一种蒸镀组件的制作方法

1.本技术涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀组件。


背景技术：

2.蒸镀组件包括加热器和设置于加热器外周的保温筒，保温筒包括内筒设设于内筒外周的外筒。
3.但是，在使用过程中，内筒常常因为缺乏相应的连接而出现掉落的问题，从而影响蒸镀设备的正常使用，且使得蒸镀设备的实用性较差，无法满足用户的使用需求，并影响其使用体验。


技术实现要素：

4.(一)申请目的
5.本技术的目的是提供一种蒸镀组件，能够解决蒸镀组件的内筒容易脱落的问题。
6.(二)技术方案
7.为解决上述问题，根据本技术的一个方面,本技术提供了一种蒸镀组件，蒸镀组件包括保温筒、加热腔、紧固部和定位件。加热腔，位于所述保温筒内，所述加热腔用于加热蒸发料；
8.紧固部，用于连接所述保温筒和所述加热腔；
9.其中，所述保温筒包括内筒和设置于所述内筒外周的外筒，所述蒸镀组件还包括定位件，所述定位件用于对所述内筒和所述外筒之间的相对位置进行定位。
10.本技术实施例中，通过设置定位件，以对内筒和外筒之间的相对位置进行限定，可有效解决蒸镀组件使用过程中，内筒容易脱落的问题，从而保证蒸镀设备的正常使用，提升蒸镀设备的实用性，满足用户的使用需求，并提高用户的使用体验。
11.进一步地，所述定位件设置于所述内筒和所述外筒之间；
12.其中，所述定位件配置为在所述内筒和所述外筒之间产生弹性力，以对所述内筒和所述外筒之间的相对位置进行定位。
13.进一步地，所述定位件与所述内筒一体式连接。
14.进一步地，所述定位件呈环形，所述定位件设置于所述内筒的顶部。
15.进一步地，所述定位件包括连接部和与所述连接部连接的弹性部，所述连接部与所述内筒连接，所述弹性部用于与所述外筒抵接；
16.其中，根据所述内筒和所述外筒的匹配安装，使位于所述内筒和所述外筒之间的定位件产生的弹性力作用于外筒。
17.进一步地，所述弹性部的数量为多个，多个所述弹性部间距设置于所述连接部。
18.进一步地，所述定位件的材质为钽。
19.进一步地，所述固定部包括：
20.固定件，与所述内筒连接；
21.支撑环，与所述固定件连接，所述支撑环用于承托所述加热腔。
22.进一步地，所述内筒上形成有安装孔；
23.所述固定件包括弧形部和与所述弧形部连接的卡接部，所述弧形部形成为穿过所述安装孔朝向所述保温筒内部的方向延伸，所述卡接部配置为通过所述安装孔与所述内筒外壁卡接；
24.其中，所述弧形部形成有卡接孔，所述支撑环与所述卡接孔卡接，以与所述固定件固定连接。
25.进一步地，所述固定件为多个，多个所述固定件间距布置于所述内筒，所述支撑环与多个所述固定件连接。
26.(三)有益效果
27.本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
28.1、本技术提供了一种蒸镀组件，蒸镀组件包括保温筒、加热腔、紧固部和定位件。加热腔位于所述保温筒内，所述加热腔用于加热蒸发料。紧固部用于连接所述保温筒和所述加热腔。其中，所述保温筒包括内筒和设置于所述内筒外周的外筒，所述蒸镀组件还包括定位件，所述定位件用于对所述内筒和所述外筒之间的相对位置进行定位。本技术实施例中，通过设置定位件，以对内筒和外筒之间的相对位置进行限定，可有效解决蒸镀组件使用过程中，内筒容易脱落的问题，从而保证蒸镀设备的正常使用，提升蒸镀设备的实用性，满足用户的使用需求，并提高用户的使用体验。
附图说明
29.图1是本技术提供的蒸镀组件的剖面图；
30.图2是本技术提供的蒸镀组件的部分结构图；
31.图3是图2的蒸镀组件的部分结构图；
32.图4是本技术提供的定位件的结构图；
33.图5是本技术提供的定位件的剖面图；
34.图6是图5的定位件的部分结构放大示意图；
35.图7是本技术提供的蒸镀组件的结构图；
36.图8是本技术提供的蒸镀组件的一爆炸图；
37.图9是本技术提供的蒸镀组件的另一爆炸图；
