从照射部31照射的光照射到机械臂20上的位置p。位置p是光路l被机械臂20遮挡时的光路l与机械臂20的第一交点的位置的一个例子。[0090]在本实施方式中，控制装置100通过判断受光部32是否接收到从照射部31照射的光，来判断从照射部31照射的光是否被机械臂20遮挡。而且，控制装置100通过判断从照射部31照射的光是否被机械臂20遮挡，来判断机械臂20是否通过了传感器30附近。[0091]在本实施方式中，光路l是沿着铅垂方向的光路，因此位置p与照射部31和受光部32的位置(即传感器30的位置)在水平面内的方向上一致。此外，作为其他方式，也可以是，照射部31设置于真空输送模块11的下部，受光部32设置于真空输送模块11的上部，照射部31沿着铅垂方向向上方照射光。[0092]另外，在本实施方式中，光路l是沿着铅垂方向的光路，但作为其他方式，例如如图3所示，光路l也可以是沿着相对于铅垂方向倾斜的方向的光路。在图3的例子中，位置p与照射部31和受光部32的位置(即传感器30的位置)在水平面内的方向上不同。[0093]另外，在本实施方式中，控制装置100在从照射部31照射的光没有被受光部32接收到的情况下，判断为从照射部31照射的光被机械臂20遮挡，但本发明的技术不限于此。例如，如图4所示，也可以为在从照射部31沿着光路l照射的光被机械臂20在位置p反射而被受光部32接收的情况下，也可以判断为从照射部31照射的光被机械臂20遮挡。[0094][机械臂20的结构][0095]图5是表示机械臂20的一个例子的图。机械臂20具有基座21、第一驱动部22a、第二驱动部22b、第三驱动部22c、第一臂23a、第二臂23b和第三臂23c。第一驱动部22a和第一臂23a设置于基座21上。第二驱动部22b和第二臂23b设置于第一臂23a上。第三驱动部22c和第三臂23c设置于第二臂23b上。第一驱动部22a是驱动部的一个例子，第一臂23a是臂的一个例子。[0096]第一臂23a具有在第一臂23a的长边方向上外形的宽度大致一定的第一部分24a。第二臂23b具有在第二臂23b的长边方向上外形的宽度大致一定的第二部分24b。第三臂23c具有在第三臂23c的长边方向上外形的宽度大致一定的第三部分24c。在第三臂23c的前端设置有能够载置基片的末端执行器25。[0097]第一驱动部22a使第一臂23a相对于基座21以第一驱动部22a的旋转轴为中心旋转。第二驱动部22b使第二臂23b相对于第一臂23a以第二驱动部22b的旋转轴为中心旋转。第三驱动部22c使第三臂23c相对于第二臂23b以第三驱动部22c的旋转轴为中心旋转。[0098][机械臂20的示教方法][0099]图6是表示第一实施方式中的机械臂20的示教方法的一个例子的流程图。图6例示的处理通过控制装置100控制机械臂20和传感器30来实现。在开始图6例示的处理之前，机械臂20被控制为例如图7例示那样的位置和姿态。在图7所示的例子中，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a在受光部32附近朝向预先设定的基准方向d。[0100]首先，控制装置100控制照射部31以照射光，确认处于从照射部31照射的光被受光部32接收的状态。然后，例如如图7所示，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a开始旋转(s100)。在步骤s100中，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a的第一部分24a通过受光部32的上方。在图7的例子中，第一臂23a顺时针旋转，但第一臂23a也可以逆时针旋转。[0101]当第一臂23a通过受光部32的上方时，例如如图8所示，从照射部31照射的光被第一臂23a遮挡，来自照射部31的光变得不能被受光部32接收。控制装置100根据从照射部31照射的光被第一臂23a遮挡的这一情况，检测出来自照射部31的光被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θa(s101)。步骤s101是步骤a)的一个例子，旋转角度θa是第一旋转角度的一个例子。[0102]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图9所示，第一臂23a对光的遮挡被解除，使得从照射部31照射的光能够被受光部32再次接收。控制装置100根据由第一臂23a造成的遮挡被解除的这一情况，检测出来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θb(s102)。步骤s102是步骤b)的一个例子，旋转角度θb是第二旋转角度的一个例子。