一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机的制作方法

一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机
技术领域
1.本发明涉及电池加工技术领域，具体为一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机。


背景技术：

2.等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。
3.现有的perc电池片生产刻蚀机，一般都是直接在刻蚀室内部进行刻蚀，并没有进行真空处理，使得电池片在刻蚀的过程中，容易受外界环境(如：粉尘、水汽)的影响；现有的perc电池片生产刻蚀机，在将电池片放置在放置板上时，无法很好地对其定位以及固定；现有的perc电池片生产刻蚀机，没有防发呆装置，操作工容易在操作时走神或者发呆，从而容易发生事故。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机，用来解决电池片在刻蚀的过程中，容易受外界环境(如：粉尘、水汽)的影响、操作工容易在操作时走神或者发呆、无法很好地对电池片定位以及固定的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：包括设备主体，所述设备主体的内部分隔为上腔室与下腔室，所述上腔室的内部固定连接有密封板所述密封板的内部设置有隔断组件，所述密封板将上腔室分隔为预真空室与刻蚀室，所述预真空室的内侧壁固定连接有电控推杆，所述电控推杆的一端与放置板固定连接，所述放置板的内部设置有定位组件与固定组件，所述设备主体的顶部固定连接有真空泵，所述下腔室的内部固定连接有处理器，所述处理器的一侧设置有储气罐，所述储气罐的顶部固定连接有气泵，所述气泵的一端固定连接有输气管，所述输气管的另一端固定连接有分子泵，所述设备主体的外表面固定连接有控制面板，所述预真空室的侧壁铰接有密封门，所述密封门的外表面固定连接有真空检测仪，所述设备主体的外表面设置有防呆组件。
6.作为本发明的优选技术方案，所述隔断组件包括输送孔、滑槽、存放腔、电动推杆与隔离门，所述密封板的内部贯穿设置有输送孔，所述输送孔的侧壁开设有滑槽，所述输送孔的顶部开设有存放腔，所述存放腔的内部顶板中心处固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部固定连接有隔离门。
7.作为本发明的优选技术方案，所述输送孔的为矩形孔，所述滑槽分别开设在输送孔的左右侧壁以及底边的中心处，且相互连通，所述隔离门与滑槽活动连接，所述电动推杆的输出端与隔离门的顶部中心处固定连接，所述电动推杆与控制面板电性连接。
8.作为本发明的优选技术方案，所述定位组件包括活动腔、复位弹簧、电磁铁、活动板、通孔与定位板，所述放置板的内部开设有活动腔，所述活动腔的底部固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的一侧设置有电磁铁，所述电磁铁的顶部设置有活动板，所述放置板的顶部开设有通孔，所述活动板的顶部固定连接有定位板。
9.作为本发明的优选技术方案，所述活动腔通过通孔为外界相连通，所述通孔的数量有两组，且形状为“l”型，所述定位板的外表面尺寸与通孔的内径尺寸相匹配，所述复位弹簧的数量有两组，且分别在电磁铁的左右两侧，所述活动板为铁磁性材质。
10.作为本发明的优选技术方案，所述固定组件包括立柱、电动伸缩杆与控制按钮，所述放置板的顶部固定连接有立柱，所述立柱的底部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端固定连接有控制按钮。
11.作为本发明的优选技术方案，所述立柱的形状为“7”型，所述立柱、电动伸缩杆与控制按钮的数量有两组，所述电动伸缩杆与控制面板信号连接，所述控制按钮与电磁铁电性连接。
12.作为本发明的优选技术方案，所述防呆组件包括声光警报灯、控制开关与指示灯，所述设备主体的顶部固定连接有声光警报灯，所述设备主体的前端面固定连接有控制开关，所述控制开关的上方设置有指示灯。
13.作为本发明的优选技术方案，所述声光警报灯与处理器电性连接，所述控制开关与指示灯电性连接，所述指示灯与处理器电性连接，所述指示灯与控制开关的数量均为两组。
