衬底处理方法及衬底处理装置与流程

技术特征：
1.一种衬底处理方法，是用来将具有硬化层的抗蚀剂从衬底表面去除的衬底处理方法，包含：硬化层去除步骤，包含将所述衬底加热到150℃以上的加热步骤、与对通过所述加热步骤加热的所述衬底的表面供给臭氧气体的臭氧气体供给步骤，且在所述衬底的表面附近产生氧自由基，将所述硬化层去除；及湿处理步骤，在所述硬化层去除步骤之后，对所述衬底表面供给包含硫酸的处理液，将所述抗蚀剂从所述衬底表面去除。2.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中所述加热步骤通过在配置在热处理腔室内的热板上载置所述衬底而进行，所述臭氧气体供给步骤通过对所述热处理腔室内导入臭氧气体而进行，所述衬底处理方法在停止所述臭氧气体供给步骤，结束所述硬化层去除步骤之后，还包含对所述热处理腔室内导入150℃以上的惰性气体的高温惰性气体供给步骤。3.根据权利要求2所述的衬底处理方法，其中在所述高温惰性气体供给步骤之后，还包含对所述热处理腔室内导入室温的惰性气体的室温惰性气体供给步骤。4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的衬底处理方法，其中所述臭氧气体供给步骤将未达150℃的臭氧气体供给到所述衬底的表面。5.一种衬底处理装置，包含：衬底加热单元，具有收容衬底的热处理腔室，能在所述热处理腔室内将衬底加热到150℃以上；臭氧气体供给单元，对所述热处理腔室内供给臭氧气体；及处理液供给单元，对衬底供给包含硫酸的处理液。6.根据权利要求5所述的衬底处理装置，还包含对所述热处理腔室内供给150℃以上的惰性气体的高温惰性气体供给单元。7.根据权利要求5所述的衬底处理装置，还包含对所述热处理腔室内供给室温的惰性气体的室温惰性气体供给单元。8.根据权利要求5到7中任一权利要求所述的衬底处理装置，其中所述臭氧气体供给单元将未达150℃的臭氧气体供给到所述热处理腔室内。9.根据权利要求5到7中任一权利要求所述的衬底处理装置，其中所述衬底加热单元包含载置衬底的热板。10.根据权利要求5到7中任一权利要求所述的衬底处理装置，其中所述处理液供给单元构成为在与所述热处理腔室分开的液体处理腔室内，对衬底供给包含硫酸的处理液。

技术总结
本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。用来将具有硬化层的抗蚀剂从衬底表面去除的衬底处理方法包含硬化层去除步骤与湿处理步骤。硬化层去除步骤包含将所述衬底加热到150℃以上的加热步骤、与对通过所述加热步骤加热的所述衬底的表面供给臭氧气体的臭氧气体供给步骤，且在所述衬底的表面附近产生氧自由基，将所述硬化层去除。湿处理步骤是在所述硬化层去除步骤之后，对所述衬底表面供给包含硫酸的处理液，将所述抗蚀剂从所述衬底表面去除。除。除。


技术研发人员：有马直子 鳅场真树
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.08.27
技术公布日：2022/2/28