[0103]接着，控制装置100确定第一臂23a的旋转轴的位置o(s103)。步骤s103是步骤c)的一个例子。在步骤s103中，控制装置100基于第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l与第一臂23a的交点的位置p、旋转角度θa和旋转角度θb，确定第一臂23a的旋转轴的位置o。第一臂23a的旋转轴的位置o是第一旋转轴的位置的一个例子。[0104]图10是说明第一实施方式中的第一臂23a的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。图10例示的三角形aob为等腰三角形，∠aob的角度为(θb－θa)，所以∠aop的角度为(θb－θa)/2。此外，由于第一臂23a的第一部分24a的宽度w是已知的，因此图10例示的直角三角形aop中的边ap的长度为w/2。[0105]由此，图10例示的直角三角形aop中的边po的长度lpo如以下的式(1)那样表示。[0106][0107]∠apo为90度－∠poa，因此能够将从位置p起在∠apo的方向上距离长度lpo的位置确定为第一臂23a的旋转轴的位置o。[0108]此外，第一臂23a旋转，由此从照射部31照射的光的光路l例如如图10所示，被第一臂23a的长边方向上外形的宽度大致一定的第一部分24a遮挡。第一部分24a的外形的宽度是已知的。由于光路l被第一臂23a的第一部分24a遮挡，即使第一臂23a的位置相对于受光部32稍微偏移，也能够高精度地确定图10的三角形aop中的边ap的长度。[0109]接着，控制装置100以在步骤s103中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图11所示，使第一臂23a旋转至预先设定的角度θ1(s104)。角度θ1是从基准方向d起的角度，在本实施方式中，角度θ1例如为110度。在图11所示的状态下，从照射部31照射的光被受光部32接收。[0110]接着，控制装置100例如在图11所示的状态下，控制第二驱动部22b，以使第二臂23b开始顺时针旋转(s105)。此外，第二臂23b也可以逆时针旋转。[0111]然后，第二臂23b通过受光部32的上方，由此从照射部31照射的光被第二臂23b遮挡。控制装置100检测出来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θa(s106)。[0112]然后，当第二臂23b进一步旋转而第二臂23b对光的遮挡被解除时，控制装置100检测出来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θb(s107)。[0113]接着，控制装置100以与图10同样的步骤确定第二臂23b的旋转轴的位置o(s108)。然后，控制装置100以在步骤s108中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图12所示，使第二臂23b旋转至预先设定的角度θ2(s109)。角度θ2是从第一臂23a的方向起的角度，在本实施方式中，角度θ2例如为10度。在图12所示的状态下，从照射部31照射的光被受光部32接收。[0114]接着，控制装置100例如在图12所示的状态下，控制第三驱动部22c，以使第三臂23c开始逆时针旋转(s110)。此外，第三臂23c也可以顺时针旋转。[0115]然后，第三臂23c通过受光部32的上方，由此从照射部31照射的光被第三臂23c遮挡。控制装置100检测出来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从被受光部32接收的状态变化为不被受光部32接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θa(s111)。[0116]然后，当第三臂23c进一步旋转而第三臂23c对光的遮挡被解除时，控制装置100检测出来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31的光从不被受光部32接收的状态变化为被受光部32接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θb(s112)。[0117]接着，控制装置100以与图10同样的步骤确定第三臂23c的旋转轴的位置o(s113)。然后，控制装置100结束本流程图所示的机械臂20的示教方法。基于通过图6例示的机械臂20的示教方法确定出的旋转轴的位置来修正第一臂23a、第二臂23b和第三臂23c的旋转轴的位置。由此，能够高精度地进行机械臂20的示教。