惰性气体提纯装置的制作方法

1.本实用新型涉及惰性气体提纯技术领域，尤其涉及一种惰性气体提纯装置。


背景技术：

2.传统吸气剂的激活方式为加热烘烤激活，需要将吸气剂加温至350℃-900℃，并保温一定的时间来实现激活，采用的加热方式有：电阻加热、高频感应加热、直接放入真空炉热传导或热辐射加热。以上加热激活的方式对吸气剂的使用场合有较高的要求，为了避免高温对吸气剂附近其它部件产生损伤，对真空器件的设计、材料选择、密封形式等提出了较高要求。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种惰性气体提纯装置，以实现惰性气体的提纯。
4.本实用新型提供了一种惰性气体提纯装置，包括：
5.壳体，壳体具有真空腔体，真空腔体的壁面上设置有吸气剂；
6.放电部，放电部设置在真空腔体内；
7.电源，电源的一端连接壳体，电源的另一端连接放电部；
8.其中，壳体上设置有进气通道和出气通道，进气通道和出气通道均与真空腔体相连通，惰性气体通过进气通道排入真空腔体，并由出气通道排出真空腔体。
9.在本实用新型的一个实施例中，放电部为多个。
10.在本实用新型的一个实施例中，电源为直流电源、中频电源、射频电源或微波放电电源。
11.在本实用新型的一个实施例中，进气通道和出气通道均位于壳体的侧壁上，且进气通道位于出气通道的上方。
12.在本实用新型的一个实施例中，进气通道和出气通道分别位于壳体的相对两侧。
13.在本实用新型的一个实施例中，进气通道上设置有第一阀门，出气通道上设置有第二阀门。
14.在本实用新型的一个实施例中，壳体上设置有排气口，排气口用于连接抽真空系统。
15.在本实用新型的一个实施例中，排气口设置于壳体的底部。
16.在本实用新型的一个实施例中，吸气剂为粉末状吸气剂、块体吸气剂或薄膜吸气剂。
17.在本实用新型的一个实施例中，放电部的长度不小于真空腔体的高度的一半。
18.本实用新型一个实施例的惰性气体提纯装置包括壳体、放电部以及电源，电源向壳体和放电部供电，即放电部可以作为阳极，壳体可以作为阴极使用，惰性气体在放电过程中被电离产生等离子体，利用等离子体中高密度的正、负带电离子的轰击和活化作用，使附着在吸气剂表层的气体分子和原子重新获得足够的能量，从而迅速由吸气剂表面向内部扩
散，重新露出新鲜吸气剂表面，吸气剂再次开始工作，即就是达到吸气剂激活的目的，从而可以吸收惰性气体中存在的杂质，以此实现对惰性气体的提纯。
附图说明
19.通过结合附图考虑以下对本实用新型的优选实施方式的详细说明，本实用新型的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本实用新型的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：
20.图1是根据一示例性实施方式示出的一种惰性气体提纯装置的结构示意图。
21.附图标记说明如下：
22.1、吸气剂；10、壳体；11、真空腔体；12、进气通道；13、出气通道；14、排气口；20、放电部；30、电源；40、第一阀门；50、第二阀门。
具体实施方式
23.体现本实用新型特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本实用新型。
24.在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”、“之间”、“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。
25.本实用新型的一个实施例提供了一种惰性气体提纯装置，请参考图1，惰性气体提纯装置包括：壳体10，壳体10具有真空腔体11，真空腔体11的壁面上设置有吸气剂1；放电部20，放电部20设置在真空腔体11内；电源30，电源30的一端连接壳体10，电源30的另一端连接放电部20；其中，壳体10上设置有进气通道12和出气通道13，进气通道12和出气通道13均与真空腔体11相连通，惰性气体通过进气通道12排入真空腔体11，并由出气通道13排出真空腔体11。
