单片外延炉温度控制装置的制作方法

技术特征：
1.单片外延炉温度控制装置，包括外壳和设置在外壳内部的温度控制装置，其特征在于，所述温度控制装置与外壳内部之间设置有调节组件，所述调节组件包括第一调节件、第二调节件和第三调节件，所述第一调节件的后侧与外壳的内侧壁之间固定连接，所述第二调节件和第三调节件分别对称固定设置在第一调节件前侧的顶部和底部且二者相对设置，所述温度控制装置位于第二调节件和第三调节件之间，所述第三调节件的底部垂直且固定设置有调节杆，所述调节杆活动设置在第一调节件内。2.根据权利要求1所述的单片外延炉温度控制装置，其特征在于，所述第一调节件包括从上到下一体成型的第一件体、第二件体和第三件体，所述第一件体和第三件体分别垂直设置在第二件体的顶部和底部且二者之间互相平行，所述第二调节件和第三调节件左侧分别与第二件体之间间隔设置。3.根据权利要求2所述的单片外延炉温度控制装置，其特征在于，所述第三件体的右端开设有通孔，所述调节杆为螺杆，所述调节杆上螺纹连接有螺栓，所述螺栓位于第三件体和第三调节件之间。4.根据权利要求3所述的单片外延炉温度控制装置，其特征在于，所述调节件的底部垂直且一体设置有连杆，所述连杆与第三件体底部之间间隔设置，所述连杆呈圆柱型。5.根据权利要求4所述的单片外延炉温度控制装置，其特征在于，所述第二调节件底部的左右两侧和第三调节件顶部的左右两侧分别固定设置有挡板，所述温度控制装置位于第三调节件和第二调节件上的挡板内。6.根据权利要求5所述的单片外延炉温度控制装置，其特征在于，所述第二件体右端的底部一体设置有安装板，所述第二调节件的顶部与安装板的底部之间固定连接所述安装板位于第二调节件顶部的中间位置。7.根据权利要求6所述的单片外延炉温度控制装置，其特征在于，第三连接件的底部垂直且一体设置有套筒，所述调节杆顶部插入到套筒内且与套筒之间固定连接。

技术总结
本实用新型提出了单片外延炉温度控制装置，包括外壳和设置在外壳内部的温度控制装置，所述温度控制装置与外壳内部之间设置有调节组件，所述调节组件包括第一调节件、第二调节件和第三调节件，所述第一调节件的后侧与外壳的内侧壁之间固定连接，所述第二调节件和第三调节件分别对称固定设置在第一调节件前侧的顶部和底部且二者相对设置，所述温度控制装置位于第二调节件和第三调节件之间，所述第三调节件的底部垂直且固定设置有调节杆，所述调节杆活动设置在第一调节件内，借此，本实用新型具有方便及时更换温度控制装置的优点。型具有方便及时更换温度控制装置的优点。型具有方便及时更换温度控制装置的优点。


技术研发人员：沈恒文 金修领 郝小峰 吉双平 刘彤辉 程宣林
受保护的技术使用者：江苏艾匹克半导体设备有限公司
技术研发日：2021.08.17
技术公布日：2022/1/25