[0118]以上，对第一实施方式进行了说明。本实施方式中的处理系统1包括机械臂20、照射部31、受光部32和控制装置100。机械臂20具有输送基片的第一臂23a和使第一臂23a旋转的第一驱动部22a。照射部31沿着光路l照射光。受光部32接收从照射部31照射的光。控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a横穿光路l地旋转。此外，控制装置100执行步骤a)、步骤b)和步骤c)。在步骤a)中，基于从照射部31照射的光是否被受光部32接收到，检测从光路l不被第一臂23a遮挡的状态变化为光路l被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θa。在步骤b)中，基于从照射部31照射的光是否被受光部32接收到，检测光路l从被第一臂23a遮挡的状态变化为不被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θb。在步骤c)中，基于通过了光路l的第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l被遮挡时的光路l与第一臂23a的交点的位置p、旋转角度θa和旋转角度θb，来确定第一臂23a的旋转轴的位置o。由此，能够高精度地进行机械臂20的示教。[0119]另外，在上述的第一实施方式中，受光部32设置于光路l上。在从受光部32接收到从照射部31照射的光的状态变化为没有接收到从照射部照射的光的状态的情况下，控制装置100判断为光路l从不被第一臂23a遮挡的状态变化为被遮挡的状态。此外，在从受光部32没有接收到从照射部31照射的光的状态变化为接收到从照射部照射的光的状态的情况下，控制装置100判断为光路l从被第一臂23a遮挡的状态变化为不被第一臂23a遮挡的状态。由此，能够容易地判断出光路l从不被第一臂23a遮挡的状态变化为被遮挡的状态这一情况，以及光路l从被第一臂23a遮挡的状态变化为不被第一臂23a遮挡的状态这一情况。[0120]另外，在上述的实施方式中，控制装置100控制第一驱动部22a，以使外形的宽度一定的第一臂23a的部分横穿从照射部31照射的光的光路l地旋转。由此，即使第一臂23a的位置稍微偏移，也能够高精度地确定第一臂23a的旋转轴的位置o。[0121]另外，在上述的实施方式中，机械臂20具有第一臂23a、设置于第一臂23a上的第二臂23b、使第一臂23a旋转的第一驱动部22a和设置于第一臂23a上的使第二臂23b旋转的第二驱动部22b。控制装置100通过控制第一驱动部22a来对第一臂23a执行步骤a)～步骤c)。然后，控制装置100在基于通过步骤c)确定出的第一臂23a的旋转轴的位置将第一臂23a控制为预先设定的姿态之后，通过控制第二驱动部22b来对第二臂23b执行步骤a)～步骤c)。由此，在多关节的机械臂20中，也能够高精度地进行机械臂20的示教。[0122](第二实施方式)[0123]在第一实施方式中，使用一个传感器30对一个机械臂20进行了机械臂20的旋转轴的位置的确定。但是，在机械臂20中，有时存在旋转角度的零点偏移、机械臂20的安装误差等。在这样的情况下，在一个传感器30中，难以高精度地确定机械臂20的旋转轴的位置。因此，在本实施方式中，使用二个传感器30对一个机械臂20进行机械臂20的旋转轴的位置的确定。由此，即使在存在旋转角度的零点偏移、机械臂20的安装误差等的情况下，也能够高精度地确定机械臂20的旋转轴的位置。[0124][处理系统1的结构][0125]图13是表示第二实施方式中的处理系统1的一个例子的概要俯视图。在图13中，为了方便起见，以透视一部分装置的内部的构成要素的方式进行图示。此外，除了以下说明的点以外，在图13中，标注了与图1相同的附图标记的结构具有与图1中的结构同样或类似的功能，因此省略说明。[0126]在真空输送模块11内和大气输送模块14内设置有用于检测机械臂20的位置的传感器30-1和30-2。图14是表示第二实施方式中的真空输送模块11和大气输送模块14的一个例子的概要截面图。传感器30-1包括照射部31-1和受光部32-1。传感器30-2包括照射部31-2和受光部32-2。照射部31-1沿着光路l1照射光，照射部31-2沿着光路l2照射光。受光部32-1配置于光路l1上，接收从照射部31-1照射的光。受光部32-2配置于光路l2上，接收从照射部31-2照射的光。照射部31-1是第一照射部的一个例子，照射部31-2是第二照射部的一个例子。此外，受光部32-1是第一受光部的一个例子，受光部32-2是第二受光部的一个例子。另外，光路l1是第一光路的一个例子，光路l2是第二光路的一个例子。