输送装置和机械臂的示教方法与流程

技术特征：
1.一种输送基片的输送装置，其特征在于，包括：机械臂，其具有输送所述基片的臂和使所述臂旋转的驱动部；沿着第一光路照射光的第一照射部；接收从所述第一照射部照射的光的第一受光部；以及控制装置，其控制所述驱动部以使所述臂横穿所述第一光路地旋转，所述控制装置执行如下步骤：步骤a)基于从所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，检测从所述第一光路不被所述臂遮挡的状态变化为所述第一光路被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第一旋转角度；步骤b)基于从所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，检测从所述第一光路被所述臂遮挡的状态变化为所述第一光路不被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第二旋转角度；以及步骤c)基于通过了所述第一光路的所述臂的部分的宽度、所述第一光路被遮挡时的所述第一光路与所述臂的第一交点的位置、所述第一旋转角度和所述第二旋转角度，确定所述臂的第一旋转轴的位置。2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于：所述第一受光部设置在所述第一光路上，所述控制装置，在从所述第一受光部接收到从所述第一照射部照射的光的状态变化为所述第一受光部没有接收到从所述第一照射部照射的光的状态的情况下，判断为所述第一光路从不被所述臂遮挡的状态变化为被所述臂遮挡的状态，在从所述第一受光部没有接收到从所述第一照射部照射的光的状态变化为所述第一受光部接收到从所述第一照射部照射的光的状态的情况下，判断为所述第一光路从被所述臂遮挡的状态变化为不被所述臂遮挡的状态。3.如权利要求1或2所述的输送装置，其特征在于：所述控制装置控制所述驱动部，以使外形的宽度一定的所述臂的部分横穿从所述第一照射部照射的光的第一光路地旋转。4.如权利要求1至3中任一项所述的输送装置，其特征在于：所述臂具有：第一臂；和设置于所述第一臂上的第二臂，所述驱动部具有：使所述第一臂旋转的第一驱动部；和设置于所述第一臂上的使所述第二臂旋转的第二驱动部，所述控制装置通过控制所述第一驱动部来对所述第一臂执行所述步骤a)～所述步骤c)，在基于通过所述步骤c)确定出的所述第一旋转轴的位置将所述第一臂控制为预先设定的姿态之后，通过控制所述第二驱动部来对所述第二臂执行所述步骤a)～所述步骤c)。5.如权利要求1至4中任一项所述的输送装置，其特征在于，包括：第二照射部，其在与所述第一光路被所述臂遮挡时的所述第一光路和所述臂的交点的
位置不同的位置，沿着能被所述臂遮挡的第二光路照射光；和接收从所述第二照射部照射的光的第二受光部，所述控制装置还执行如下步骤：步骤d)基于从所述第二照射部照射的光是否被所述第二受光部接收到，检测从所述第二光路不被所述臂遮挡的状态变化为所述第二光路被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第三旋转角度；步骤e)基于从所述第二照射部照射的光是否被所述第二受光部接收到，检测从所述第二光路被所述臂遮挡的状态变化为所述第二光路不被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第四旋转角度；步骤f)基于通过了所述第二光路的所述臂的部分的宽度、所述第二光路被遮挡时的所述第二光路与所述臂的第二交点的位置、所述第三旋转角度和所述第四旋转角度，确定所述臂的第二旋转轴的位置；以及步骤g)将以所述第一交点的位置为中心且通过所述第一旋转轴的位置的第一圆与以所述第二交点的位置为中心且通过所述第二旋转轴的位置的第二圆的交点，确定为所述臂的校正后的旋转轴的位置。6.