蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法与流程

技术特征：
1.一种蒸镀掩模，是金属制的蒸镀掩模，其特征在于，具备：以与蒸镀源对置的方式构成的表面；以及多个掩模孔，分别包含具有倒锥台状的孔部，各掩模孔的上述孔部具备：小开口，从与上述蒸镀掩模的上述表面对置的视点观察时，上述小开口具有包含多个角部和分别位于邻接的上述角部间的多个线状部在内的多边形状的边缘；以及大开口，位于上述表面，从与上述表面对置的视点观察时，上述大开口具有由上述小开口的上述边缘中的上述角部相对于上述小开口的上述边缘向外侧伸出而成的形状的边缘，从与上述表面对置的视点观察时，上述大开口将上述小开口包围。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，在与上述表面正交且沿着上述小开口的对角方向的截面中，将上述小开口的上述角部与上述大开口的对应的上述角部连结的虚拟直线是第1虚拟直线，上述表面与上述第1虚拟直线形成的角度是第1角度，在与上述表面正交且沿着与上述小开口的1个上述线状部正交的方向的截面中，将上述小开口的上述边缘与上述大开口的上述边缘连结的虚拟直线是第2虚拟直线，上述表面与上述第2虚拟直线形成的角度是第2角度，上述第2角度比上述第1角度大，从与上述表面对置的视点观察时，上述小开口的上述角部与上述大开口的对应的上述角部之间的距离，为上述表面与包含上述小开口的上述边缘在内的平面之间的距离的1倍以上1.5倍以下，上述小开口的上述角部的曲率半径为4.5μm以下。3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，上述蒸镀掩模还具备作为与上述表面相反侧的面的背面，上述多个小开口位于上述背面。4.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，上述蒸镀掩模具有1μm以上20μm以下的厚度。5.如权利要求1～4中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，形成上述蒸镀掩模的材料是铁镍类合金或铁镍钴类合金。6.一种蒸镀掩模的制造方法，包含如下工序：在金属片的表面及背面中的至少一个面上形成抗蚀剂掩模；以及使用上述抗蚀剂掩模，在上述金属片形成多个掩模孔，形成上述多个掩模孔的工序是将分别包含具有倒锥台状的孔部的上述多个掩模孔以如下方式形成在上述金属片上：各掩模孔的上述孔部具备：小开口，从与上述金属片扩展的平面对置的视点观察时，上述小开口具有包含多个角部和分别位于邻接的上述角部间的多个线状部在内的多边形状的边缘；以及大开口，位于上述表面，在从与上述表面对置的视点观察时，上述大开口具有由上述小开口的上述边缘中的上述角部相对于上述小开口的上述边缘朝向外侧伸出而成的形状的边缘，
从与上述表面对置的视点观察时，上述大开口将上述小开口包围。7.如权利要求6所述的蒸镀掩模的制造方法，在与上述表面正交且沿着上述小开口的对角方向的截面中，将上述小开口的上述角部与上述大开口的对应的上述角部连结的虚拟直线是第1虚拟直线，上述表面与上述第1虚拟直线形成的角度是第1角度，在与上述表面正交且沿着与上述小开口的1个上述线状部正交的方向的截面中，将上述小开口的上述边缘与上述大开口的上述边缘连结的虚拟直线是第2虚拟直线，上述表面与上述第2虚拟直线形成的角度是第2角度，形成上述多个掩模孔的工序是以如下方式在上述金属片上形成上述多个掩模孔的工序：上述第2角度比上述第1角度大，从与上述表面对置的视点观察时，上述小开口的上述角部与上述大开口的对应的上述角部之间的距离，为上述表面与包含上述小开口的上述边缘在内的平面之间的距离的1倍以上1.5倍以下，上述小开口的上述角部的曲率半径为4.5μm以下。8.一种显示装置的制造方法，包含如下工序：准备由权利要求6或7所述的蒸镀掩模的制造方法制造的蒸镀掩模；以及通过使用了上述蒸镀掩模的蒸镀来形成图案。

技术总结
金属制的蒸镀掩模具备以与蒸镀源对置的方式构成的表面和分别包含具有倒锥台状的孔部的多个掩模孔。各掩模孔的孔部具备小开口和大开口，从与蒸镀掩模的表面对置的视点观察，上述小开口具有包含多个角部和分别位于邻接的角部间的多个线状部在内的多边形状的边缘，从与表面对置的视点观察，上述大开口具有由小开口的边缘中的角部相对于小开口的边缘朝向外侧伸出而成的形状的边缘，上述大开口位于表面。从与表面对置的视点观察时，大开口将小开口包围。口包围。口包围。


技术研发人员：森田贵之
受保护的技术使用者：凸版印刷株式会社
技术研发日：2020.09.30
技术公布日：2022/2/24