激光加工设备的制作方法

技术特征：
1.一种激光加工设备，包括能够产生第一波长的第一激光束（l1）的第一激光振荡器（1），能够将所述第一激光束（l1）分割成第一分光束（l11）与第二分光束（l12）的第一分光器（2），光传输系统，其特征在于：还包括能够产生第二波长的第二激光束（l2）的第二激光振荡器（3），能够将所述第二激光束（l2）分割成第三分光束（l21）与第四分光束（l22）的第二分光器（4），能够控制所述第一分光束（l11）照射方向的第一扫描单元（5）、能够控制所述第二分光束（l12）照射方向的第二扫描单元（6）、能够控制所述第三分光束（l21）照射方向的第三扫描单元（7）、能够控制所述第四分光束（l22）照射方向的第四扫描单元（8），所述光传输系统包括将入射的所述第一分光束（l11）和所述第四分光束（l22）聚集并平行输出的第一工作光学组件（9），还包括将入射的所述第二分光束（l12）和所述第三分光束（l21）聚集并平行输出的第二工作光学组件（10）。2.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：所述第一工作光学组件（9）包括能够校准所述第一分光束（l11）与所述第四分光束（l22）的数差的第一扫描镜头，所述第二工作光学组件（10）包括能够校准所述第二分光束（l12）与所述第三分光束（l21）的数差的第二扫描镜头。3.根据权利要求2所述的激光加工设备，其特征在于：所述第一工作光学组件（9）还包括能够将入射的所述第一分光束（l11）和所述第四分光束（l22）平行输出的第一光平行镜头，所述第二工作光学组件（10）还包括能够将入射的所述第二分光束（l12）与所述第三分光束（l21）平行输出的第二光平行镜头。4.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：还包括分别能够装载加工基板的第一工作台（11）、第二工作台（12）、机架，所述第一工作台（11）能够向所述第一工作光学组件输出光束的垂直平面方向移动地设置在所述机架上，所述第二工作台（12）能够向所述第二工作光学组件输出光束的垂直平面方向移动地设置在所述机架上。5.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：所述光传输系统还包括位于所述第一分光器（2）与所述第二扫描单元（6）之间的第一传输光学组件（13），位于所述第二分光器（4）与所述第四扫描单元（8）之间的第二传输光学组件（14），所述第一扫描单元（5）位于所述第一分光器（2）与所述第一工作光学组件（9）之间，所述第三扫描单元（7）位于所述第二分光器（4）与所述第二工作光学组件（10）之间。6.根据权利要求5所述的激光加工设备，其特征在于：所述第一传输光学组件（13）包括能够将所述第二分光束（l12）传送给所述第二扫描单元（6）的反光镜，还包括声光调制器、声光偏转器、波长板、棱镜中的至少一个，所述第二传输光学组件（14）包括能够将所述第四分光束（l22）传送给所述第四扫描单元（8）的反光镜，还包括声光调制器、声光偏转器、波长板、棱镜中的至少一个。7.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：所述第一波长与所述第二波长为266nm、343nm、355nm、515nm、532nm、633nm、915nm、1030nm、1064nm、1080nm、1550nm、5.5um、9.26um、9.3um、9.36um、9.4um、9.6um、10.2um、10.3um、10.6um中的相应的两个，所述第二波长相对所述第一波长的差距在所述第一波长的5%以内。8.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：所述第一激光振荡器（1）、所述第二激光振荡器（3）分别为yag激光器，所述第一波长与所述第二波长相差5nm-40nm，或者，所
述第一激光振荡器（1）、所述第二激光振荡器（3）分别为二氧化碳激光器，所述第一波长与所述第二波长相差30nm-300nm。9.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于：所述光传输系统具有相同的带宽。

技术总结
本实用新型公开了一种激光加工设备，包括能够产生第一波长的第一激光束的第一激光振荡器，能够将第一激光束分割成第一分光束与第二分光束的第一分光器，光传输系统，还包括能够产生第二波长的第二激光束的第二激光振荡器，能够将第二激光束分割成第三分光束与第四分光束的第二分光器，第一扫描单元、第二扫描单元、第三扫描单元、第四扫描单元，光传输系统包括将入射的第一分光束和第四分光束聚集并平行输出的第一工作光学组件，还包括将入射的第二分光束和第三分光束聚集并平行输出的第二工作光学组件。利用两种波长的激光束分割而成的两束分光束分别交错聚集后平行输出，可以在加工基板的多处位置同时以相同的加工方法进行加工，质量均匀。质量均匀。质量均匀。


技术研发人员：成奎栋
受保护的技术使用者：伊欧激光科技（苏州）有限公司
技术研发日：2021.08.03
技术公布日：2022/2/18