[0127]在本实施方式中，照射部31-1和31-2沿着铅垂方向照射光。在从照射部31-1沿铅垂方向照射的光被机械臂20遮挡时，从照射部31-1照射的光被照射到机械臂20上的位置p1。位置p1是光路l1被机械臂20遮挡时的光路l1与机械臂20的第一交点的位置的一个例子。此外，在从照射部31-2沿铅垂方向照射的光被机械臂20遮挡时，从照射部31-2照射的光被照射到机械臂20上的位置p2。位置p2是光路l2被机械臂20遮挡时的光路l2与机械臂20的第二交点的位置的一个例子。[0128]在本实施方式中，控制装置100通过判断受光部32-1是否接收到从照射部31-1照射的光，来判断从照射部31-1照射的光是否被机械臂20遮挡。此外，控制装置100通过判断受光部32-2是否接收到从照射部31-2照射的光，来判断从照射部31-2照射的光是否被机械臂20遮挡。[0129]在本实施方式中，光路l1是沿着铅垂方向的光路，因此位置p1与照射部31-1和受光部32-1的位置(即传感器30-1的位置)在水平面内的方向上一致。此外，光路l2是沿着铅垂方向的光路，因此位置p2与照射部31-2和受光部32-2的位置(即，传感器30-2的位置)在水平面内的方向上一致。此外，在本实施方式中，也可以将照射部31-1和31-2设置在真空输送模块11的下部，将受光部32-1和32-2设置在真空输送模块11的上部。[0130]另外，在本实施方式中，光路l1和光路l2例如也可以与图3同样，是沿着相对于铅垂方向倾斜的方向的光路。此外，例如也可以与图4同样地，在从照射部31-1沿着光路l1照射的光在位置p1被反射并被受光部32-1接收到的情况下，控制装置100判断为从照射部31照射的光被机械臂20遮挡。此外，例如也可以与图4同样地，在从照射部31-2沿着光路l2照射的光在位置p2被反射并被受光部32-2接收到的情况下，控制装置100判断为从照射部31-2照射的光被机械臂20遮挡。[0131][机械臂20的示教方法][0132]图15～图17是表示第二实施方式中的机械臂20的示教方法的一个例子的流程图。图15～图17例示的处理通过控制装置100控制机械臂20和传感器30来实现。在开始图15例示的处理之前，机械臂20被控制为例如图18例示那样的位置和姿态。在图18所示的例子中，控制装置100控制第一驱动部22a，使得在受光部32-1和32-2附近第一臂23a朝向预先设定的基准方向d。[0133]首先，控制装置100控制照射部31-1和31-2以照射光，确认处于从照射部31-1照射的光被受光部32-1接收且从照射部31-2照射的光被受光部32-2接收的状态。然后，例如如图18所示，控制装置100控制第一驱动部22a，以使第一臂23a开始旋转(s200)。在图18的例子中，第一臂23a顺时针旋转，但第一臂23a也可以逆时针旋转。[0134]当第一臂23a通过受光部32-1时，例如，如图19所示，从照射部31-1照射的光被第一臂23a遮挡，来自照射部31-1的光变得不能被受光部32-1接收。控制装置100根据从照射部31-1照射的光被第一臂23a遮挡这一情况，检测出来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θa1(s201)。步骤s201是步骤a)的一个例子，旋转角度θa1是第一旋转角度的一个例子。[0135]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图20所示，从照射部31-2照射的光被第一臂23a遮挡，来自照射部31-2的光变得不能被受光部32-2接收。控制装置100通过从照射部31-2照射的光被第一臂23a遮挡的情况，检测出来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θa2(s202)。步骤s202是步骤d)的一个例子，旋转角度θa2是第三旋转角度的一个例子。[0136]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图21所示，来自照射部31-1的光的遮挡被解除，从照射部31-1照射的光能够被受光部32-1再次接收。根据由第一臂23a造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θb1(s203)。步骤s203是步骤b)的一个例子，旋转角度θb1是第二旋转角度的一个例子。[0137]当第一臂23a进一步旋转时，例如如图22所示，来自照射部31-2的光的遮挡被解除，从照射部31-2照射的光能够被受光部32-2再次接收。根据由第一臂23a造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态时的第一臂23a的旋转角度θb2(s204)。