在PVD工艺中用于圆柱、长形基材的夹具的制作方法

在pvd工艺中用于圆柱、长形基材的夹具
技术领域
1.本发明涉及要用在物理气相沉积(pvd)工艺中以处理圆柱形、伸长工件的夹具。在本发明的上下文中，术语工件也包含工具如切削刀具。本发明的夹具适用于涂覆以适于利用pvd工艺被涂覆任意利用pvd工艺可制造的涂层体系的任意基材制成的工件。本发明的夹具尤其适于用任何类型的阴极电弧沉积和溅射沉积工艺涂覆基材。


背景技术：

2.从现有技术中已知在真空处理系统的真空室内预处理、涂覆和后处理工件以改善所述工件的某些性能。这些性能包括耐磨蚀磨损性和耐腐蚀磨损性，但不限于此。用于此目的的涂覆工艺包括薄膜沉积方法例如像pvd、cvd、pacvd，但也包括厚膜沉积方法，并且不限于此。在沉积pvd涂层之前，工件必须被小心清洁以保证在所有工件上的涂层的可靠粘附和均匀性。经过证实的增强涂层对基材的附着的预处理方法包含如从de3330144中知道的借助电子轰击的加热，如de2833876所描述的利用惰性气体离子的溅射刻蚀，和借助反应性化学的工件刻蚀。pvd技术包括阴极电弧沉积、电子束物理气相沉积、气化沉积、近空间升华、脉冲化激光沉积、溅射沉积、脉冲化电子沉积和升华夹层法。另外，该工件可被后处理，例如通过抛光所述表面和由此去除通常在阴极电弧气化中形成的液滴，改善抗磨性能。但是，这些用于预处理、涂覆和后处理的方法列举是非穷尽的。
3.pvd沉积技术例如像阴极电弧气化或溅射沉积(有时也称为溅射)在真空处理系统的真空室内进行。如上所述，pvd是一种用于在基材表面上沉积薄膜的方法。pvd方法的使用通常适用于沉积显示出数μm，优选在1-50μm之间厚度的涂层。
4.为了获得涂层厚度和质量的尽量均匀的分布，控制工件经过处理源和刻蚀源的移动是至关重要的。要预处理、涂覆和/或后处理的部分通常被紧固至围绕系统轴线对称设置的单独的工件座，或可转动安装在转台状的工件支座上。已知的工业装备通常采用工件座或转台类工件支座，它们可转动地连接至真空室，一般是真空室的底部。
5.待处理工件的均匀处理或均匀涂层厚度通常通过使用具有三重运动的工件支承装置获得。因此，提供第一系统，其可绕中心轴线相对于该设备转动。第一旋转系统以下被称为太阳系统。关于太阳系统，在后者上设置第二旋转系统，其旋转轴线相对于太阳系统的旋转轴线平行错开。第二旋转系统以下被称为行星系统。在行星系统上设有第三旋转系统，其在以下被称为月亮系统，其旋转轴线平行于行星系统和太阳系统。在太阳系统、行星系统和月亮系统之间的连接通常通过强制连接和齿轮机构来实现。月亮系统可以被间歇或连续地置于旋转运动中。
6.在us6620254中，zaech和kunz披露了一种用于真空处理的工件座，尤其是真空涂覆设备，其显示出三重运动。太阳系统可绕一个轴线相对于该设备转动并被接合至设备侧驱动装置。被称为行星系统的，具有相对于太阳系统的旋转轴线错开且平行的旋转轴线的第二旋转系统配备有关于该设备的驱动接合。被称为月亮系统的具有平行于太阳系统和行星系统的旋转轴线的旋转轴线的第三旋转系统被可转动安装并显示出与月亮系统的驱动
接合。如此建立驱动接合，其导致不中断的工作。由于强制连接和齿轮机构，所披露的工件座显示出在工作中的月亮系统的特征运动，如本领域技术人员所已知。
7.在ep2048263b1中，esser和zaech披露了一种如此设计的工件支承装置，其提供了容易改变齿轮传动比的可能方式。所披露的工件支架的主要优点是简易的致动机构和同时改变齿轮传动比的能力。基架可绕主轴线转动且由电动机提供动力。所述致动不是通过使用中心致动器来完成。相反，一个抗扭矩齿轮被固定在枢转支座上，另一齿轮被安装在转台周面上。两个齿条-齿轮相互啮合。电机提供动力给在转台周面上的齿轮，于是工件座被旋转。工件座通过齿条齿轮，以产生工件座的强制旋转的方式被连接至中心轴。这种设计产生工件的连续旋转，这对沉积多层薄涂层至关重要。齿轮传动比可以通过改变齿轮上的齿的尺寸或数量被调节。