38.图10为图9蒸镀组件的部分放大示意图；
39.图11为图10蒸镀组件的剖视图；
40.图12是本技术提供的固定件的结构图。
41.附图标记：
42.10、保温筒；20、加热腔；30、固定部；40、保温部；50、支撑座；60、水冷套；70、支撑座固定件；80、电极-热电偶连接底座；90、加热电极；100、定位件；110、连接部；120、弹性部；130、紧固部；11、内筒；12、外筒；31、固定件；32、支撑环；41、底壳；42、周壁；51、第一连接件；52、第一反射件；53、第二连接件；54、第二反射件；61、连接底环；62、管路；63、连接法兰；64、护罩；65、外接电极；66、真空热电偶接头；67、热电偶；71、导板；72、紧固件；131、第一限位件；132、第二限位件；311、弧形部；312、卡接部；3111、卡接孔。
具体实施方式
43.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
44.针对上述技术问题，本技术提出了如下技术方案。
45.下面结合附图和实施例对本技术进行详细说明。
46.在一实施例中，如图1-12所示，本技术提供了一种蒸镀组件，蒸镀组件包括保温筒10、加热腔20、紧固部130和定位件100。加热腔20位于保温筒10内，加热腔20用于加热蒸发料。紧固部130用于连接保温筒10和加热腔20。其中，保温筒10包括内筒11和设置于内筒11外周的外筒12，蒸镀组件还包括定位件100，定位件100用于对内筒11和外筒12之间的相对位置进行定位。
47.本技术实施例中，本技术通过设置定位件100，以对内筒11和外筒12之间的相对位置进行限定，可有效解决蒸镀组件使用过程中，内筒11容易脱落的问题，从而保证蒸镀设备的正常使用，提升蒸镀设备的实用性，满足用户的使用需求，并提高用户的使用体验。
48.一些实施例中，定位件100设置于内筒11和外筒12之间。其中，定位件100配置为在内筒11和外筒12之间产生弹性力，以对内筒11和外筒12之间的相对位置进行定位。其中，外筒12固定于蒸镀组件的支撑座。
49.本技术实施例中，外筒12固定于蒸镀组件的支撑座，将定位件100设置于内筒11和外筒12之间，且定位件100配置为在内筒11和外筒12之间产生弹性力，使得内筒11和外筒12之间形成相互作用力，从而对内筒11和外筒12的相对位置进行定位，防止内筒11从外筒12上脱落。
50.另一些实施例中，定位件100与内筒11一体式连接。其中，定位件100包括但不限于通过焊接的方式形成于内筒11。
51.本技术实施例中，将定位件100与内筒11一体式成型，可显著提高定位件100与内筒11的结构牢固性，从而保证内筒11和外筒12之间的定位可靠性。
52.再一些实施例中，定位件100呈环形，定位件100套设于内筒11的外壁，且定位件100设置于内筒11的顶部。
53.本技术实施例中，一方面，呈环形的定位件100可使得内筒11和外筒12的周向进行定位，从而显著提升内筒11和外筒12之间的定位可靠性；另一方面，将定位件100设置于内筒11和顶部，可方便内筒11与外筒12的拆卸，保证保温筒10的使用灵活性。
54.具体地，定位件100包括连接部110和与连接部110连接的弹性部120，连接部110与内筒11连接，弹性部120用于与外筒12抵接。其中，根据内筒11和外筒12的匹配安装，使位于内筒11和外筒12之间的定位件100产生的弹性力作用于外筒12。
55.进一步，连接部110的一端与弹性部120的一端连接并构成弧形部，内筒11和外筒12匹配安装时，弧形部安装于内筒11的顶端，连接部110和弹性部120对应的另一端形成为延伸至内筒11和外筒12之间的间隙内，弧形部形成于内筒11和外筒12之间并提供弹性力，弹性部120的远离弧形部的另一端与内筒11的外壁抵接，且连接部110的另一端与弹性部120之间形成为具有一定间隔。
