一种锗烷气体干燥单元的制作方法

1.本实用新型涉及气体制备技术领域，尤其涉及一种锗烷气体干燥单元。


背景技术：

2.锗烷为无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体。热稳定性差，160～180℃时锗烷缓慢氧化，大约在280℃就能检测到锗烷分解为锗和氢，在350℃锗烷几乎全部分解成单质锗和氢气；锗烷的自催化性很强，一旦分解形成了金属覆盖膜，就会急剧分解，故其分解爆炸危险性很高。锗烷一般通过化学还原法、电化学反应法、等离子合成法合成，在半导体工业上有重要的用途。
3.在锗烷的制备过程中需要对锗烷进行干燥，大部分锗烷干燥装置对锗烷的干燥效果不显著，且不易对干燥后的仪器进行拆卸清洗，不易对干燥剂及时进行更换，提高了锗烷干燥的时间，这很大的影响了锗烷干燥的效率。
4.因此，有必要提供一种新的锗烷气体干燥单元解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种效果显著、易拆卸清洗更换的锗烷气体干燥单元。
6.本实用新型提供的锗烷气体干燥单元包括：进气管、冷却管、干燥瓶、干燥剂和收集瓶，所述进气管一端固定连接有冷却管，且进气管与冷却管连通，所述冷却管侧面设有干燥瓶，且冷却管与干燥瓶连通，所述干燥瓶内部填装有干燥剂，且干燥瓶表面开设有波形槽，所述干燥瓶一端设有收集瓶，且干燥瓶与收集瓶连通，所述冷却管两端壁内设有可循环冷却的冷却循环装置，所述干燥瓶两侧表面对称设有可便于拆卸的拆卸装置，所述干燥瓶两侧位于拆卸装置之间对称设有可控制升降的控制装置，所述控制装置之间设有可提高气密性的夹持装置。
7.优选的，所述冷却循环装置包括冷却槽、进水管、水泵、安装箱、循环管、风机和出水管，所述冷却管壁内设有冷却槽，所述冷却槽一侧固定连接有进水管，且进水管与冷却槽连通，所述冷却管下方设有安装箱，所述安装箱内部固定安装有循环管，所述安装箱内部位于循环管下方固定安装有风机，所述循环管进水端与进水管连通，所述进水管与循环管之间配合设有水泵，所述冷却槽远离进水管一端固定连通有出水管，且出水管与循环管出水端连通。
8.优选的，所述拆卸装置包括拆卸头、安装槽、旋钮、旋转轴、锥齿轮组、连接轴、蜗杆、同心轴、旋转齿轮、齿板、
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、密闭膜、第一滑块、滑行槽和安装管，所述冷却管与干燥瓶接触口位置表面套设有安装管，所述安装管内部对称开设有安装槽，所述安装管表面位于安装槽上方转动安装有旋转轴，且旋转轴一端固定连接有旋钮，所述旋转轴远离旋钮一端配合连接有锥齿轮组，所述锥齿轮组表面配合连接有连接轴，所述安装槽内部位于蜗杆上方转动安装有同心轴，且同心轴与连接轴之间通过蜗杆传动连接，所述同心轴表面位于蜗
杆一侧固定安装有旋转齿轮，所述安装管表面对应冷却管与干燥瓶接触口位置对称滑动穿插有拆卸头，所述拆卸头一侧表面开设有滑行槽，所述安装管内部对应滑行槽位置固定安装有第一滑块，且第一滑块与滑行槽滑动连接，所述拆卸头远离滑行槽一侧固定安装有齿板，且齿板与蜗杆啮合连接，所述拆卸头底面固定连接有密闭膜。
9.优选的，所述拆卸头底面呈圆弧状。
10.优选的，所述控制装置包括控制板、螺纹杆、滑动杆、扭帽、滑动块、滑动槽、第二滑块和连接杆，所述干燥瓶两侧顶面对称固定有控制板，所述控制板内部转动安装有螺纹杆，且螺纹杆一端固定连接有扭帽，所述控制板内部位于螺纹杆一侧固定安装有滑动杆，所述螺纹杆表面螺纹啮合连接有滑动块，且滑动块与滑动杆滑动穿接，所述滑动块表面开设有滑动槽，所述滑动槽内部设有连接杆，所述连接杆表面固定安装有第二滑块，且第二滑块与滑动槽滑动连接。
11.优选的，所述夹持装置包括夹持板、伸缩弹簧和橡胶膜，所述连接杆之间固定连接有夹持板，且夹持板之间通过伸缩弹簧弹性连接，所述夹持板内部表面固定安装有橡胶膜。
12.与相关技术相比较，本实用新型提供的锗烷气体干燥单元具有如下有益效果：
13.本实用新型提供一种锗烷气体干燥单元，气体在通过冷却循环装置和干燥剂的作用下，显著提升了气体的干燥效果，通过拆卸装置的使用，便于对干燥瓶解除固定连通，便于对仪器进行清洗，通过控制装置、夹持装置和波形槽的配合下，便于对干燥瓶内的干燥剂进行及时的更换，从而减少了气体干燥的时间，提高了气体干燥的效率。