步骤s204是步骤e)的一个例子，旋转角度θb2是第四旋转角度的一个例子。[0138]接着，控制装置100确定第一臂23a的旋转轴的位置o1(s205)。步骤s205是步骤c)的一个例子。在步骤s205中，基于通过了光路l1的第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l1与第一臂23a的交点的位置p1、旋转角度θa1和旋转角度θb1，确定第一臂23a的第一旋转轴的位置o1。[0139]图23是说明第二实施方式中的第一臂23a的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。图23例示的三角形ao1b为等腰三角形，∠ao1b的角度为(θb1－θa1)，因此∠ao1p1的角度为(θb1-θa1)/2。此外，由于第一臂23a的第一部分24a的宽度w是已知的，因此图23例示的直角三角形ao1p1中的边ap1的长度为w/2。[0140]由此，图23例示的直角三角形ao1p1中的边p1o1的长度lp1o1如以下的式(2)那样表示。[0141][0142]∠ap1o1为90度－∠ao1p1，因此能够将从位置p1起在∠ap1o1的方向上距离长度lp1o1的位置确定为第一臂23a的第一旋转轴的位置o1。[0143]接着，控制装置100确定第一臂23a的旋转轴的位置o2(s206)。步骤s206是步骤f)的一个例子。在步骤s206中，控制装置100基于第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l2与第一臂23a的交点的位置p2、旋转角度θa2和旋转角度θb2，确定第一臂23a的第二旋转轴的位置o2。[0144]图24是说明第二实施方式中的第一臂23a的旋转轴的位置的确定方法的一个例子的图。图24例示的三角形ao2b为等腰三角形，∠ao2b的角度为(θb2－θa2)，因此∠ao2p2的角度为(θb2－θa2)/2。此外，由于第一臂23a的第一部分24a的宽度w是已知的，因此图24例示的直角三角形ao2p2中的边ap2的长度为w/2。[0145]由此，图24例示的直角三角形ao2p2中的边p2o2的长度lp2o2如以下的式(3)那样表示。[0146][0147]∠ap2o2为90度－∠ao2p2，因此能够将从位置p2起在∠ap2o2的方向距离长度lp2o2的位置确定为第一臂23a的第二旋转轴的位置o2。[0148]接着，控制装置100使用第一旋转轴的位置o1和第二旋转轴的位置o2，确定第一臂23a的旋转轴的位置o(s207)。步骤s207是步骤g)的一个例子。在步骤s207中，例如如图25所示，将以位置p1为中心且通过第一旋转轴的位置o1的第一圆c1与以位置p2为中心且通过第二旋转轴的位置o2的第二圆c2的交点确定为第一臂23a的旋转轴的位置o。[0149]另外，在图25中，线段p1o1与线段p1o所成的角和线段p2o2与线段p2o所成的角是相同的角度δθ，角度δθ是与第一臂23a的角度的零点偏移相同的角度。因此，通过确定线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，能够确定第一臂23a的角度的零点偏移的大小。由此，能够基于确定出的零点偏移的大小，来修正第一臂23a的零点偏移。[0150]接着，控制装置100以在步骤s207中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图11所示，使第一臂23a旋转至预先设定的角度θ1(s208)。[0151]接着，控制装置100例如在图11所示的状态下，控制第二驱动部22b，以使第二臂23b开始顺时针旋转(s210)。然后，第二臂23b通过受光部32-1的上方，由此从照射部31-1照射的光被第二臂23b遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θa1(s211)。[0152]当第二臂23b进一步旋转时，第二臂23b通过受光部32-2的上方，由此从照射部31-2照射的光被第二臂23b遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θa2(s212)。[0153]当第二臂23b进一步旋转时，来自照射部31-1的光的遮挡被解除，从照射部31-1照射的光能够被受光部32-1再次接收。根据由第二臂23b造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θb1(s213)。[0154]当第二臂23b进一步旋转时，来自照射部31-2的光的遮挡被解除，从照射部31-2照射的光能够被受光部32-2再次接收。