一种线性蒸发源的制作方法

技术特征：
1.一种线性蒸发源，主要包括二级坩埚、送丝机构和一级坩埚；二级坩埚为长条槽状体，二级坩埚的长度方向与镀膜幅宽方向一致；沿镀膜幅宽方向并排布置有2个以上的送丝机构，每个送丝机构的下方均设置有1个一级坩埚；二级坩埚位于一级坩埚的下方；一级坩埚的底部设置有熔液流管，熔液流管的另一端与二级坩埚侧壁相通，在熔液流管上设置有流量控制阀；在二级坩埚与一级坩埚之间设置有水冷挡板。2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于：线性蒸发源所在的蒸发镀膜机在镀膜路径的下游设置有膜厚检测装置，可对基底上沉积的膜层进行膜厚检测；蒸发镀膜机还设置有控制系统，控制系统会实时获取膜厚检测数据，并根据膜厚检测数据对线性蒸发源进行智能调控。3.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于：二级坩埚上设置有2组以上的电极，二级坩埚上不同段的加热可进行分段控制。4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于：一级坩埚将送丝机构输送来的丝材熔化成熔液，并通过熔液流管将熔液注入二级坩埚；熔液在二级坩埚中加热蒸发实现蒸发镀膜。5.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于：每个送丝机构均设置有调速电机，调速电机的转速受控制系统调控。6.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于：二级坩埚上不同段的加热均由控制系统根据膜厚检测数据进行单独调控。7.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于：每个一级坩埚与二级坩埚之间连通的熔液流管上的流量控制阀均由控制系统根据膜厚检测数据进行单独调控。8.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于：控制系统内预设有膜厚的目标分布数据和蒸发材料数据库；控制系统根据实时获取的膜厚检测数据与目标分布数据之间的差异以及蒸发材料的物性参数计算出二级坩埚各段的蒸发速率调整量；然后控制系统将基于蒸发速率调整量调控二级坩埚上不同段的加热温度、每个送丝机构的送丝速度以及熔液流管的流量控制阀，从而实现线性蒸发源的闭环智能可控。

技术总结
本实用新型公开了一种线性蒸发源，主要包括二级坩埚、送丝机构和一级坩埚；二级坩埚为长条槽状体，二级坩埚的长度方向与镀膜幅宽方向一致；沿镀膜幅宽方向并排布置有2个以上的送丝机构，每个送丝机构的下方均设置有1个一级坩埚；二级坩埚位于一级坩埚的下方；一级坩埚的底部设置有熔液流管，熔液流管的另一端与二级坩埚侧壁相通，在熔液流管上设置有流量控制阀；二级坩埚上设置有2组以上的电极，二级坩埚上不同段的加热可进行分段控制。一级坩埚将送丝机构输送来的丝材熔化成熔液，并通过熔液流管将熔液注入二级坩埚；熔液在二级坩埚中加热蒸发实现蒸发镀膜。热蒸发实现蒸发镀膜。热蒸发实现蒸发镀膜。


技术研发人员：李成林 郝明 杜雪峰
受保护的技术使用者：泊肃叶科技（沈阳）有限公司
技术研发日：2021.05.21
技术公布日：2022/1/25