56.本技术实施例中，一方面，连接部110的一端与弹性部120的一端连接并构成弧形部，可在内筒11和外筒12匹配安装时产生弹性力，以用于内筒11和外筒12的定位。另一方面，弹性部120的远离弧形部的一端与内筒11的外壁抵接，可进一步起到防止内筒11脱落的作用，实现利用定位件100对内筒11和外筒12进行双重定位效果。再进一步，连接部110和弹性部120之间形成为具有一定间隔，可满足内筒11和外筒12之间不同间隔尺寸的定位需求，具有使用灵活性高的特点。
57.一些实施例中，弹性部120的数量为多个，多个弹性部120间距设置于连接部110。
58.本技术实施例中，多个数量的弹性部120可显著提升定位件100对内筒11和外筒12的定位效果，保证内筒11和外筒12的定位可靠性。
59.进一步，定位件100的材质为钽。
60.一些实施例中，紧固部130包括第一限位件131和第二限位件132。第一限位件131与内筒11连接，第二限位件132与第一限位件131连接，第二限位件132与加热腔20外壁连接。
61.进一步，内筒11上形成有安装孔，第一限位件131包括弧形部和与弧形部连接的卡接部，弧形部形成为穿过安装孔伸入内筒11的内部，卡接部配置为通过安装孔与内筒11外壁卡接；其中，第一限位件131的弧形部形成有卡接孔，第二限位件132与卡接孔卡接，以与第一限位件131固定连接。
62.本技术实施例中，一方面，通过第一限位件131与第二限位件132的固定连接，以将加热腔20与保温筒10固定连接，实现通过内筒11对加热腔20进行承托，保证加热腔20的定位可靠性。
63.进一步，第二限位件132呈环形片状，内筒11上形成有多个数量的安装孔，且第一限位件131的数量为多个，第二限位件132与多个数量的第一限位件131连接。
64.本技术实施例中，在内筒11上形成有多个数量的安装孔，且第一限位件131的数量为多个，第二限位件132与多个数量的第一限位件131连接，实现了内筒11对加热腔20的周向定位，可显著提升加热腔20的定位效果。
65.一些实施例中，第二限位件132的数量为多个，沿加热腔20的轴向上，多个第二限位件132间距布置于加热腔20的外壁。其中，内筒11的与每个第二限位件132的位置对应处均形成多个数量的安装孔，每个安装孔均适配安装一个第一限位件131，每个第二限位件132均与多个数量的第一限位件131连接。
66.本技术实施例中，通过在加热腔20的外壁上间距布置多个数量的第二限位件132，且每个第二限位件132均与多个数量的第一限位件131连接，可显着提升内筒11对加热腔20的支撑效果，保证加热腔20的结构稳定性。
67.一些实施例中，蒸镀组件还包括固定部30,固定部30包括固定件31和支撑环32。固定件31与内筒11连接，支撑环32与固定件31连接，支撑环32用于承托加热腔20。
68.进一步，内筒11上形成有安装孔，固定件31包括弧形部311和与弧形部311连接的卡接部312，弧形部311形成为穿过安装孔伸入内筒11的内部，卡接部312配置为通过安装孔与内筒11外壁卡接。其中，弧形部311形成有卡接孔3111，支撑环32与卡接孔3111卡接，以与固定件31固定连接。
69.一些实施例中，支撑环32与加热腔20和保温筒10同轴心布置，支撑环32的外径尺
寸小于保温筒10的内径尺寸，支撑环32的外径尺寸大于加热腔20的外径尺寸，且支撑环32的内径尺寸小于加热腔20的外径尺寸。
70.本技术实施例中，一方面，通过固定件31与支撑环32的固定连接，以将加热腔20与保温筒10固定连接，且支撑环32用于对加热腔20进行承托，保证了加热腔20的定位可靠性。另一方面，通过限定支撑环32的内外径的尺寸，可保证通过支撑环32对加热腔20有效支撑的前提下，减少支撑环32与保温筒10内壁的接触面积，进一步减少了加热腔20内的热量通过支撑环32传递到保温筒10，从而减少加热腔20内的热损失。
71.进一步，固定件31为多个，多个固定件31间距布置于内筒11，支撑环32与多个固定件31连接。需要注意的是，间距布置包括等间距布置或不等间距布置。