根据由第二臂23b造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态时的第二臂23b的旋转角度θb2(s214)。[0155]接着，控制装置100以与图23例示的步骤同样的步骤确定第二臂23b的第一旋转轴的位置o1(s215)。然后，控制装置100以与图24例示的步骤同样的步骤确定第二臂23b的第二旋转轴的位置o2(s216)。然后，控制装置100以与图25例示的步骤同样的步骤，利用第一旋转轴的位置o1和第二旋转轴的位置o2来确定第二臂23b的旋转轴的位置o。进而，根据线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，确定第二臂23b的角度的零点偏移的大小(s217)。然后，控制装置100以在步骤s217中确定出的旋转轴的位置o为中心，例如如图12所示，使第二臂23b旋转至预先设定的角度θ2(s218)。[0156]接着，控制装置100例如在图12所示的状态下，控制第三驱动部22c，以使第三臂23c开始顺时针旋转(s220)。然后，第三臂23c通过受光部32-1的上方，由此从照射部31-1照射的光被第三臂23c遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从被受光部32-1接收的状态变化为不被受光部32-1接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θa1(s221)。[0157]当第三臂23c进一步旋转时，第三臂23c通过受光部32-2的上方，由此从照射部31-2照射的光被第三臂23c遮挡。由此，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从被受光部32-2接收的状态变化为不被受光部32-2接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θa2(s222)。[0158]当第三臂23c进一步旋转时，来自照射部31-1的光的遮挡被解除，从照射部31-1照射的光能够被受光部32-1再次接收。根据由第三臂23c造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-1的光从不被受光部32-1接收的状态变化为被受光部32-1接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θb1(s223)。[0159]当第三臂23c进一步旋转时，来自照射部31-2的光的遮挡被解除，从照射部31-2照射的光能够被受光部32-2再次接收。根据由第三臂23c造成的遮挡被解除这一情况，控制装置100检测出来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态。然后，控制装置100检测来自照射部31-2的光从不被受光部32-2接收的状态变化为被受光部32-2接收的状态时的第三臂23c的旋转角度θb2(s224)。[0160]接着，控制装置100以与图23所示的步骤同样的步骤确定第三臂23c的第一旋转轴的位置o1(s225)。然后，控制装置100以与图24所示的步骤同样的步骤确定第三臂23c的第二旋转轴的位置o2(s226)。然后，控制装置100以与图25所示的步骤同样的步骤，利用第一旋转轴的位置o1和第二旋转轴的位置o2来确定第三臂23c的旋转轴的位置o。进而，根据线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，确定第三臂23c的角度的零点偏移的大小(s227)。然后，控制装置100结束本流程图所示的机械臂20的示教方法。[0161]以上，对第二实施方式进行了说明。本实施方式中的处理系统1具有照射部31-1、照射部31-2、受光部32-1和受光部32-2。照射部31-2在与光路l1和第一臂23a的交点的位置p1不同的位置p2，沿着能被第一臂23a遮挡的光路l2照射光。受光部32-2接收从照射部31-2照射的光。控制装置100执行步骤d)～步骤g)。在步骤d)中，基于从照射部31-2照射的光是否被受光部32-2接收到，检测从光路l2不被第一臂23a遮挡的状态变化为光路l2被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θa2。在步骤e)中，基于从照射部31-2照射的光是否被受光部32-2接收到，检测从光路l2被第一臂23a遮挡的状态变化为光路l2不被第一臂23a遮挡的状态时的第一臂23a的旋转角度θb2。