一种输送装置中的机械臂的示教方法，其特征在于：所述输送装置包括：机械臂，其具有输送基片的臂和使所述臂旋转的驱动部；沿着第一光路照射光的第一照射部；接收从所述第一照射部照射的光的第一受光部；以及控制装置，其控制所述驱动部以使所述臂横穿所述第一光路地旋转，所述机械臂的示教方法中，所述控制装置执行如下步骤：步骤a)基于从所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，检测从所述第一光路不被所述臂遮挡的状态变化为所述第一光路被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第一旋转角度；步骤b)基于从所述第一照射部照射的光是否被所述第一受光部接收到，检测从所述第一光路被所述臂遮挡的状态变化为所述第一光路不被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第二旋转角度；以及步骤c)基于通过了所述第一光路的所述臂的部分的宽度、所述第一光路被遮挡时的所述第一光路与所述臂的第一交点的位置、所述第一旋转角度和所述第二旋转角度，确定所述臂的第一旋转轴的位置。7.如权利要求6所述的机械臂的示教方法，其特征在于：所述第一受光部设置于所述第一光路上，所述控制装置，在从所述第一受光部接收到从所述第一照射部照射的光的状态变化为所述第一受光部没有接收到从所述第一照射部照射的光的状态的情况下，判断为所述第一光路从不被所述臂遮挡的状态变化为被所述臂遮挡的状态，在从所述第一受光部没有接收到从所述第一照射部照射的光的状态变化为所述第一受光部接收到从所述第一照射部照射的光的状态的情况下，判断为所述第一光路从被所述
臂遮挡的状态变化为不被所述臂遮挡的状态。8.如权利要求6或7所述的机械臂的示教方法，其特征在于：所述控制装置控制所述驱动部，以使外形的宽度一定的所述臂的部分横穿从所述第一照射部照射的光的第一光路地旋转。9.如权利要求6至8中任一项所述的机械臂的示教方法，其特征在于：所述臂具有：第一臂；和设置于所述第一臂上的第二臂，所述驱动部具有：使所述第一臂旋转的第一驱动部；和设置于所述第一臂上的使所述第二臂旋转的第二驱动部，所述控制装置通过控制所述第一驱动部来对所述第一臂执行所述步骤a)～所述步骤c)，在基于通过所述步骤c)确定出的所述第一旋转轴的位置将所述第一臂控制为预先设定的姿态之后，通过控制所述第二驱动部来对所述第二臂执行所述步骤a)～所述步骤c)。10.如权利要求6至9中任一项所述的机械臂的示教方法，其特征在于：所述输送装置还包括：第二照射部，其在与所述第一光路被所述臂遮挡时的所述第一光路和所述臂的交点的位置不同的位置，沿着能被所述臂遮挡的第二光路照射光；和接收从所述第二照射部照射的光的第二受光部，所述控制装置还执行如下步骤：步骤d)基于从所述第二照射部照射的光是否被所述第二受光部接收到，检测从所述第二光路不被所述臂遮挡的状态变化为所述第二光路被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第三旋转角度；步骤e)基于从所述第二照射部照射的光是否被所述第二受光部接收到，检测从所述第二光路被所述臂遮挡的状态变化为所述第二光路不被所述臂遮挡的状态时的所述臂的第四旋转角度；步骤f)基于通过了所述第二光路的所述臂的部分的宽度、所述第二光路被遮挡时的所述第二光路与所述臂的第二交点的位置、所述第三旋转角度和所述第四旋转角度，确定所述臂的第二旋转轴的位置；以及步骤g)将以所述第一交点的位置为中心且通过所述第一旋转轴的位置的第一圆与以所述第二交点的位置为中心且通过所述第二旋转轴的位置的第二圆的交点，确定为所述臂的校正后的旋转轴的位置。

技术总结
本发明提供能够高精度地进行机械臂的示教的输送装置和机械臂的示教方法。输送装置包括：具有臂和使臂旋转的驱动部的机械臂、第一照射部、第一受光部以及控制装置。控制装置执行步骤a)～步骤c)。在步骤a)中，检测从第一照射部照射的光的第一光路不被臂遮挡的状态变化为第一光路被遮挡的状态时的臂的第一回旋角。在步骤b)中，检测从第一光路被臂遮挡的状态变化为第一光路不被臂遮挡的状态时的臂的第二旋转角度。在步骤c)中，基于通过了第一光路的部分的机械臂的宽度、第一光路被遮挡时的第一光路与臂的第一交点的位置、第一旋转角度和第二旋转角度，确定臂的第一旋转轴的位置。确定臂的第一旋转轴的位置。确定臂的第一旋转轴的位置。


技术研发人员：深泽贵光 金丸亮介
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2021.09.13
技术公布日：2022/3/29