一种化学气相沉积设备的制作方法

技术特征：
1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括远程等离子体源(4)；反应室(2)；真空泵(1)；用于连接所述远程等离子体源(4)和所述反应室(2)的进气管道(3)，主清洁气体通过所述进气管道(3)从所述远程等离子体源(4)进入所述反应室(2)；用于连接所述反应室(2)和所述真空泵(1)的排气管道(6)；所述进气管道(3)上有一支路管道(5)，接入支路清洁气体。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述排气管道(6)呈入口端窄，出口端宽的形状。3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述排气管道(6)的入口端窄，出口端宽的形状是使用锥形管道实现的。4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述排气管道(6)的入口端窄，出口端宽的形状是通过一个变径接头，或多个变径接头的组合实现的。5.根据权利要求2-4任一项所述的设备，其特征在于，所述排气管道(6)的入口端直径与出口端直径之比为1：4。6.根据权利要求2-4任一项所述的设备，其特征在于，所述排气管道(6)的轴线长度不超过60cm。7.根据权利要求2-4任一项所述的设备，其特征在于，所述支路清洁气体的流量为所述主清洁气体流量的三分之一至三分之二。8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述支路清洁气体的流量为所述主清洁气体流量的三分之一。9.根据权利要求1-4任一项所述的设备，其特征在于，所述支路清洁气体为氩气。

技术总结
本发明实施例提出一种化学气相沉积设备，所述设备包括：远程等离子体源；反应室；真空泵；用于连接该远程等离子体源和该反应室的进气管道，主清洁气体通过该进气管道从该远程等离子体源进入该反应室；用于连接该反应室和该真空泵的排气管道；该进气管道上有一支路管道，接入支路清洁气体。进一步地，该排气管道呈入口端窄，出口端宽的形状。本发明提供的改进，有效提高了吹扫进气管道内壁上的沉积物形成的污染物的效率，还提高了清洁效率，从而延长了进行预防性维护的周期，也就是增加了单位时间内设备得到有效使用的时间，因此大幅降低了生产成本。生产成本。生产成本。


技术研发人员：刘洋 金補哲 叶新浩 厉冰峰 蔡宇航
受保护的技术使用者：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
技术研发日：2021.12.09
技术公布日：2022/2/24