8.如在以上引用的专利中那样，针对长形工件，工件座通常被如此安装在月亮系统上，即工件竖向就位。可以说，在工件伸长方向上的轴线平行于所述专利所述的月亮系统的所有旋转轴线。
9.如果工件的尺寸足够小，则支座结构可以配备有竖向均匀分布的台，以便就在一个工件批次中涂覆尽量多的工件。显然，这受到工件的尺寸和伸长的限制。
10.如果具有大直径的圆柱形工件必须在其整个表面被均匀处理，则出现以下问题：在正面区域的处理质量与在侧面区域的不同。为了避免此问题，这种工件通常被安装在专用的工件座上，其使工件关于工件座绕之旋转的中心轴线倾斜一定角度。尽管可以采用其它角度，45
°
倾斜被发现能产生最佳处理质量。工件的整体旋转于是可以被描述为工件的双重旋转：第一旋转是居中安装在主轴上的工件的旋转，第二旋转是安装有主轴的转台的旋转。
11.待解决的问题
12.因为一些工件的长形形状和因为现有技术的夹具的设计，可以在真空处理系统的真空室内被处理的工件的数量是有限的。待插入真空处理室内的长形工件的长度极度依赖于长形工件的倾斜角度。现有技术的夹具通常被设计成获得工件的45
°
倾斜角度，因为该角度被发现对于涂覆工艺是理想的。但是，以约45
°
角度倾斜的长形工件导致在这种真空系统的真空室内缺少空间，由此极度限制了可以在所述真空室内被同时装入和处理的这种工件的数量。
13.本发明目的
14.本发明的目的是提供一种用于圆柱、长形工件的夹具，其允许同时处理工件的侧面区域和正面区域。另外，本发明的目的是提供一种夹具，其允许处理比可用现有技术的夹具处理的工件更长的工件，尤其当使用具有一定尺寸和体积的涂覆室时，本发明中的工件可以比现有技术中的工件更长。为了降低生产成本，本发明的另一目的是增加可被一次性插入真空系统的真空室中的长形工件的数量。
15.根据本发明的问题解决方案-本发明说明
16.这些目的通过本发明来如此实现，提供一种用于圆柱、长形工件的夹具。本发明的夹具在径向和旋转方向上的双重倾斜使得每个长形工件所占据的空间更小，由此允许真空系统的真空室装载更大的工件批量，同时以经济可行的方式加工。另外，本发明的夹具的设计允许插入甚至更长的工件，其无法用当前现有技术的夹具被装入真空室。此外，本发明的
夹具的旋转允许在工件的侧面区域和正面区域整个范围内的涂层厚度的均匀分布。
附图说明
17.图1示出本发明的夹具的一个分解视图，
18.图2从上方示出本发明的夹具的一个实施例的视图，
19.图3示出本发明的夹具的一个实施例的侧视图，
20.图4示出本发明的夹具的一个实施例的鸟瞰图，
21.图5示出本发明的一个优选方面，其中多个本发明的夹具被堆叠安装在主轴上，
22.图6示出包括转台和主轴的pvd涂覆室的示意性草图，
23.图7示出本发明夹具的一个实施例的示意图，示出最大包络圆柱直径dx。
24.附图标记
[0025]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
主轴
[0026]2ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
太阳轮
[0027]3ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
旋转套/辊子
