单片外延炉温度控制装置的制作方法

1.本实用新型属于外延炉装置技术领域，特别涉及单片外延炉温度控制装置。


背景技术：

2.目前，制造硅器件时为了降低硅器件的正向压降或导通电阻通常使用硅外延片代替硅抛光片。硅外延片通常是通过化学气相沉积(cvd)在直拉(cz)硅抛光片的表面生长一层一定厚度和电阻率的硅单晶层的方法得到的。常用的硅外延生长气体包括氢气、三氯氢硅(sihcl3)、掺杂气体(包括磷烷、硼烷等)，反应方程式为：sihcl3 h2＝si 3hcl，由于硅外延片制造过程中反应生成的硅既在硅片的抛光表面沉积(变成单晶硅)，也在外延炉的石英cvd反应腔的内表面和石墨基座表面沉积(变成多晶硅)。每加工一片或几片硅外延片就要用氯化氢气体将石英cvd反应腔的内表面和石墨基座表面沉积的多晶硅腐蚀掉，否则会在硅外延层中产生大量被称为“包裹物”的缺陷，沉积在石墨基座正上方的石英cvd反应腔的内表面的多晶硅尤其容易导致“包裹物”缺陷，为解决上述问题中国cn206494986u中提出了用于制造硅外延片的单片式外延炉的外延生长单元及应用，其中包括外部的壳体和位于壳体内部的卤钨灯组加热器，此卤钨灯组加热器作为温度控制装置实现对单片外延炉温度的控制，但是现有技术中温度控制装置是固定在壳体内的，因此换用多种型号的温度控制装置。


