一种分体式结构的化学气相沉积炉的制作方法

技术特征：
1.一种分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：包括机架(1)和升降机构(2)，所述升降机构(2)上连接有炉底(3)，所述炉底(3)上固定连接有中圈法兰(4)，所述中圈法兰(4)上通过螺栓(5)与炉身(6)连接，所述炉身(6)顶部设置有炉盖(7)，所述中圈法兰(4)上固定连接有内外筒(8)，所述内外分隔筒(8)将所述炉身(6)内分隔为内发热空间和外发热空间，所述内发热空间设置有内发热体(9)，所述外发热空间设置有外发热体(10)，所述炉底(3)上设置有料台(11)，料柱(12)放置于所述料台(11)上，且置于所述内发热体(9)与所述外发热体(10)之间。2.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述升级机构(2)为丝杆升降机。3.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述内外分隔筒(8)为碳/碳复合材料薄壁筒。4.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述内发热体(9)为碳/碳发热体，或等静压石墨发热体，或电极石墨发热体。5.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述外发热体(10)为等静压石墨发热体。6.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：还包括尾气处理装置(13)，所述尾气处理装置(13)与炉盖(7)连接，并连通至所述炉身(6)内。7.根据权利要求6所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述尾气处理装置(13)包括依次连接的一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器。8.根据权利要求7所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述一级过滤器为活性炭与金属过滤网构成。9.根据权利要求7所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述二级过滤器冷凝过滤器。10.根据权利要求7所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述三级过滤器为布袋除尘器。

技术总结
本发明公开了一种分体式结构的化学气相沉积炉。包括机架和升降机构，所述升降机构上连接有炉底，所述炉底上固定连接有中圈法兰，所述中圈法兰上通过螺栓与炉身连接，所述炉身顶部设置有炉盖，所述中圈法兰上固定连接有内外筒，所述内外分隔筒将所述炉身内分隔为内发热空间和外发热空间，所述内发热空间设置有内发热体，所述外发热空间设置有外发热体，所述炉底上设置有料台，料柱放置于所述料台上，且置于所述内发热体与所述外发热体之间。本发明一方面采用内外双室加热，大大提高了沉积区的温度均匀性。另一方面采用半固定式分体结构设计，实现了内筒的快捷拆装，大大缩短了设备的维护保养工时，提高了沉积炉的使用率。提高了沉积炉的使用率。提高了沉积炉的使用率。


技术研发人员：朱文志 何留阳 杨宇
受保护的技术使用者：贵州省紫安新材料科技有限公司
技术研发日：2021.11.10
技术公布日：2022/2/24