[0028]4ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
保持板
[0029]5ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
支承板
[0030]6ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
槽
[0031]7ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
套3的旋转轴线
[0032]8ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
主轴1的旋转轴线
[0033]9ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
中心部
[0034]
10
ꢀꢀꢀꢀꢀ
臂
[0035]
11
ꢀꢀꢀꢀꢀ
臂纵向
[0036]
12
ꢀꢀꢀꢀꢀ
手
[0037]
13
ꢀꢀꢀꢀꢀ
手纵向
[0038]
15
ꢀꢀꢀꢀꢀ
转台
[0039]
16
ꢀꢀꢀꢀꢀ
pvd涂覆室
[0040]
α
ꢀꢀꢀꢀꢀ
臂之间的角度
[0041]
β
ꢀꢀꢀꢀꢀ
手和臂之间的角度
[0042]
γ
ꢀꢀꢀꢀꢀ
辊子(或基材)的旋转轴线关于保持板的中心部(或平面b)的倾斜角度。
[0043]bꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
平面，其关于主轴呈90
°
角，并且与保持板的中心部重叠本发明的实施方式
[0044]
在本发明的上下文中，在此被标记为图1所示的辊子3的旋转套优选被限定为圆柱形物体。在附图未示出的其它实施例中，旋转套也可以具有其它的形状，例如圆锥形、球形等。它也可以具有多个形状的组合形式，例如圆柱形物体与圆锥形物体的组合。该旋转套作为圆柱形物体包括底面、顶面和壁。也称为侧面区域的所述壁将底面连接至顶面。在如本发明所示的实施例中，旋转套是空心的。在其它实施例中，旋转套也可以填充有材料。优选地，旋转套由单个材料制造，但也可以由包含相同的或不同的材料的不同部分构成。
[0045]
旋转套显示出允许齿轮与之啮合以使优选是圆柱形物体的所述旋转套旋转的性能。这例如可以实现为圆柱形物体，其显示出沿其侧面区域的槽6，所述槽被制造为允许适当的齿轮与这些槽6啮合。槽6优选沿几乎整个壁长度延伸，尤其是槽6沿超过70％，优选超
过75％，优选超过80％且最优选超过90％的壁高度延伸。槽6优选围绕旋转套3的旋转轴线7对称布置(图1和图5)。槽6具有长形孔的形状，也称为长孔、椭圆形孔或长槽。伸长方向，即槽6的最长延伸方向，相对于转动套3的旋转轴线7倾斜。倾斜取决于保持板4的部件，例如手12的倾斜，以下将对此做出解释。
[0046]
每个旋转套包括至少四个，更好是至少六个，更好是至少八个，更好是十个以上槽6。另外，在本发明的上下文中，太阳轮被定义为称作太阳系的第一可转动系统中的齿轮。
[0047]
本发明披露了一种要用在真空处理系统的真空室中的夹具，以便优选处理长形、圆柱形工件。当然也可以处理其它的，可以不是长形的工件或其形状是非圆柱形的工件。可以利用本发明的夹具被涂覆的工件包括卫生设备零部件，例如：
[0048]-水龙头
[0049]-水龙头体
[0050]-水嘴
[0051]-泵操作器头
[0052]-盖
[0053]-分配器主体，如皂液分配器
[0054]-大衣钩体
[0055]-厕所卷架体
[0056]