72.本技术实施例中，通过在保温筒10内部布置多个数量的固定件31，支撑环32配置为与多个固定件31对应连接，可有效保证加热腔20和保温筒10的连接可靠性。
73.在一实施例中，蒸镀组件还包括保温部40和支撑座50。保温部40设置于保温筒10的底端。其中，加热腔20的外周壁和保温筒10内壁之间配置为通过固定部30间隔设置，及保温部40和蒸镀组件的支撑座50之间间隔设置。可以理解的是，本技术实施例中，蒸镀组件为一种陶瓷蒸镀组件，即加热腔20的材质为陶瓷。
74.本技术实施例中，加热腔20的外周壁和保温筒10内壁之间配置为通过固定部30间隔设置，及保温部40和蒸镀组件的支撑座50之间间隔设置，极大的减少了加热腔20与保温筒10和加热腔20与支撑座50间的接触面积，可使得加热腔20内的热量避免因加热腔20与保温筒10，及加热腔20与支撑座50间的直接接触而发生热传递，从而有效的减少了加热腔20内的热损失，并间接的降低了蒸镀组件的功耗，有效的节省了生产成本。
75.另一些实施例中，蒸镀组件还包括水冷套60、支撑座固定件70和连接法兰63。水冷套60套设于保温筒10外壁，支撑座固定件70用于将水冷套60与支撑座50固定连接。其中，支撑座50配置为通过支撑座固定件70与保温部40间隔设置，且支撑座固定件70可以为多个。
76.具体地，蒸镀组件还包括管路62；水冷套60套设于保温筒10外壁，电极-热电偶连接底座80与连接法兰63适配连接，管路62连接于水冷套60和连接法兰63之间。其中，沿保温筒10轴向上，水冷套60的底端形成为延伸出保温筒10底端。
77.进一步，支撑座固定件70包括导板71和紧固件72，导板71可拆卸式固定于水冷套60的底端，紧固件72用于将导板71与支撑座50连接，以使得支撑座50与水冷套60固定连接。其中，紧固件72包括但不限于为螺栓，导板71、支撑座50和水冷套60上对应形成有螺纹孔，紧固件72与螺纹孔通过螺纹连接进行紧固。
78.本技术实施例中，沿保温筒10轴向上，水冷套60底端形成为延伸出保温筒10底端，且通过支撑座固定件70将支撑座50固定于水冷套60底端，且支撑座50通过该布置方式实现与保温部40间隔设置，从而有效避免了支撑座50与保温部40直接接触，防止加热腔20内部热量的热损失，并降低蒸镀组件的能耗。
79.同样，蒸镀组件还包括加热电极90和电源连接器，电源连接器设置于加热电极90和外接电极65之间，电极-热电偶连接底座80用于对外接电极65进行固定。具体地，加热电极90一端通过电源连接器连接电极-热电偶连接底座80，另一端连接加热腔20，加热电极90用于对加热腔20进行加热。加热电极90包括绝缘套。绝缘套一端连接加热腔20，另一端连接至电源连接器。支撑座50上形成有通孔。其中，加热电极90的绝缘套配置为穿过支撑座50连
接于加热腔20底端，且通孔的孔径大于加热电极90的直径尺寸。
80.本技术实施例中，支撑座50上通孔的孔径大于加热电极90的绝缘柱直径尺寸，使得支撑座50与加热电极90的绝缘柱间形成间隙，从而使得加热电极90的绝缘柱传递的热量不会直接传递到支撑座50，进一步降低加热腔20内的热损失，并减少蒸镀组件的能耗。
81.再一些实施例中，蒸镀组件还包括第一连接件51。第一连接件51一端连接支撑座50，另一端连接保温部40。其中，支撑座50呈圆形，支撑座50和水冷套60同轴心布置，且支撑座50的径向尺寸小于水冷套60的径向尺寸，保温部40配置为通过第一连接件51固定于保温筒10的底端。
82.本技术实施例中，通过限定支撑座50的径向尺寸小于水冷套60的径向尺寸，以使得支撑座50的外周壁与水冷套60的内壁形成间隙，避免支撑座50与水冷套60直接接触，从而使得蒸镀组件内部热量不会通过支撑座50传递到水冷套60上，有效减少蒸镀组件内的热损失。
83.具体地，水冷套60包括连接底环61，蒸镀组件还包括护罩64，连接底环61位于水冷套60的底部，护罩64设置于水冷套60的底部。其中，护罩64覆盖连接底环61。