14.与现有技术相比，本发明提供了一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机，具备以下有益效果：
15.1、该一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机，通过设置的定位板能够很好地将电池片放置在电动伸缩杆的正下方，当放置完成后，启动电动伸缩杆，从而使得电动伸缩杆来挤压电池片，此时电动伸缩杆的控制按钮将先与电池片相接触，从而启动控制按钮，此时控制按钮将启动电磁铁，从而使得电磁铁来吸附活动板，以此来将定位板吸附到活动腔的内部，当刻蚀完成后，电动伸缩杆回到原来位置，此时控制按钮关闭，从而将电磁铁关闭，进而使得活动板在复位弹簧的弹力作用下回到原来位置，以此来方便下一次的定位。
16.2、该一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机，当电池片固定完成后，将密封门关闭，之后启动真空泵，从而来对预真空室来抽真空，之后根据真空检测仪来观察预真空室内部的真空情况，当真空值达到设定值时，将真空泵关闭，之后启动电动推杆，从而将隔离门拉起，以此来使得预真空室与刻蚀室相连通，再之后启动电控推杆，从而将放置板推进刻蚀室。
17.3、该一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机，当电池片进入刻蚀室时，通过气泵将储气罐内部的刻蚀气体输送到分子泵的内部，然后通过分子泵将刻蚀气体输送到刻蚀室内部，来对电池片进行刻蚀，当刻蚀完成后，通过真空泵将刻蚀室排空，之后电控推杆将放置板带回预真空室，之后将隔离门关闭，以此来将预真空室与刻蚀室隔开。
18.4、该一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机，通过处理器来随机的控制指示灯亮，当指示灯亮时，操作人员需要按下对应的控制开关以此来将指示灯关闭，若在指定的时间内，操作人员未按下控制开关，此时声光警报灯将发出警报，以此来防止操作人员发呆。
附图说明
19.图1为本发明设备主体内部结构示意图；
20.图2为本发明密封板立体结构示意图；
21.图3为本发明结构密封板内部示意图；
22.图4为本发明放置板立体结构示意图；
23.图5为本发明放置板内部结构示意图；
24.图6为本发明结构设备主体立体示意图。
25.图中：1、设备主体；2、上腔室；3、下腔室；4、密封板；41、输送孔；42、滑槽；43、存放腔；44、电动推杆；45、隔离门；5、预真空室；51、刻蚀室；6、电控推杆；7、放置板；71、活动腔；72、复位弹簧；73、电磁铁；74、活动板；75、通孔；76、定位板；77、立柱；78、电动伸缩杆；79、控制按钮；8、真空泵；9、处理器；10、储气罐；11、气泵；12、输气管；13、分子泵；14、控制面板；15、密封门；16、真空检测仪；17、声光警报灯；18、控制开关；19、指示灯。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.请参阅图1-6，本实施方案中：一种具有防呆功能的perc电池片生产刻蚀机,包括设备主体1，设备主体1的内部分隔为上腔室2与下腔室3，上腔室2的内部固定连接有密封板4密封板4的内部设置有隔断组件，密封板4将上腔室2分隔为预真空室5与刻蚀室51，预真空室5的内侧壁固定连接有电控推杆6，电控推杆6的一端与放置板7固定连接，放置板7的内部设置有定位组件与固定组件，设备主体1的顶部固定连接有真空泵8，下腔室3的内部固定连接有处理器9，处理器9的一侧设置有储气罐10，储气罐10的顶部固定连接有气泵11，气泵11的一端固定连接有输气管12，输气管12的另一端固定连接有分子泵13，设备主体1的外表面固定连接有控制面板14，预真空室5的侧壁铰接有密封门15，密封门15的外表面固定连接有真空检测仪16，设备主体1的外表面设置有防呆组件。