但是，也称为基材的可利用本发明的夹具被涂覆的工件不限于所述名单。另外，本发明的夹具允许同时涂覆具有不同尺寸的基材。
[0057]
本发明的夹具包括主轴1、太阳轮2、保持板4和辊子3。附图未示出的工件座可被适应性地安装在辊子3上。至少一个辊子3和因而至少一个基材在径向和旋转方向上倾斜，以下将对此做更详细解释。
[0058]
如可以在图5中看到地，多个保持板4可被安装在主轴1上。为了更容易解释，以下示例性描述仅一个保持板4，如图1-4所示。所述至少一个保持板4被安装到至少一个主轴1上。该保持板优选利用夹紧被安装至主轴1。但是，多个保持板4(图5)可以通过将它们竖向堆叠被安装在同一主轴1上。竖向是指保持板4沿主轴1的旋转轴线8相互重叠堆放(图5)。如果多个保持板4这样堆叠，可堆叠的保持板4的数量取决于基材长度。换言之，两个保持板4之间的，平行于主轴1的旋转轴线8测量的距离对于较短基材比对于较长基材的距离更短。
[0059]
就此而言，保持板4的“借以将保持板4安装至主轴1”的部分被称为保持板4的中心部9。保持板4的中心部9优选是平板，但可以呈圆柱体形状。在安装于主轴1上时，保持板4的中心部9优选相对于主轴1的旋转轴线8是旋转对称的。在安装于主轴1上的情况下，保持板4的中心部9位于一个平面b(图5)内，其中，该平面b的法线n平行于主轴1的旋转轴线8。
[0060]
除了中心部9外，保持板4还包括至少一个从中心起大致径向朝外的部分，以下该部分被称为臂10。臂10在臂纵向11上延伸。臂纵向11在此实施例中是臂10的主伸长方向。但臂纵向11也可以被定义为在主轴1的旋转轴线8处开始并径向延伸的方向。臂10以旋转对称的方式被附接至中心部9。因此，彼此相邻的两个臂10的臂纵向11之间的角度为360
°
除以臂10的数量。在所示实施例中，保持板4包括三个臂10，因此臂10之间的角度，更确切说是两个相邻臂10的臂纵向11之间的角度为120
°
。臂纵向11关于主轴1的旋转轴线8显示出约90
°
角度。
[0061]
如上所解释地，保持板4可以包括超过一个的臂10，优选2到10个臂10。保持板4的另一部分被附接至臂10，其在本文中被称为手12。手12在手纵向13上延伸。在此实施例中，手纵向13是手12在中心部9平面内的主伸长方向。手12以旋转对称的方式通过臂10被附接至中心部9。手纵向13显示出相对于被附接至保持板4的臂的纵向11的约90
°
角度，如可在图2中看到的那样。在其它实施例中可能优选的是该角度在70
°
和110
°
之间。在优选实施例中可能优选的是该角度在50
°
和130
°
之间。该角度也是在中心部9的平面，例如平面b内测量的。
[0062]
另外，手12从中心部9的平面b指向外，这可以在图5和图3中清楚看到。按照制造术语，手12自臂10弯曲。手12沿着太阳轮2的切线指向，这随后将在本文中描述。另外，手纵向13在平面b外相对于平面b大致以20
°‑
70
°
，优选以约45
°
倾斜，换言之相对于平面b的法线n以70
°‑
20
°
，优选约45
°
倾斜。相对于保持板4的中心部9的平面b(在所有图中标记为b)，在此角度下，涂层质量表现最高。保持板4的臂10包括允许在其上安装辊子3的措施。改变保持板4的类型(例如改变臂10的数量和由此还有改变手12的数量)，和进而辊子3的数量，允许调整本发明的夹具以适应不同数量的基材。
[0063]
