一种晶圆加工复合机器人的制作方法

1.本实用新型涉及加工机器人技术领域，具体为一种晶圆加工复合机器人。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆在制作过程中需要用到对应的设备进行复合。
3.现有的晶圆设备在安装使用时，不便于取料放料，大都为人工操作，并且复合效率较低，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为了解决现有技术的不足，我们提出一种晶圆加工复合机器人。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆加工复合机器人，具备便于组装、取料方便以及复合效率高等优点，可以有效解决背景技术中的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种晶圆加工复合机器人，包括机器人主体，所述机器人主体的上端外表面设置有平衡环，所述平衡环的内壁设置有二号调节电机，所述二号调节电机的上端外表面设置有旋转辅助轴，所述旋转辅助轴与二号调节电机之间设置有固定螺栓，所述旋转辅助轴的下端外表面设置有活动气缸，所述活动气缸的外壁设置有辅助套盘。
8.优选的，所述活动气缸与机器人主体之间设置有卡槽，所述二号调节电机的下端外表面通过卡槽与机器人主体的上端外表面可拆卸连接。
9.优选的，所述活动气缸与旋转辅助轴之间设置有对接件，所述活动气缸的上端外表面通过对接件与旋转辅助轴的下端外表面可拆卸连接。
10.优选的，所述辅助套盘的内壁对称设置有四组硅胶管，每组所述硅胶管均位于辅助套管的内壁，所述辅助套管的下端外表面设置有锥形吸盘，所述机器人主体的一侧内表面设置有控制柜，所述机器人主体的下端内表面设置有一号调节电机，所述一号调节电机的上端外表面设置有调节套管，所述调节套管的上端外表面设置有u型放料架，所述u型放料架的两侧外表面对称设置有两组辅助架杆，所述机器人主体的两侧内表面对称设置有两组活动滑槽。
11.优选的，所述辅助架杆与u型放料架之间设置有固定螺丝，所述辅助架杆的一侧外表面通过固定螺丝与u型放料架的一侧外表面可拆卸连接。
12.优选的，所述辅助套管与活动气缸之间设置有连接螺纹，所述辅助套管的外壁通
过连接螺纹与活动气缸的内壁可拆卸连接。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆加工复合机器人，具备以下有益效果：
15.1、该一种晶圆加工复合机器人，通过设置的活动气缸，用于各个组件的安装，进而方便吸取晶圆，为了便于对圆盘进行复合，这里利用二号调节电机带动旋转辅助轴旋转，旋转辅助轴带动活动气缸机器人主体二号调节电机的转子为定轴进行旋转，来间接将晶圆放置到对应的位置上面进行复合，平衡环可以避免二号调节电机在运转时候晃动。
16.2、该一种晶圆加工复合机器人，通过设置的u型放料架，用于放置待加工的晶圆，这里将活动气缸接通气缸对应的部件，同时将硅胶管接通气压，来控制锥形吸盘的吸气与放气，进而方便了吸取晶圆，晶圆放置在u型放料架上面，通过一号调节电机带动调节套管上下调节u型放料架的位置，进而方便了锥形吸盘吸取晶圆，辅助架杆可以保持u型放料架上下调节的平衡性。
附图说明
17.图1为本实用新型一种晶圆加工复合机器人的整体结构示意图。
18.图2为本实用新型一种晶圆加工复合机器人的图1中的a处放大图。
19.图3为本实用新型一种晶圆加工复合机器人的u型放料架与一号调节电机的连接结构示意图。
20.图中：1、机器人主体；2、硅胶管；3、辅助套管；4、锥形吸盘；5、u型放料架；6、辅助架杆；7、活动滑槽；8、一号调节电机；9、调节套管；10、辅助套盘；11、活动气缸；12、旋转辅助轴；13、固定螺栓；14、二号调节电机；15、平衡环；16、控制柜。
具体实施方式
21.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
22.实施例一，请参照图1-3，一种晶圆加工复合机器人，包括机器人主体1，机器人主体1的上端外表面设置有平衡环15，平衡环15的内壁设置有二号调节电机14，二号调节电机14的上端外表面设置有旋转辅助轴12，旋转辅助轴12与二号调节电机14之间设置有固定螺栓13，旋转辅助轴12的下端外表面设置有活动气缸11，活动气缸11的外壁设置有辅助套盘10，为了便于对圆盘进行复合，这里利用二号调节电机14带动旋转辅助轴12旋转，旋转辅助轴12带动活动气缸11机器人主体1二号调节电机14的转子为定轴进行旋转，来间接将晶圆放置到对应的位置上面进行复合，平衡环15可以避免二号调节电机14在运转时候晃动。
23.活动气缸11与机器人主体1之间设置有卡槽，二号调节电机14的下端外表面通过卡槽与机器人主体1的上端外表面可拆卸连接，活动气缸11便于带动对应的取料部件对晶圆取料。
24.活动气缸11与旋转辅助轴12之间设置有对接件，活动气缸11的上端外表面通过对接件与旋转辅助轴12的下端外表面可拆卸连接，旋转辅助轴12便于活动气缸11的安装与旋转。
25.实施例二，请参照图1-3，在实施例一的基础上，辅助套盘10的内壁对称设置有四组硅胶管2，每组硅胶管2均位于辅助套管3的内壁，辅助套管3的下端外表面设置有锥形吸盘4，机器人主体1的一侧内表面设置有控制柜16，机器人主体1的下端内表面设置有一号调节电机8，一号调节电机8的上端外表面设置有调节套管9，调节套管9的上端外表面设置有u型放料架5，u型放料架5的两侧外表面对称设置有两组辅助架杆6，机器人主体1的两侧内表面对称设置有两组活动滑槽7，这里将活动气缸11接通气缸对应的部件，同时将硅胶管2接通气压，来控制锥形吸盘4的吸气与放气，进而方便了吸取晶圆，晶圆放置在u型放料架5上面，通过一号调节电机8带动调节套管9上下调节u型放料架5的位置，进而方便了锥形吸盘4吸取晶圆，辅助架杆6可以保持u型放料架5上下调节的平衡性。
26.辅助架杆6与u型放料架5之间设置有固定螺丝，辅助架杆6的一侧外表面通过固定螺丝与u型放料架5的一侧外表面可拆卸连接，辅助架杆6可以保持u型放料架5上下调节的平衡性。
27.辅助套管3与活动气缸11之间设置有连接螺纹，辅助套管3的外壁通过连接螺纹与活动气缸11的内壁可拆卸连接，辅助套管3便于硅胶管2与锥形吸盘4的安装。
28.工作原理
29.在设备使用的时候，通过设置的活动气缸11，用于各个组件的安装，进而方便吸取晶圆，为了便于对圆盘进行复合，这里利用二号调节电机14带动旋转辅助轴12旋转，旋转辅助轴12带动活动气缸11机器人主体1二号调节电机14的转子为定轴进行旋转，来间接将晶圆放置到对应的位置上面进行复合，平衡环15可以避免二号调节电机14在运转时候晃动；通过设置的u型放料架5，用于放置待加工的晶圆，这里将活动气缸11接通气缸对应的部件，同时将硅胶管2接通气压，来控制锥形吸盘4的吸气与放气，进而方便了吸取晶圆，晶圆放置在u型放料架5上面，通过一号调节电机8带动调节套管9上下调节u型放料架5的位置，进而方便了锥形吸盘4吸取晶圆，辅助架杆6可以保持u型放料架5上下调节的平衡性。
30.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二(一号、二号)等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
31.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。