一种半导体加工用光刻机自动防护装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种半导体加工用光刻机自动防护装置。


背景技术：

2.光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，光刻机采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机对半导体的加工起到至关重要的作用，目前的光刻机缺乏保护结构，光刻机受到碰撞可能会使内部的零件移动位置，会对精确度造成巨大的影响，因此需要一种装置解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用光刻机自动防护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用光刻机自动防护装置，包括光刻机，所述光刻机的外部固定连接有保护装置，所述保护装置包括机箱、第一双齿轮、第一传动皮带、第二传动皮带、第三传动皮带、第二双齿轮、齿轮、挡板、轴柱、连接块、定位板、防护外壳、定位槽、定位块、支柱、第三双齿轮和电动机，所述防护外壳设在保护装置的外部，所述连接块设有两个，且所述连接块对称固定连接在防护外壳的内端面，所述机箱固定连接在防护外壳的上端面，所述第三双齿轮安装在机箱的内部，所述第三双齿轮固定连接在电动机的下端面，所述第一传动皮带啮合连接在第三双齿轮的两端，所述第一双齿轮均啮合连接在第一传动皮带的外端，所述第二传动皮带啮合连接在第一双齿轮的一端，所述第三传动皮带啮合连接在第一双齿轮的另一端，所述第二双齿轮啮合连接在第三传动皮带后端，所述定位块固定连接在防护外壳的后端四角，所述轴柱对称转动连接在定位块的两端，所述齿轮均固定连接在轴柱的上端，所述挡板均固定连接在轴柱的中部，所述定位槽均第对称开设在挡板的前端面，所述定位板对称固定连接在防护外壳的前端面，所述支柱均固定连接在定位板的前端面。
5.优选的，所述第一双齿轮和第二双齿轮均转动卡接在防护外壳的上端面。
6.优选的，所述第二传动皮带与一端的齿轮相啮合连接，所述第二双齿轮与另一端的齿轮相啮合连接。
7.优选的，所述挡板通过定位槽和轴柱转动卡接在定位块的内部，所述定位块开设有与轴柱相适配的定位孔。
8.优选的，所述挡板的前端面与定位板的后端面相重合。
9.优选的，所述防护外壳通过连接块与光刻机相固定连接，所述支柱的另一端与防护外壳相固定连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.本实用新型通过电动机带动第三双齿轮进行转动，之后第三双齿轮会通过第一传动皮带带动第一双齿轮进行转动，一端的第一双齿轮带动一端齿轮进行转动，另一端的第一双齿轮会带动第二双齿轮进行转动，之后第二双齿轮会带动另一端的齿轮反向转动，从而实两端的挡板相对转动，转动至与定位板相重合，从而实现在光刻机不工作时对其进行保护。
附图说明
12.图1为本实用新型的主体结构示意图；
13.图2为本实用新型的保护装置结构示意图；
14.图3为本实用新型的保护装置中防护外壳处结构示意图；
15.图4为本实用新型的保护装置中机箱处结构示意图。
16.图中：1-光刻机、2-保护装置、3-机箱、4-第一双齿轮、5-第一传动皮带、6-第二传动皮带、7-第三传动皮带、8-第二双齿轮、9-齿轮、10-挡板、11-轴柱、12-连接块、13-定位板、14-防护外壳、15-定位槽、17-定位块、18-支柱、19-第三双齿轮、20-电动机。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体加工用光刻机自动防护装置，包括光刻机1，光刻机1的外部固定连接有保护装置2，保护装置2包括机箱3、第一双齿轮4、第一传动皮带5、第二传动皮带6、第三传动皮带7、第二双齿轮8、齿轮9、挡板10、轴柱11、连接块12、定位板13、防护外壳14、定位槽15、定位块17、支柱18、第三双齿轮19和电动机20，防护外壳14设在保护装置2的外部，连接块12设有两个，且连接块12对称固定连接在防护外壳14的内端面，机箱3固定连接在防护外壳14的上端面，第三双齿轮19安装在机箱3的内部，第三双齿轮19固定连接在电动机20的下端面，第一传动皮带5啮合连接在第三双齿轮19的两端，第一双齿轮4均啮合连接在第一传动皮带5的外端，第二传动皮带6啮合连接在第一双齿轮4的一端，第三传动皮带7啮合连接在第一双齿轮4的另一端，第二双齿轮8啮合连接在第三传动皮带7后端，定位块17固定连接在防护外壳14的后端四角，轴柱11对称转动连接在定位块17的两端，齿轮9均固定连接在轴柱11的上端，挡板10均固定连接在轴柱11的中部，定位槽15均第对称开设在挡板10的前端面，定位板13对称固定连接在防护外壳14的前端面，支柱18均固定连接在定位板13的前端面，通过保护装置2内部的机构相互配合，可以实现对光刻机1进行保护，防止光刻机1在不工作时受到外界事物的碰撞，使光刻机1的内部结构保持稳定的位置，之后制造出来的物品可以更加的精确，需要使用光刻机1时也可以将其打开。
19.第一双齿轮4和第二双齿轮8均转动卡接在防护外壳14的上端面，实现对第一双齿轮4和第二双齿轮8进行定位，第二传动皮带6与一端的齿轮9相啮合连接，第二双齿轮8与另一端的齿轮9相啮合连接，实现可以带动两端的齿轮9进行相反的转动，挡板10通过定位槽
15和轴柱11转动卡接在定位块17的内部，定位块17开设有与轴柱11相适配的定位孔，实现10可以在17之间进行转动，不会出现卡住的情况，挡板10的前端面与定位板13的后端面相重合，实现挡板10可以将防护外壳14进行封闭，防护外壳14通过连接块12与光刻机1相固定连接，支柱18的另一端与防护外壳14相固定连接，实现防护外壳14可以对光刻机1进行保护，通过支柱18可以增加定位板13的稳定性。
20.工作原理：使用者先通过连接块12将防护外壳14固定连接在光刻机1的外部，之后将安装在机箱3内部的电动机20进行电性连接，电动机20会进行转动，之后电动机20会通过减速器带动第三双齿轮19进行转动，第三双齿轮19会通过表面啮合连接的第一传动皮带5带动两端的第一双齿轮4进行转动，第一双齿轮4会转动卡接在防护外壳14的上端面，之后一端的第一双齿轮4会通过表面啮合连接的第二传动皮带6带动齿轮9进行进行转动，与此同时另一端的第一双齿轮4会通过表面啮合连接的第三传动皮带7带动第二双齿轮8进行转动，之后第二双齿轮8会带动另一端的齿轮9进行反向转动，从而实现齿轮9通过轴柱11带动两端的挡板10进行相对的转动，挡板10会用过轴柱11在定位块17的之间进行转动，由于挡板10的两端开设有定位槽15，挡板10在转动时不会造成卡死的现象，转动至挡板10的前端面与定位板13的后端面相重合时，停止电动机20进行转动，由于定位板13和支柱18之间有支柱18进行支撑，所以定位板13不会轻易的弯折，从而实现可以对内部的光刻机1进行保护，防止了其他事物对光刻机1进行碰撞，当需要使用光刻机1时可以反向转动电动机20，从而实现挡板10会转动至与定位板13相垂直，之后可以对光刻机1进行使用。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。