技术实现要素：

3.本实用新型提出单片外延炉温度控制装置，解决了现有技术中温度控制装置的固定设置，无法更换的问题。
4.本实用新型的技术方案是这样实现的：单片外延炉温度控制装置，包括外壳和设置在外壳内部的温度控制装置，所述温度控制装置与外壳内部之间设置有调节组件，所述调节组件包括第一调节件、第二调节件和第三调节件，所述第一调节件的后侧与外壳的内侧壁之间固定连接，所述第二调节件和第三调节件分别对称固定设置在第一调节件前侧的顶部和底部且二者相对设置，所述温度控制装置位于第二调节件和第三调节件之间，所述第三调节件的底部垂直且固定设置有调节杆，所述调节杆活动设置在第一调节件内。
5.在需要更换不同型号的温度控制装置时，将温度控制装置放在第二调节件和第三调节件之间，将调节杆在第一调节件的底部上下移动，因此与调节杆固定连接的第三调节件随着在第一调节件内上下移动，则第三调节件与第二调节件之间的间隙会随着变小或者变大，将位于第二调节件和第三调节件之间的温度控制装置夹紧，实现温度控制装置的固定过程，因此通过第三调节件在第一调节件内的移动，实现不同型号的温度控制装置的更换和固定。
6.作为一种优选的实施方式，所述第一调节件包括从上到下一体成型的第一件体、第二件体和第三件体，所述第一件体和第三件体分别垂直设置在第二件体的顶部和底部且二者之间互相平行，所述第二调节件和第三调节件左侧分别与第二件体之间间隔设置，实
现了第二调节件和第三调节件与第一调节件之间的固定。
7.作为一种优选的实施方式，所述第三件体的右端开设有通孔，所述调节杆为螺杆，所述调节杆上螺纹连接有螺栓，所述螺栓位于第三件体和第三调节件之间，通过调节杆与螺栓的配合，实现了调节杆与第三件体之间位置高度的确定，在第三调节件随着调节杆到达合适高度之后，将螺栓在调节杆表面上移动到第三件体顶部位置，实现了螺杆与第三件体之间的相对固定，则调节杆的高度固定。
8.作为一种优选的实施方式，所述调节件的底部垂直且一体设置有连杆，所述连杆与第三件体底部之间间隔设置，所述连杆呈圆柱型，方便操作人员对调节杆的高度进行调整。
9.作为一种优选的实施方式，所述第二调节件底部的左右两侧和第三调节件顶部的左右两侧分别固定设置有挡板，所述温度控制装置位于第二调节件和第二调节件上的挡板内，使得温度控制装置与第二调节件和第三调节件之间的接触面积增大，使得第二调节件和第三调节件与温度控制装置之间的连接更加牢固。
10.作为一种优选的实施方式，所述第二件体右端的底部一体设置有安装板，所述第二调节件的顶部与安装板的底部之间固定连接所述安装板位于第二调节件顶部的中间位置，增大了第二件体与第二调节件之间的接触面积。
11.作为一种优选的实施方式，第三连接件的底部垂直且一体设置有套筒，所述调节杆顶部插入到套筒内且与套筒之间固定连接，实现了第三连接件与调节杆之间的固定。
12.采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：
13.在需要更换不同型号的温度控制装置时，将温度控制装置放在第二调节件和第三调节件之间，将调节杆在第一调节件的底部上下移动，因此与调节杆固定连接的第三调节件随着在第一调节件内上下移动，则第三调节件与第二调节件之间的间隙会随着变小或者变大，将位于第二调节件和第三调节件之间的温度控制装置夹紧，实现温度控制装置的固定过程，因此通过第三调节件在第一调节件内的移动，实现不同型号的温度控制装置的更换和固定。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为图1中调节组件的结构示意图；
17.图3为图2的侧视图。
18.图中，1-外壳；2-温度控制装置；3-调节组件；4-第一调节件；5-第二调节件；6-第三调节件；7-调节杆；8-第一件体；9-第二件体；10-第三件体；11-通孔；12-螺栓；13-连杆；14-挡板；15-安装板；16-套筒。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.如图1～图3所示，单片外延炉温度控制装置，包括外壳1和设置在外壳1内部的温度控制装置2，所述温度控制装置2与外壳1内部之间设置有调节组件3，所述调节组件3包括第一调节件4、第二调节件5和第三调节件6，所述第一调节件4的后侧与外壳1的内侧壁之间固定连接，所述第二调节件5和第三调节件6分别对称固定设置在第一调节件4前侧的顶部和底部且二者相对设置，所述温度控制装置位于第二调节件5和第三调节件6之间，所述第三调节件6的底部垂直且固定设置有调节杆7，所述调节杆7活动设置在第一调节件4内。
21.在需要更换不同型号的温度控制装置2时，将温度控制装置2放在第二调节件5和第三调节件6之间，将调节杆7在第一调节件1的底部上下移动，因此与调节杆7固定连接的第三调节6件随着在第一调节件4内上下移动，则第三调节件6与第二调节件5之间的间隙会随着变小或者变大，将位于第二调节件5和第三调节件6之间的温度控制装置2夹紧，实现温度控制装置2的固定过程，因此通过第三调节件6在第一调节件4内的移动，实现不同型号的温度控制装置2的更换和固定。
22.所述第一调节件4包括从上到下一体成型的第一件体8、第二件体9和第三件体10，所述第一件体8和第三件体10分别垂直设置在第二件体9的顶部和底部且二者之间互相平行，所述第二调节件5和第三调节件6左侧分别与第二件体9之间间隔设置，实现了第二调节件5和第三调节件6与第一调节件8之间的固定。所述第三件体10的右端开设有通孔11，所述调节杆7为螺杆，所述调节杆7上螺纹连接有螺栓12，所述螺栓12位于第三件体10和第三调节件6之间，通过调节杆7与螺栓12的配合，实现了调节杆7与第三件体10之间位置高度的确定，在第三调节件10随着调节杆7到达合适高度之后，将螺栓12在调节杆7表面上移动到第三件体10顶部位置，实现了螺杆与第三件体10之间的相对固定，则调节杆7的高度固定。所述调节件7的底部垂直且一体设置有连杆，所述连杆13与第三件体10底部之间间隔设置，所述连杆13呈圆柱型，方便操作人员对调节杆7的高度进行调整。
23.所述第二调节件5底部的左右两侧和第三调节件6顶部的左右两侧分别固定设置有挡板14，所述温度控制装置2位于第二调节件5和第二调节件5上的挡板14内，使得温度控制装置2与第二调节件5和第三调节件6之间的接触面积增大，使得第二调节件5和第三调节件6与温度控制装置2之间的连接更加牢固。所述第二件体9右端的底部一体设置有安装板15，所述第二调节件5的顶部与安装板15的底部之间固定连接所述安装板15位于第二调节件5顶部的中间位置，增大了第二件体9与第二调节5件之间的接触面积。第三调节件6的底部垂直且一体设置有套筒16，所述调节杆7顶部插入到套筒16内且与套筒16之间固定连接，实现了第三调节件6与调节杆7之间的固定。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本
实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有规定和限定，需要说明的是，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
25.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。