辊子3同时完成伞齿轮和行星齿轮两者的功能。由辊子3代替伞齿轮和行星齿轮相比于现有技术的夹具保证了紧凑和轻型的结构。此外，与现有技术的使用伞齿轮和行星齿轮的夹具相比，需要更少的零部件来构建所述类型的辊子3，产生本发明夹具的总体降低的复杂性。辊子3包括允许太阳轮2与辊子3啮合的措施，使得在太阳轮2被转动时该辊子3旋转。这例如可以沿着辊子3的周面的槽或凸出部分实现，就像在现有齿轮中那样，但不限于此。优选地，倾斜槽沿着辊子3的周面延伸，以允许太阳轮与之啮合并由此使辊子旋转。辊子3被制造成具有规定角度和半径以保证在太阳轮2上的理想运行。这有利于工件的侧向区域和正面区域的连续均匀涂覆。
[0064]
太阳轮2是齿轮，其被安装至该主轴并且被制造以便啮合辊子3，由此使之旋转。在工作中，太阳轮2被外部锁定。锁定可以例如通过销栓完成。锁定的另一个例子可以是小型制动器，类似于车辆的手刹。锁定的另一例子可以是在太阳轮2上固定金属板，尤其是金属板被螺栓固定在太阳轮2上，或被焊接、粘接、钎焊等。金属板优选包括金属板臂，其优选被附接至金属板。优选地，金属板臂和金属板是一件式的。金属板臂优选被转台的中心杆支撑。因此可以实现锁定。如果多个保持板被堆叠到一个主轴1上，则需要多个太阳轮2。更确切说，需要一个太阳轮2使一个保持板4的一个或多个辊子3旋转。
[0065]
太阳轮2和辊子3形成如从现有技术中知道的特殊类型的太阳-行星组合。但因为至少一个辊子3关于太阳轮2被倾斜，故容置比从现有技术的夹具中已知的甚至更长的工件变为可行。另外，需要辊子3倾斜以在工件的侧面区域和正面区域整个范围内获得均匀的涂层分布。太阳轮2和辊子3的适配结构允许在真空室内处理具有各种尺寸的工件。太阳轮2与辊子3的齿轮传动比可以通过改变其直径被调节。齿轮传动比i＝太阳轮:辊子优选被选择为1:2《i《1:10。为了在涂覆室内使用本发明的基材夹具，改变所述直径的限制因素优选可能是主轴1的最大包络圆柱直径dx(图7)。术语“主轴的最大包络圆柱直径”尤其是指可用来保持最大数量基材(工件)以在涂覆室内执行处理(如涂覆过程)的转台的每个主轴的最大包络圆柱直径dx。在此实施例中，包络圆，或者说按三维说法的(如以上已提到的)包络圆柱是其中可以布置待涂覆基材的空间。假定如果超出该圆形/圆柱形，来自转台的两个不同主
轴的基材将会相撞。通常，包络圆形/圆柱形的直径可以随设备不同而改变，因为每个设备优选可以具有其自身的转台。图7示出了应该在此实施例上下文中被理解的最大包络圆柱直径dx。主轴1的最大包络直径d(对照图1)因此小于最大包络圆柱直径dx(对照图7)。
[0066]
每个辊子3上都可安装一个工件座(附图未示出)。适应性安装工件座至辊子3允许改变不同批次中的待处理基材的类型。另外，工件座可以被容易更换以便容纳具有不同的尺寸和形状的不同的工件，并且可以在短时间内安装在辊子3上。
[0067]
所述一个或多个保持板4可安装到主轴1上，所述主轴1可安装到转台15上(图6)。一个或多个所述类型的主轴1可被安装到转台15上。如所述的那样，本发明的夹具被标记为第一可转动系统。保持板4优选通过夹紧被固定至主轴1。通过致动该主轴1，迫使保持板4旋转。太阳轮2在主轴1的致动期间被外部锁定，由此产生辊子3的旋转，即该系统的第三转动。在第一可转动系统中，太阳轮2涉及太阳，保持板4绕主轴1的旋转涉及行星旋转，倾斜辊子绕其中心轴线的旋转涉及月亮旋转。可安装主轴1的转台15的旋转被标记为第二可转动系统。转台15的旋转可以沿顺时针方向或沿逆时针方向。转台15的旋转方向不影响涂层质量。同样情况适用于主轴1和进而该夹具。
[0068]
将举例描述本发明的一个实施例，其旨为仅示例性的而因此是非限制性的。
[0069]
根据本发明的一个方面，本发明的夹具被安装在真空处理系统的真空室16内，其被用来在工件上执行预处理、后处理和/或pvd工艺。所述工艺尤其包括离子刻蚀、阴极电弧沉积和溅射。
[0070]