28.本实施例中，隔断组件包括输送孔41、滑槽42、存放腔43、电动推杆44与隔离门45，密封板4的内部贯穿设置有输送孔41，输送孔41的侧壁开设有滑槽42，输送孔41的顶部开设有存放腔43，存放腔43的内部顶板中心处固定连接有电动推杆44，电动推杆44的底部固定连接有隔离门45，输送孔41的为矩形孔，滑槽42分别开设在输送孔41的左右侧壁以及底边的中心处，且相互连通，隔离门45与滑槽42活动连接，电动推杆44的输出端与隔离门45的顶部中心处固定连接，电动推杆44与控制面板14电性连接，通过电动推杆44来带动隔离门45上下移动，以此来将预真空室5与刻蚀室51连通与隔离；通过设置的滑槽42，使得隔离门45
移动的更加平稳；定位组件包括活动腔71、复位弹簧72、电磁铁73、活动板74、通孔75与定位板76，放置板7的内部开设有活动腔71，活动腔71的底部固定连接有复位弹簧72，复位弹簧72的一侧设置有电磁铁73，电磁铁73的顶部设置有活动板74，放置板7的顶部开设有通孔75，活动板74的顶部固定连接有定位板76，活动腔71通过通孔75为外界相连通，通孔75的数量有两组，且形状为“l”型，定位板76的外表面尺寸与通孔75的内径尺寸相匹配，复位弹簧72的数量有两组，且分别在电磁铁73的左右两侧，活动板74为铁磁性材质，通过设置的定位板76能够很好地将电池片放置在电动伸缩杆78的正下方，固定组件包括立柱77、电动伸缩杆78与控制按钮79，放置板7的顶部固定连接有立柱77，立柱77的底部固定连接有电动伸缩杆78，电动伸缩杆78的底端固定连接有控制按钮79，立柱77的形状为“7”型，立柱77、电动伸缩杆78与控制按钮79的数量有两组，电动伸缩杆78与控制面板14信号连接，控制按钮79与电磁铁73电性连接，当放置完成后，启动电动伸缩杆78，从而使得电动伸缩杆78来挤压电池片，此时电动伸缩杆78的控制按钮79将先与电池片相接触，从而启动控制按钮79，此时控制按钮79将启动电磁铁73，从而使得电磁铁来73吸附活动板74，以此来将定位板76吸附到活动腔71的内部，当刻蚀完成后，电动伸缩杆78回到原来位置，此时控制按钮79关闭，从而将电磁铁73关闭，进而使得活动板74在复位弹簧72的弹力作用下回到原来位置，以此来方便下一次的定位；防呆组件包括声光警报灯17、控制开关18与指示灯19，设备主体1的顶部固定连接有声光警报灯17，设备主体1的前端面固定连接有控制开关18，控制开关18的上方设置有指示灯19，声光警报灯17与处理器9电性连接，控制开关18与指示灯19电性连接，指示灯19与处理器9电性连接，指示灯19与控制开关18的数量均为两组，通过处理器9来随机的控制指示灯19亮，当指示灯亮19时，操作人员需要按下对应的控制开关18，以此来将指示灯关闭，若在指定的时间内，操作人员未按下控制开关18，此时声光警报灯17将发出警报，以此来防止操作人员发呆。
29.本发明的工作原理及使用流程：通过设置的定位板76能够很好地将电池片放置在电动伸缩杆78的正下方，当放置完成后，启动电动伸缩杆78，从而使得电动伸缩杆78来挤压电池片，此时电动伸缩杆78的控制按钮79将先与电池片相接触，从而启动控制按钮79，此时控制按钮79将启动电磁铁73，从而使得电磁铁来73吸附活动板74，以此来将定位板76吸附到活动腔71的内部，当刻蚀完成后，电动伸缩杆78回到原来位置，此时控制按钮79关闭，从而将电磁铁73关闭，进而使得活动板74在复位弹簧72的弹力作用下回到原来位置，以此来方便下一次的定位，当电池片固定完成后，将密封门15关闭，之后启动真空泵8，从而来对预真空室5来抽真空，之后根据真空检测仪16来观察预真空室5内部的真空情况，当真空值达到设定值时，将真空泵8关闭，之后启动电动推杆44，从而将隔离门45拉起，以此来使得预真空室5与刻蚀室51相连通，再之后启动电控推杆6，从而将放置板7推进刻蚀室51，之后通过气泵11将储气罐10内部的刻蚀气体输送到分子泵13的内部，然后通过分子泵13将刻蚀气体输送到刻蚀室51内部，来对电池片进行刻蚀，当刻蚀完成后，通过真空泵8将刻蚀室51排空，之后电控推杆6将放置板7带回预真空室5，之后将隔离门45关闭，以此来将预真空室5与刻蚀室51隔开，通过处理器9来随机的控制指示灯19亮，当指示灯19亮时，操作人员需要按下对应的控制开关18，以此来将指示灯19关闭，若在指定的时间内，操作人员未按下控制开关18，此时声光警报灯17将发出警报，以此来防止操作人员发呆。
30.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。