废气处理系统的控制方法及反应腔与流程

技术特征：
1.一种废气处理系统的控制方法，其特征在于：包括：s1，开启正常运行模式，关闭清洗模式；s2，确定废气未进入反应腔；s3，关闭正常运行模式，开启清洗模式；s4，确定废气进入反应腔，返回步骤s1。2.根据权利要求1所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤s2与步骤s3之间还包括：s21，关闭正常运行模式，开启节能模式；s22，确定废气未进入反应腔。3.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤s22与步骤s3之间还包括：s23，确定达到预设清洗间隔时间。4.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤s3后还包括：s4’，确定废气未进入反应腔，返回步骤s21。5.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤s22后还包括：s23’，确定未达到预设清洗间隔时间，返回步骤s21。6.根据权利要求2所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤s21后还包括：s22’，确定废气进入反应腔，返回步骤s1。7.根据权利要求1所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：步骤s1后还包括：s2’，确定废气进入反应腔，返回步骤s1。8.根据权利要求1至7任意一项所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：所述清洗模式包括：反应腔开始喷淋新水；反应腔的冷却水切换为新水，溢流筒内的喷嘴及水洗塔内的喷嘴切换为喷淋新水；水箱排水，直至水箱内循环水的ph值满足设定ph值要求；反应腔停止喷淋新水；反应腔内注入氮气；所述正常运行模式包括：反应腔的冷却水切换为循环水，溢流筒内的喷嘴及水洗塔内的喷嘴切换为喷淋循环水。9.根据权利要求1所述的废气处理系统的控制方法，其特征在于：所述节能模式包括：反应腔内5～10l/min进入甲烷。10.一种反应腔，其特征在于：应用于权利要求1至9任意一项所述的废气处理系统的控制方法，包括腔体，所述腔体的进气口一侧设有喷嘴，所述腔体的内壁涂覆纳米复合陶瓷涂层。

技术总结
本发明半导体制造技术领域，尤其涉及一种废气处理系统的控制方法及反应腔，废气处理系统的控制方法包括：S1，开启正常运行模式，关闭清洗模式；S2，确定废气未进入反应腔；S3，关闭正常运行模式，开启清洗模式；S4，确定废气进入反应腔，返回步骤S1。利用集成电路制造过程排气的间歇时间，废气处理系统启动清洗模式，对设备进行在线清洁，从而延长维护保养周期，降低拆装维护成本，提高设备利用率，与传统堵塞停机清理的方式相比，本发明时效性较强，且不停机不拆装运作成本低。停机不拆装运作成本低。停机不拆装运作成本低。


技术研发人员：杨春水 宁腾飞
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：2021.11.10
技术公布日：2022/2/6