在步骤f)中，基于通过了光路l2的第一臂23a的第一部分24a的宽度、光路l2被遮挡时的光路l2与第一臂23a的交点的位置p2、旋转角度θa2和旋转角度θb2，确定第一臂23a的第二旋转轴的位置o2。在步骤g)中，将以位置p1为中心且通过第一旋转轴的位置o1的第一圆c1与以位置p2为中心且通过第二旋转轴的位置o2的第二圆c2的交点确定为第一臂23a的校正后的旋转轴的位置o。进而，根据线段p1o1与线段p1o所成的角或者线段p2o2与线段p2o所成的角，确定第一臂23a的角度的零点偏移的大小。由此，即使在真空输送模块11或大气输送模块14内的机械臂20存在坐标或旋转角度的偏移等的情况下，控制装置100也能够检测并修正这些偏移量。因此，能够高精度且简便地进行机械臂20的示教。[0162]另外，也可以基于通过上述第一实施方式或第二实施方式的方法求出的值，对预先根据设计值暂时决定的示教数据进行修正或更新。例如，在控制装置100的辅助存储装置或ram(randomaccessmemory：随机存取存储器)等存储部内，预先保存作为处理模块12、负载锁定模块13等每个输送目标的设计值的示教数据。在预先保存的示教数据中，例如包含表示使机械臂20的各旋转轴每次旋转几次即可的信息和表示各臂的长度的信息等。而且，通过上述第一实施方式或第二实施方式所示的方法，基于感测(传感器检测)的结果对作为设计值预先保存的示教数据进行修正或更新。之后，控制装置100基于该示教数据控制机械臂20的各臂，将基片输送到各输送目标。[0163][硬件][0164]图26是表示控制装置100的硬件的一个例子的图。控制装置100包括处理器101、ram102、rom103、辅助存储装置104、通信接口(i/f)105、输入输出接口(i/f)106和媒体接口(i/f)107。[0165]处理器101基于保存在rom103或辅助存储装置104中的程序来工作，进行各部的控制。rom103保存在控制装置100启动时由处理器101执行的引导程序、取决于控制装置100的硬件的程序等。[0166]辅助存储装置104例如是hdd(harddiskdrive：硬盘驱动器)或者ssd(solidstatedrive：固态硬盘)等，保存由处理器101执行的程序和由该程序使用的数据等。处理器101从辅助存储装置104读出该程序并将其加载到ram102中，执行所加载的程序。[0167]通信i/f105经由lan(localareanetwork：局域网)等通信线路与主体10之间进行通信。通信i/f105经由通信线路从主体10接收数据并向处理器101发送，将处理器101生成的数据经由通信线路向主体10发送。处理器101经由通信i/f105，例如从传感器30获取感测信息。此外，处理器101经由通信i/f105向机械臂20发送例如用于驱动机械臂20的控制信号。[0168]处理器101经由输入输出i/f106控制键盘等输入装置和显示器等输出装置。处理器101经由输入输出i/f106获取从输入装置输入的信号并向处理器101发送。此外，处理器101将生成的数据经由输入输出i/f106向输出装置输出。[0169]媒体i/f107读取保存在记录介质108中的程序或数据，并将其保存在辅助存储装置104中。记录介质108例如是dvd(digitalversatiledisc：数字多功能光盘)、pd(phasechangerewritabledisk：可擦重写相变光盘)等光学记录介质、mo(magneto-opticaldisk：磁光盘)等光磁记录介质、磁带介质、磁记录介质或半导体存储器等。[0170]控制装置100的处理器101通过执行载入到ram102中的程序，来控制主体10的各部。处理器101从记录介质108读取加载到ram102中的程序并将其保存到辅助存储装置104中，但作为其他例子，也可以为处理器101经由通信线路从其他装置获取程序并保存到辅助存储装置104中。或者，也可以为处理器101不将从其他装置经由通信线路获取的程序保存在辅助存储装置104中，而将其加载到ram102中来执行。[0171][其他][0172]另外，本技术所公开的技术并不限定于上述的实施方式，能够在其主旨的范围内进行各种变形。[0173]例如，在上述的各实施方式中，机械臂20输送基片，但公开的技术不限于此，机械臂20也可以输送处理模块12内的边缘环等消耗部件。[0174]另外，应当认为本次公开的实施方式在所有方面都是例示而不是限制性的。实际上，上述的实施方式能够以多种方式具体实现。此外，上述的实施方式在不脱离所附的权利要求书及其主旨的情况下，可以以各种方式进行省略、替换、改变。当前第1页12当前第1页12
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