附图说明
14.图1为本实用新型提供的锗烷气体干燥单元的一种较佳实施例的结构示意图；
15.图2为图1所示的干燥瓶的结构示意图；
16.图3为图1所示的冷却循环装置的结构示意图；
17.图4为图1所示的拆卸装置的结构示意图；
18.图5为图4所示的拆卸头的结构示意图；
19.图6为图1所示的控制装置的结构示意图；
20.图7为图1所示的夹持装置的结构示意图。
21.图中标号：1、进气管；2、冷却管；3、干燥瓶；4、干燥剂；5、收集瓶；6、冷却循环装置；61、冷却槽；62、进水管；63、水泵；64、安装箱；65、循环管；66、风机；67、出水管；7、拆卸装置；70、拆卸头；71、安装槽；72、旋钮；73、旋转轴；74、锥齿轮组；75、连接轴；76、蜗杆；77、同心轴；78、旋转齿轮；79、齿板；711、密闭膜；712、第一滑块；713、滑行槽；714、安装管；8、控制装置；81、控制板；82、螺纹杆；83、滑动杆；84、扭帽；85、滑动块；86、滑动槽；87、第二滑块；88、连接杆；9、夹持装置；91、夹持板；92、伸缩弹簧；93、橡胶膜；10、波形槽。
具体实施方式
22.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
23.请结合参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7，其中，图1为本实用新型提供的锗烷气体干燥单元的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的干燥瓶的结构示意图；图3为图1所示的冷却循环装置的结构示意图；图4为图1所示的拆卸装置的结构示意图；图5为
图4所示的拆卸头的结构示意图；图6为图1所示的控制装置的结构示意图；图7为图1所示的夹持装置的结构示意图。包括：进气管1、冷却管2、干燥瓶3、干燥剂4和收集瓶5。
24.在具体实施过程中，如图1和图2所示，所述进气管1一端固定连接有冷却管2，且进气管1与冷却管2连通，所述冷却管2侧面设有干燥瓶3，且冷却管2与干燥瓶3连通，所述干燥瓶3内部填装有干燥剂4，且干燥瓶3表面开设有波形槽10，所述干燥瓶3一端设有收集瓶5，且干燥瓶3与收集瓶5连通，所述冷却管2两端壁内设有可循环冷却的冷却循环装置6，所述干燥瓶3两侧表面对称设有可便于拆卸的拆卸装置7，所述干燥瓶3两侧位于拆卸装置7之间对称设有可控制升降的控制装置8，所述控制装置8之间设有可提高气密性的夹持装置9。
25.在使用此装置时，气体通过进气管1进入冷却管2内，通过冷却循环装置6使气体中的水分接触冷却管2内遇冷液化，随后气体经过干燥瓶3中的干燥剂4进行干燥，后经过收集瓶5进行排出收集，通过拆卸装置7解除干燥瓶3与装置的连通，从而便于工作人员进行拆卸清洗，通过扭动控制装置8带动夹持装置9升降，从而解除波形槽10的紧密贴合，便于工作人员对干燥剂4进行更换，从而提高了气体干燥的效率。
26.参考图3所示，所述冷却循环装置6包括冷却槽61、进水管62、水泵63、安装箱64、循环管65、风机66和出水管67，所述冷却管2壁内设有冷却槽61，所述冷却槽61一侧固定连接有进水管62，且进水管62与冷却槽61连通，所述冷却管2下方设有安装箱64，所述安装箱64内部固定安装有循环管65，所述安装箱64内部位于循环管65下方固定安装有风机66，所述循环管65进水端与进水管62连通，所述进水管62与循环管65之间配合设有水泵63，所述冷却槽61远离进水管62一端固定连通有出水管67，且出水管67与循环管65出水端连通。
27.通过水泵63的运行，使水通过进水管62流入循环管65内，通过风机66对水进行减温处理，后经过出水管67流入到冷却槽61内，从而对制备的气体进行冷却，使气体中的水分液化成液体，与气体分离，后经过干燥处理，提高了气体的干燥效率。
28.参考图4所示，所述拆卸装置7包括拆卸头70、安装槽71、旋钮72、旋转轴73、锥齿轮组74、连接轴75、蜗杆76、同心轴77、旋转齿轮78、齿板79、