根据本发明的另一方面，多个辊子3被安装在保持板4上。于是，保持板4必须被制造为能容纳期望数量的辊子3。安装在保持板4上的辊子3的数量取决于基材的尺寸。该数量n优选被选择为2≤n≤10。最优选地，该辊子的数量被选择为3≤n≤5。
[0071]
根据本发明的一个如可在图5中看到的优选方面，多个本发明的夹具被重叠安装在主轴1上，以允许同时涂覆大量基材。有多少个本发明夹具能堆叠在一个主轴上取决于待涂覆工件的尺寸。根据本发明的一个优选方面，用于辊子3的制造方法包括采用增材工艺来构建辊子的一个工艺步骤。这些增材工艺包括(选择性激光熔融(slm)技术、传统或计算机化数控(cnc)车削或铣削、激光切割(如trumpf rotoplas))。最优选地，辊子3仅利用增材工艺来制造。利用增材制造方法制造辊子3优选使得成本降低和过程优化。
[0072]
根据本发明的一个方面，太阳轮2由金属材料制造。不同于塑料材料，金属材料不会在提高工作温度时排气。太阳轮2优选由不锈钢制造。不锈钢显示出良好的导电性、是非磁性的且是不锈的。此材料在规定工作参数内显示出良好的温度稳定性还有机械稳定性。
[0073]
根据本发明的另一方面，太阳轮2利用水射流切割、激光切割、计算机化数控(cnc)或传统的车削或铣削来制造。太阳轮2优选利用水射流切割来制造，因为水射流切割允许降低研发支出和进而减少成本。
[0074]
根据本发明的另一方面，该保持板由金属材料制造。该定位板优选由1.4301不锈钢制造。这种不锈钢显示出诸如可焊性、易成形性、非磁性和机加工性能优良的优点。
[0075]
以下描述本发明的另一优选实施例。所述优选实施例的分解视图在图1中被示出。图2-4给出了本发明的夹具的此优选实施例的不同视图。太阳轮2由1.4301不锈钢制造并且因为制造成本低而优选利用激光切割来制造。但可以采用制造方法例如车削、铣削和水射流切割。所述太阳轮2可转动安装至主轴1。由1.4301不锈钢制造的保持板4于是通过夹紧被
固定至转台15的主轴1。利用支承套，保持板4能容纳辊子3。在此实施例中，保持板4被制造成具有三个臂10和进而三个手12以容纳三个辊子3。这产生了在臂10之间的角度α＝120
°
。如所述的那样，β在此实施例中总是约为90
°
，但在其它实施例中可在70
°
和110
°
之间，在60
°
和120
°
之间，或者在50
°
和110
°
之间。辊子被如此安装在定位板上，即，每个辊子3关于定位板的中心部9(或平面b)显示出角度γ＝45
°
。辊子3可以被增材制造，例如使用选择性激光熔融(slm)技术，考虑到制造工程，其导致投资增加。但辊子3也可利用计算机化数控(cnc)技术来制造。辊子3被制造成具有沿辊子3的周面延伸的倾斜槽6。本发明的夹具于是被安装至主轴1。如图5所示，多个夹具可被堆叠在主轴1上。在此实施例中，例如如果转台的每个主轴的最大包络圆柱直径dx约为180mm或更大，则主轴1的最大包络直径d可被选择为约15mm或更大。优选地，转台的每个主轴的最大包络圆柱直径dx约为180毫米或优选更大。主轴1的最大包络直径d优选可被选择为约15mm或优选更大。这些尺寸范围只是例子并且不应被理解为对本发明的任何限制。
[0076]
根据本发明的一个方面，该夹具可以使用弹簧被外部地旋转，产生间歇旋转而不是由致动器引起的连续旋转。
[0077]
在以下段落中描述本发明的其它优选实施例：
[0078]
优选地，该保持板包括中心部，其位于一个平面(b)内，平面(b)关于主轴旋转轴线显示出约90
°
角度，还包括一个在此称为臂的部分，其位于平面(b)内且因此也关于主轴旋转轴线显示出约90
°
