薄膜加热器、薄膜加热器的制造方法及恒温槽型压电振荡器与流程

技术特征：
1.一种薄膜加热器，具有在绝缘基板上的两个端子之间进行图案形成而构成的金属布线，其特征在于：所述两个端子之间的所述金属布线的电阻值为10ω以下，所述金属布线具有由在200℃以下的温度发生再结晶的材料形成的发热层。2.一种薄膜加热器，具有在绝缘基板上的两个端子之间进行图案形成而构成的金属布线，其特征在于：所述两个端子之间的所述金属布线的电阻值为10ω以下，所述金属布线具有发热层，该发热层被形成为已发生过再结晶的膜。3.根据权利要求1或2所述的薄膜加热器，其特征在于：所述发热层的材料从由au(金)、al(铝)、ag(银)及cu(铜)组成的群组中选择。4.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜加热器，其特征在于：所述绝缘基板是水晶或玻璃，所述金属布线具有形成在所述绝缘基板与所述发热层之间的衬底层。5.根据权利要求4所述的薄膜加热器，其特征在于：所述发热层的膜厚为30nm以上，所述衬底层的膜厚为10nm以下。6.一种薄膜加热器的制造方法，该薄膜加热器具有在绝缘基板上的两个端子之间进行图案形成而构成的金属布线，其特征在于：所述金属布线具有发热层，该发热层是通过成膜工序和图案形成工序形成的，所述成膜工序中，使用在200℃以下的温度发生再结晶的材料，并在将所述绝缘基板预热至200℃以上的状态下，利用真空蒸镀法在所述绝缘基板上进行金属膜的成膜；所述图案形成工序中，通过对在所述成膜工序中成膜的所述金属膜进行蚀刻而进行图案形成。7.根据权利要求6所述的薄膜加热器的制造方法，其特征在于：所述发热层的材料从由au(金)、al(铝)、ag(银)及cu(铜)组成的群组中选择。8.根据权利要求6或7所述的薄膜加热器的制造方法，其特征在于：所述绝缘基板是水晶或玻璃，所述金属布线具有衬底层，该衬底层形成于所述绝缘基板与所述发热层之间。9.根据权利要求8所述的薄膜加热器的制造方法，其特征在于：所述发热层的膜厚为30nm以上，所述衬底层的膜厚为10nm以下。10.一种恒温槽型压电振荡器，包括加热器、谐振器、与所述谐振器组合而构成振荡器的振荡器ic、及对所述加热器进行控制的加热器ic，其特征在于：作为所述加热器，至少包含权利要求1至5中任一项所述的薄膜加热器。11.根据权利要求10所述的恒温槽型压电振荡器，其特征在于：所述加热器是两枚所述薄膜加热器，具有通过在夹在所述两枚薄膜加热器之间的温控空间内配置所述谐振器、所述振荡器ic及所述加热器ic而构成的核心部，所述核心部以密闭状态被密封在隔热用封装体的内部。
12.根据权利要求10所述的恒温槽型压电振荡器，其特征在于：具有在平板状的核心基板上从该核心基板侧开始按所述加热器ic、所述谐振器、所述振荡器ic及所述薄膜加热器的顺序层叠而构成的核心部，所述核心部以密闭状态被密封在隔热用封装体的内部。

技术总结
本发明提供一种薄膜加热器(10)。该薄膜加热器(10)具有在绝缘基板(11)上的两个端子之间进行图案形成而构成的金属布线(12)。金属布线(12)在两个端子之间的电阻值为10Ω以下，并具有由在200℃以下的温度发生再结晶的材料形成的发热层(12A)。发热层(12A)通过成膜工序和图案形成工序形成，成膜工序中，在将绝缘基板(11)预热至200℃以上的状态下，利用真空蒸镀法进行金属膜的成膜；图案形成工序中，通过对成膜后的金属膜进行蚀刻而进行图案形成。成膜后的金属膜进行蚀刻而进行图案形成。成膜后的金属膜进行蚀刻而进行图案形成。


技术研发人员：饭塚实 古城琢也 森本贤周
受保护的技术使用者：株式会社大真空
技术研发日：2021.02.19
技术公布日：2022/2/23