扫描电子显微镜校准方法、装置、终端及存储介质与流程

技术特征：
1.一种扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，包括：获取标准样板图像，所述标准样板图像为通过目标扫描电子显微镜采集的标准样板的图像；根据所述标准样板图像，获得所述标准样板的像素尺寸；根据所述像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，所述标准样板为线间隔样板，所述预设技术指标为放大倍数示值误差；所述根据所述标准样板图像，获得所述标准样板的像素尺寸，包括：根据线间隔样板图像，通过第一预设矩形窗口获得所述线间隔样板的像素尺寸，以及所述线间隔样板图像中所述目标电子显微镜标尺的像素尺寸；所述根据所述像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准，包括：根据所述线间隔样板的像素尺寸和所述目标电子显微镜标尺的像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的放大倍数示值误差进行校准。3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，所述根据所述线间隔样板的像素尺寸和所述目标电子显微镜标尺的像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的放大倍率示值误差进行校准，包括：根据对所述目标扫描电子显微镜的放大倍率示值误差进行校准；其中，p为所述放大倍率示值误差，m为所述线间隔样板的像素尺寸，n为所述目标扫描电子显微镜标尺的像素尺寸，a为所述目标扫描电子显微镜标尺的实际尺寸，b为所述线间隔样板的定标值。4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，所述标准样板为线间隔样板，所述预设技术指标为放大倍数重复性；所述获取标准样板图像，包括：获取线间隔样板图像k次，其中，k为大于1的正整数；所述根据所述标准样板图像，获得所述标准样板的像素尺寸，包括：对于每次获得的所述线间隔样板图像，根据该线间隔样板图像，通过第二预设矩形窗口获得所述线间隔样板的像素尺寸；所述根据所述像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准，包括：根据每次获得的所述线间隔样板图像对应的线间隔样板的像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的放大倍数重复性进行校准。5.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，所述根据每次获得的所述线间隔样板图像对应的线间隔样板的像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的放大倍数重复性进行校准，包括：根据对所述目标扫描电子显微镜的放大倍数重复性进行校准；
其中，g为所述放大倍数重复性，m
i
为第i次获得的所述线间隔样板图像对应的线间隔样板的像素尺寸，为k个线间隔样板的像素尺寸的平均值。6.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，所述标准样板为格栅样板，所述预设技术指标为线性失真度；所述获取标准样板图像，包括：获取格栅样板图像，其中，所述格栅样板图像包括所述格栅样板中的目标格栅位于所述目标扫描电子显微镜视场的中心的图像，以及所述格栅样板中的目标格栅位于所述目标扫描电子显微镜视场的四个角中每个角对应的图像；所述根据所述标准样板图像，获得所述标准样板的像素尺寸，包括：根据所述格栅样板图像，通过第三预设矩形窗口获得所述目标格栅位于所述目标扫描电子显微镜视场的中心的第一像素尺寸，以及获得所述目标格栅位于所述目标扫描电子显微镜视场的每个角的第二像素尺寸；所述根据所述像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准，包括：根据所述第一像素尺寸和每个所述第二像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的线性失真度进行校准。7.根据权利要求6所述的扫描电子显微镜校准方法，其特征在于，所述线性失真度包括x方向线性失真度和y方向线性失真度；所述第一像素尺寸包括x方向第一像素尺寸和y方向第一像素尺寸，每个第二像素尺寸均包括x方向第二像素尺寸和y方向第二像素尺寸；所述根据所述第一像素尺寸和每个所述第二像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的线性失真度进行校准，包括：计算每个x方向第二像素尺寸与所述x方向第一像素尺寸的第一像素差值，将所述第一像素差值中的最大值确定为x方向最大像素差值；计算每个y方向第二像素尺寸与所述y方向第一像素尺寸的第二像素差值，将所述第二像素差值中的最大值确定为y方向最大像素差值；根据所述x方向第一像素尺寸和所述x方向最大像素差值，对所述目标扫描电子显微镜的x方向线性失真度进行校准；根据所述y方向第一像素尺寸和所述y方向最大像素差值，对所述目标扫描电子显微镜的y方向线性失真度进行校准。8.一种扫描电子显微镜校准装置，其特征在于，包括：获取模块，用于获取标准样板图像，所述标准样板图像为通过目标扫描电子显微镜采集的标准样板的图像；处理模块，用于根据所述标准样板图像，获得所述标准样板的像素尺寸；校准模块，用于根据所述像素尺寸，对所述目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准。9.一种终端，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上的权利要求1至7中任一项所述方法的步骤。10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如上的权利要求1至7中任一项所述方法的步骤。

技术总结
本发明提供一种扫描电子显微镜校准方法、装置、终端及存储介质。该方法包括：获取标准样板图像，标准样板图像为通过目标扫描电子显微镜采集的标准样板的图像；根据标准样板图像，获得标准样板的像素尺寸；根据像素尺寸，对目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准。本发明通过标准样板图像获得标准样板的像素尺寸能够更加快速准确的获得标准样板的像素尺寸，因此根据像素尺寸对目标扫描电子显微镜的预设技术指标进行校准也更加快速准确，提高了扫描电子显微镜的校准效率和准确度。扫描电子显微镜的校准效率和准确度。扫描电子显微镜的校准效率和准确度。


技术研发人员：张晓东 李锁印 韩志国 赵琳 许晓青 吴爱华
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2021.12.01
技术公布日：2022/3/21