84.连接法兰63与电极-热电偶连接底座80相连，连接法兰63用于将蒸镀设备固定至外部设备，电极-热电偶连接底座80上贯穿设有外接电极65和真空热电偶接头66。连接法兰63上有管路62，管路62一端与连接底环61相连，连接底环61上侧设有水冷套60，管路62中的冷却液通过连接底环61进入水冷套60中进行循环降温，达到调节蒸镀设备内温度的效果，其中，管路62本身起一定的支撑和循环冷却液的作用。
85.进一步，支撑座50设于连接底环61内侧，支撑座50用于支撑保温筒10和加热腔20。
86.进一步，热电偶67一端与真空热电偶接头66连接，热电偶67另一端形成为延伸至加热腔20内，热电偶67用于测量加热腔20内的实际温度。
87.一些实施例中，蒸镀组件还包括第一反射件52和第二连接件53。第一反射件52位于加热腔20内，第一反射件52用于反射加热腔20内的热量。第二连接件53一端连接保温部40，另一端连接第一反射件52。其中，第一反射件52设置于靠近加热腔20底端的位置处，第一反射件52配置为通过第二连接件53与加热腔20底端间隔设置，第一反射件52呈圆形的片状结构，第一反射件52包括面向加热腔20底端的绝缘层和背离加热腔20底端的反射层，反射层的材质包括但不限于为钽，绝缘层的材质包括但不限于为pbn(热解氮化硼)。
88.本技术实施例中，通过在靠近加热腔20底端的位置处设置第一反射件52，以用于遮盖加热腔20的底端，防止加热腔20内的热量通过加热腔20的底端流失，维持加热腔20内的工作温度。进一步，材质为pbn的绝缘层可以为第一反射件52提供高强度的支撑，避免第一反射件52高温下的形变，保证第一反射件52的工作可靠性。在进一步，利用pbn材料c向热导率极低，一定程度上也降低了热量向下的传导。
89.具体地，蒸镀组件还包括第二反射件54。第二反射件54设置于保温筒10内，第二反射件54配置为通过第一连接件51固定于加热腔20底端和保温部40之间。其中，第二反射件54的径向尺寸大于加热腔20的径向尺寸。需要理解的是，第二反射件54固定于加热腔20底端和保温部40之间可以理解为，第二反射件54与加热腔20底端和保温部40之间存在间隙。
90.其中，第二反射件54呈圆形的片状结构，且第二反射件54配置为通过第一连接件51分别与加热腔20和保温筒10同轴心布置。进一步，第二反射件54的径向尺寸大于加热腔
20的径向尺寸。
91.本技术实施例中，通过在加热腔20和保温部40之间设置第二反射件54，可有效阻止加热腔20内的热量由加热腔20底端散失。其中，第二反射件54分别与加热腔20和保温部40间隔设置，避免了加热腔20内的热量通过第二反射件54传递到保温部40而造成的热损失。进一步，通过限定第二反射件54的径向尺寸大于加热腔20的径向尺寸，可使得第二反射件54对加热腔20底端进行最大限度的遮盖，从而有效方式加热腔20内热量的流失，位置加热腔20的工作温度，并减少蒸镀组件的功耗。
92.一些实施例中，第二反射件54包括靠近加热腔20的反射层和与反射层连接的绝缘层。其中，反射层的材质为钽，绝缘层的材质为pbn。
93.另一些实施例中，保温部40包括底壳41和与底壳41连接的周壁42。保温筒10包括内筒11、定位件和外筒12，内筒11和外筒12通过定位件固定连接。其中，安装孔形成于内筒11，底壳41配置为通过第一连接件51固定于保温筒10内，周壁42与外筒12的内壁面连接，其中可通过焊接方式进行固定连接，底壳41的上端面与内筒11的底端抵接。
94.应当理解的是，本技术的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本技术的原理，而不构成对本技术的限制。因此，在不偏离本技术的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。此外，本技术所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。