角度并从中心部起大致径向朝外，还包括一个被称为手的附接至臂的部分，其关于所述臂显示出约90
°
角度以及关于平面(b)的在20
°‑
70
°
之间的倾斜(γ)，并且包括允许将辊子安装至手的措施。
[0079]
优选地，多个保持板和相同数量的太阳轮以堆叠方式被安装至主轴，理想的是每个太阳轮被调节至一个保持板的至少一个辊子。
[0080]
优选地，臂纵向相对于主轴(1)的旋转轴线显示出约90
°
。
[0081]
优选地，本文中的纵向是指一个部分，即臂或手的主要方向。所述臂和手是保持板(4)的部分，意味着该臂优选是板，并且手优选是板。该纵向位于该板的平面内。该臂优选具有长条形状。臂的纵向沿长条形状延伸。该手优选具有长条形状。手的纵向沿长条形状延伸。
[0082]
优选地，该臂的一端被附接至该中心部。该臂的另一端被附接至该手。
[0083]
优选地，保持板(4)由单独零件制造，其包括所述中心部、臂和手。
[0084]
优选地，该辊子(3)具有圆柱形状，其具有底面、顶面和连接顶面和底面的壁。优选地，倾斜槽布置在壁处。优选地，辊子(3)是空心圆柱体。
[0085]
辊子(3)优选至少部分包括增材制造的材料。
[0086]
优选地，该基材的转速是基材绕其自身旋转轴线回转的速度。
[0087]
最后，人们可以针对要单独保护的本发明给出替代的说明或表征：
[0088]
一种要用在真空处理系统的真空室内的夹具系统，包括：主轴，齿轮(太阳轮)，圆柱形物体，其显示出允许所述齿轮与之啮合以便使所述圆柱形物体旋转的性能，其特征是，如此设计该系统，该太阳轮使所述圆柱形物体(可称为“辊子”)绕轴线旋转，该轴线所呈现的线条相对于太阳轮的旋转轴线以歪斜方式布置且不与太阳轮的旋转轴线相交。
[0089]
对于上述结构，单独地或与已有权利要求的或说明书的其它附加特征组合地要求
保护。
[0090]
在此且通常优选的是，该系统包括多个太阳轮和属于其的辊子，它们如图5所示沿主轴相互重叠安装，这是所有可能变型的代表。
[0091]
与上述实施例无关且与权利要求无关地，也要求单独保护以以下特征为特点的实施例：
[0092]
一种夹具系统，用于真空处理系统的真空室16内，包括：
[0093]-主轴1，
[0094]-齿轮，在此被称为太阳轮2，
[0095]-圆柱形物体，其显示出允许该齿轮与之啮合以使所述圆柱形物体旋转的性能，在此被称为辊子3，
[0096]-保持板4
[0097]
其中，该保持板4被安装至该主轴1，该太阳轮2可转动安装至该主轴1并在工作期间被外部锁定，优选使得该主轴1不使该太阳轮2旋转，并且该辊子3被安装到该保持板4并提供允许将工件座安装至该辊子3的措施，其特征是，
[0098]-该保持板4包括中心部9，其位于一个平面b内，其中，该平面b的法线n平行于该主轴1的旋转轴线，其中，该保持板4包括一个在臂纵向11上延伸的臂10，其中，该臂10被附接至该中心部9，其中，该臂10，优选臂纵向11大致从该中心部9径向朝外，其中，该臂10，优选臂纵向11位于该平面b内，从而优选该中心部9和该臂10，优选臂纵向11关于该主轴1的旋转轴线7显示出约90
°
角度，
[0099]
其中，该保持板4包括在手纵向13上延伸的手12，其中，该手12被附接至该臂10，其中该手12，优选手纵向13关于该臂10，优选臂纵向11显示出在50
°
和130
°
之间的角度，其中该手12，优选手纵向13关于该平面b的法向n显示出约20
°
至70
°
的倾斜，其中，该手12包括允许将辊子3安装至该手12的措施，并且
[0100]-该太阳轮2和该辊子3被制造为允许该太阳轮2与该辊子3啮合且由此使其旋转。