26.本实用新型一个实施例的惰性气体提纯装置包括壳体10、放电部20以及电源30，电源30向壳体10和放电部20供电，即放电部20可以作为阳极，壳体10可以作为阴极使用，惰性气体在放电过程中被电离产生等离子体，利用等离子体中高密度的正、负带电离子的轰击和活化作用，使附着在吸气剂1表层的气体分子和原子重新获得足够的能量，从而迅速由吸气剂表面向内部扩散，重新露出新鲜吸气剂表面，吸气剂再次开始工作，即就是达到吸气剂激活的目的，从而可以吸收惰性气体中存在的杂质，以此实现对惰性气体的提纯。
27.需要说明的是，惰性气体由进气通道12排入真空腔体11，在壳体10和放电部20的作用下，即利用电激励产生低温辉光等离子体，等离子体实现对吸气剂1的激活。利用等离子体来激活吸气剂1可以实现的有益效果：激活吸气剂不再用到长时间的350℃-900℃的高温，避免高温激活对真空器件带来的热损伤。省去了结构复杂的高温激活附属装置。等离子
体激活吸气剂避免了高温激活时由于的热胀冷缩引起的吸气剂掉粉现象。电激励产生等离子体的方式包括直流辉光等离子体、射频感应耦合等离子体、微波等离子体等多种不同型式，且能量可根据需要调节，操作便利。
28.在一个实施例中，放电部20可以为电极，如轰击板。放电部20可以为一个或者多个，从而实现利用电激励产生低温辉光等离子体的效果。
29.在一个实施例中，电源30为直流电源、中频电源、射频电源或微波放电电源。
30.在一个实施例中，如图1所示，进气通道12和出气通道13均位于壳体10的侧壁上，且进气通道12位于出气通道13的上方，从而可以保证惰性气体在真空腔体11进行可靠流通，以使得激活后的吸气剂能够可靠吸收惰性气体中的杂质，以保证由出气通道13排出的惰性气体的纯度。
31.可选的，进气通道12和出气通道13均由设在在壳体10上的管体构成。在某些实施例中，不排除直接在壳体10上开孔，以形成进气通道12和出气通道13。
32.在一个实施例中，进气通道12和出气通道13分别位于壳体10的相对两侧，即惰性气体由真空腔体11的一侧进入，然后由另外一侧排出，从而保证惰性气体能够在真空腔体11内被可靠提纯。
33.在一个实施例中，如图1所示，进气通道12上设置有第一阀门40，通过第一阀门40的打开与闭合来控制进气通道12的连通与断开，从而控制惰性气体进入真空腔体11的时间。
34.在一个实施例中，如图1所示，出气通道13上设置有第二阀门50，通过控制第二阀门50的打开与闭合来控制出气通道13的连通与断开，从而控制惰性气体排出真空腔体11的时间。
35.在一个实施例中，如图1所示，壳体10上设置有排气口14，排气口14用于连接抽真空系统，从而可以通过抽真空系统保证真空腔体11内处于真空状态，以此进行后续的提纯处理。
36.在一个实施例中，排气口14设置于壳体10的底部，设置位置较为灵活，可以方便连接抽真空系统，且可以方便进行抽真空处理。
37.在一个实施例中，吸气剂1为粉末状吸气剂、块体吸气剂或薄膜吸气剂。
38.具体的，吸气剂包为多元合金吸气剂，合金成份包括了ti、zr、v、fe、mo、re(ce、la)、al、cu、hf、co等元素中的一种或者几种的组合。
39.在一个实施例中，放电部20的长度不小于真空腔体11的高度的一半，以此可以产生足够的等离子体保证对吸气剂的可靠激活。即利用真空等离子体对材料的活化作用，使吸气剂表面附着的杂质剥离、去除。使吸气剂表面已经吸附气体的分子和原子重新获得能量，发生迁移，进一步向材料内部更深处扩散，从而使气剂材料再次获得新鲜的表面，又一次开始吸附真空腔体释放的气体分子的作用，也就是吸气剂激活，从而可以吸收惰性气体中存在的杂质。
40.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本实用新型旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和示例实施方式仅被视为示例性的，本
实用新型的真正范围和精神由所附的权利要求指出。
41.应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。