一种双通道高效晶圆分选机的制作方法

1.本实用新型涉及一组晶圆分选机，具体地说，是一种双通道高效晶圆分选机。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆加工过程中，由于外界因素会导致生产的晶圆种类和质量有所不同，通常在自动光学检测机中进行aoi测试，对晶圆的种类、质量进行检测后，然后依据种类及质量的不同对晶圆进行分选，把不同的晶圆分隔开来。
3.目前，晶圆的分选工艺主要是通过人工进行分选，分选工人需要对每片晶圆进行仔细检查后进行归类放置，不但分选效率低，劳动强度大，分选成本高，且人工分选无法对衬底号进行排序，在分选过程中，由于人员操作不细心等各种主观原因易导致分选错误，且在分选时易对晶圆造成划伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆自动分选机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力。


技术实现要素：

4.发明目的：本实用新型目的在于针对现有技术的不足，提供一种双通道高效晶圆分选机。
5.技术方案：本实用新型所述一种双通道高效晶圆分选机，包括机台和安装在机台上的分拣装置，所述分拣装置包括托盘循环机构、晶圆转移机构和晶圆检测机构，所述托盘循环机构包括若干道平行安装在机台上且数量相等的进盘轨道和出盘轨道，所述晶圆检测机构包括晶圆台车机构和配合晶圆台车机构的压接测试装置。
6.作为优选的，所述晶圆台车机构包括双工位晶圆台车，所述压接测试装置包括与双工位晶圆台车配合的两组ic测试传感器和与两组ic测试传感器配合的双工位压头部。
7.作为优选的，所述进盘轨道的顶端设有进盘堆叠料架，所述出盘轨道的顶端设有出盘堆叠料架。
8.作为优选的，所述晶圆转移机构包括设置在托盘循环机构和晶圆检测机构之间的晶圆转移机械手。
9.作为优选的，所述晶圆转移机械手包括装载侧ic拾放机械手和卸载侧ic拾放机械手。
10.作为优选的，所述机台上还设有ic预热区。
11.作为优选的，所述进盘轨道和出盘轨道均设有三道。
12.本实用新型相比于现有技术具有以下有益效果：将传统的两段式晶圆分拣转移工序拆分成了三段式晶圆转移分拣工序，使得晶圆在进行分拣作业时所需要的行进距离极大缩短，有效降低了设备长度，便于适配不同尺寸规格的厂房环境。
附图说明
13.图1为本实用新型一种双通道高效晶圆分选机的结构示意图。
14.图中：1、机台；2、进盘轨道；3、出盘轨道；4、双工位晶圆台车；5、ic测试传感器；6、双工位压头部；7、装载侧ic拾放机械手；8、卸载侧ic拾放机械手；9、ic预热区。
具体实施方式
15.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
16.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
17.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
18.下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
19.一种双通道高效晶圆分选机，包括机台1和安装在机台1上的分拣装置，分拣装置包括托盘循环机构、晶圆转移机构和晶圆检测机构，托盘循环机构包括若干道平行安装在机台1上且数量相等的进盘轨道2和出盘轨道3，晶圆检测机构包括晶圆台车机构和配合晶圆台车机构的压接测试装置。这一技术方案的优点在于将传统的两段式晶圆分拣转移工序拆分成了三段式晶圆转移分拣工序，使得晶圆在进行分拣作业时所需要的行进距离极大缩短，有效降低了设备长度，便于适配不同尺寸规格的厂房环境。
20.为了提高分拣作业效率，在实际生产中，晶圆台车机构包括双工位晶圆台车4，压接测试装置包括与双工位晶圆台车4配合的两组ic测试传感器5和与两组ic测试传感器5配合的双工位压头部6，设置了两组ic测试传感器5和双工位压头部6可以使该双通道高效晶圆分选机在单位时间内可以同时执行两批晶圆的分拣动作，将作业效率提高了一倍；进盘轨道2的顶端设有进盘堆叠料架，出盘轨道3的顶端设有出盘堆叠料架，进盘堆叠料架和出盘堆叠料架处均可额外配置配合的大批量移料机械手，可以实现批量式的自动化上下料，相比于传统的人力操作上下料生产效率显著上升；其次，晶圆转移机构包括设置在托盘循环机构和晶圆检测机构之间的晶圆转移机械手，晶圆转移机械手包括装载侧ic拾放机械手7和卸载侧ic拾放机械手8，通过装载侧ic拾放机械手7和卸载侧ic拾放机械手8配合可以实现整机全流程自动化生产；机台1上还设有ic预热区9；具体的，进盘轨道2和出盘轨道3均设
有三道。
21.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。 第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
22.而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
23.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。