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710’、密闭膜711、第一滑块712、滑行槽713和安装管714，所述冷却管2与干燥瓶3接触口位置表面套设有安装管714，所述安装管714内部对称开设有安装槽71，所述安装管714表面位于安装槽71上方转动安装有旋转轴73，且旋转轴73一端固定连接有旋钮72，所述旋转轴73远离旋钮72一端配合连接有锥齿轮组74，所述锥齿轮组74表面配合连接有连接轴75，所述安装槽71内部位于蜗杆76上方转动安装有同心轴77，且同心轴77与连接轴75之间通过蜗杆76传动连接，所述同心轴77表面位于蜗杆76一侧固定安装有旋转齿轮78，所述安装管714表面对应冷却管2与干燥瓶3接触口位置对称滑动穿插有拆卸头70，所述拆卸头70一侧表面开设有滑行槽713，所述安装管714内部对应滑行槽713位置固定安装有第一滑块712，且第一滑块712与滑行槽713滑动连接，所述拆卸头70远离滑行槽713一侧固定安装有齿板79，且齿板79与蜗杆76啮合连接，所述拆卸头70底面固定连接有密闭膜711。
29.通过扭动旋钮72带动旋转轴73转动，使锥齿轮组74转动，从而带动蜗杆76转动，从而带动同心轴77和旋转齿轮78转动，齿板79通过啮合连接带动拆卸头70升降，第一滑块712在滑行槽713上滑动提高了装置升降的稳定性，从而解除干燥瓶3的固定连通，便于工作人员进行拆卸清洗，通过密闭膜711保证了装置的气密性。
30.参考图5所示，所述拆卸头70底面呈圆弧状，使拆卸头70和密闭膜711与装置接触
口紧密接触，保障装置的气密性。
31.参考图6所示，所述控制装置8包括控制板81、螺纹杆82、滑动杆83、扭帽84、滑动块85、滑动槽86、第二滑块87和连接杆88，所述干燥瓶3两侧顶面对称固定有控制板81，所述控制板81内部转动安装有螺纹杆82，且螺纹杆82一端固定连接有扭帽84，所述控制板81内部位于螺纹杆82一侧固定安装有滑动杆83，所述螺纹杆82表面螺纹啮合连接有滑动块85，且滑动块85与滑动杆83滑动穿接，所述滑动块85表面开设有滑动槽86，所述滑动槽86内部设有连接杆88，所述连接杆88表面固定安装有第二滑块87，且第二滑块87与滑动槽86滑动连接。
32.通过扭动扭帽84带动螺纹杆82转动，从而带动滑动块85在滑动杆83上滑动，从而带动连接杆88升降，通过第二滑块87在滑动槽86上滑动实现了连接杆88的自由伸缩，从而控制后续装置的固定与解除。
33.参考图7所示，所述夹持装置9包括夹持板91、伸缩弹簧92和橡胶膜93，所述连接杆88之间固定连接有夹持板91，且夹持板91之间通过伸缩弹簧92弹性连接，所述夹持板91内部表面固定安装有橡胶膜93。
34.通过夹持板91的升降与干燥瓶3紧密接触，夹持板91拉伸伸缩弹簧92，通过伸缩弹簧92拉伸的弹性，使橡胶膜93与干燥瓶3上的波形槽10紧密接触，保证了干燥瓶3的气密性，实现干燥瓶3的拆卸，便于工作人员对干燥剂4进行更换，从而提高了气体的干燥效率。
35.本实用新型提供的锗烷气体干燥单元的工作原理如下：在使用此装置时，气体通过进气管1进入冷却管2内，通过水泵63的运行，使水通过进水管62流入循环管65内，通过风机66对水进行减温处理，后经过出水管67流入到冷却槽61内，从而对制备的气体进行冷却，使气体中的水分液化成液体，与气体分离，随后气体经过干燥瓶3中的干燥剂4进行干燥，后经过收集瓶5进行排出收集，通过扭动旋钮72带动旋转轴73转动，使锥齿轮组74转动，从而带动蜗杆76转动，从而带动同心轴77和旋转齿轮78转动，齿板79通过啮合连接带动拆卸头70升降，第一滑块712在滑行槽713上滑动提高了装置升降的稳定性，从而解除干燥瓶3的固定连通，便于工作人员进行拆卸清洗，通过密闭膜711保证了装置的气密性，通过扭动扭帽84带动螺纹杆82转动，从而带动滑动块85在滑动杆83上滑动，从而带动连接杆88升降，通过第二滑块87在滑动槽86上滑动实现了连接杆88的自由伸缩，通过夹持板91的升降与干燥瓶3紧密接触，夹持板91拉伸伸缩弹簧92，通过伸缩弹簧92拉伸的弹性，使橡胶膜93与干燥瓶3上的波形槽10紧密接触，保证了干燥瓶3的气密性，实现干燥瓶3的拆卸，便于工作人员对干燥剂4进行更换，从而提高了气体的干燥效率。
36.本实用新型中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。
37.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。