一种探针卡针脚修复整形装置的制作方法

1.本发明涉及探针卡加工装置领域，尤其涉及一种探针卡针脚修复整形装置。


背景技术：

2.探针卡上有很多针脚，针脚在使用过程中可能受力变形弯曲，异位的针脚无法再与芯片触点对位，导致使用中测不到电信号。探针卡针脚大小约20~30μm，对异位针脚实施修复整形的操作难度大，成功率低，导致探针卡报废率较高。


技术实现要素：

3.本发明主要解决的技术问题是提供一种探针卡针脚修复整形装置，在探针卡针脚位稳定加载麦拉片，在显微镜光路上建立基准的触点参考点位，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。
4.为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构，所述折射补偿机构的正下方水平布置有麦拉片载具，所述麦拉片载具设置在水平布置的光轴的一端外周面，所述光轴通过校准机构活动架设在麦拉校准座上。
5.在本发明一个较佳实施例中，所述镜座由支架和三轴滑台组成，所述支架顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台上安装有显微镜。
6.在本发明一个较佳实施例中，所述折射补偿机构由挂板、加载气缸、补偿滑板组成，所述挂板设置在显微镜镜头处，所述挂板的底面设置有由加载气缸驱动的补偿滑板，所述补偿滑板上设置有折射补偿玻璃片卡槽，所述折射补偿玻璃片卡槽匹配在所述显微镜的光路上。
7.在本发明一个较佳实施例中，所述气动夹具由探针卡压板和升降气缸组成，所述升降气缸竖直向上内嵌于探针卡托架内，所述探针卡压板水平设置在探针卡托架的正上方并且与升降气缸相连。
8.在本发明一个较佳实施例中，所述校准机构由三轴微调平台、转接板、轴承、拨轮、同步凸轮、检测开关组成，所述麦拉校准座上设置三轴微调平台，所述三轴微调平台连接转接板，所述转接板上设置轴承，所述轴承套接光轴，所述光轴的另一端同轴设置拨轮和同步凸轮，所述转接板上设置有匹配同步凸轮的检测开关，所述检测开关通过电磁阀与折射补偿机构电性连接。
9.在本发明一个较佳实施例中，所述作业台下方设置有深沟球轴承，所述深沟球轴
承下设连接有两轴平移滑台，所述两轴平移滑台设置有x轴向螺旋测微器、y轴向螺旋测微器以及角度调节螺旋测微器，所述两轴平移滑台边缘为每个x轴向螺旋测微器、y轴向螺旋测微器、角度调节螺旋测微器配备反向外接的复位弹簧。
10.在本发明一个较佳实施例中，所述轴承由同心结构的双头轴座和四个角接触轴承组成，所述同心结构的双头轴座安装在转接板上，所述角接触轴承两两同轴固定在同心结构的双头轴座的两端。
11.在本发明一个较佳实施例中，所述作业台上开设有槽孔，所述槽孔内配有限位螺栓，所述探针卡托架通过限位螺栓固定在槽孔内。
12.在本发明一个较佳实施例中，所述同心结构的双头轴座的外端设置有一对限位挡杆，所述光轴上设置有与所述限位挡杆配合的摆杆，所述摆杆在限位挡杆之间随拨轮有限摆动。
13.在本发明一个较佳实施例中，所述三轴滑台上设置有一对球头控制杆，所述球头控制杆对称布置在显微镜两侧。
14.本发明的有益效果是：本发明提供的一种探针卡针脚修复整形装置，在探针卡针脚位稳定加载麦拉片，在显微镜光路上建立基准的触点参考点位，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。
附图说明
15.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1 是本发明一种探针卡针脚修复整形装置的一较佳实施例的结构图；图2是本发明一种探针卡针脚修复整形装置的一较佳实施例的折射补偿机构结构图；图3 是本发明一种探针卡针脚修复整形装置的一较佳实施例的补偿滑板结构图；图4 是本发明一种探针卡针脚修复整形装置的一较佳实施例的轴承结构图。
具体实施方式
16.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
17.如图1-4所示，本发明实施例包括：一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台1、镜座2、麦拉校准座3、探针卡托架4、气动夹具5、显微镜6、折射补偿机构7、麦拉片载具8、光轴9、校准机构10，所述作业台1外侧配套设置镜座2和麦拉校准座3，所述作业台1台面两侧对称布置一对探针卡托架4，所述探针卡托架4集成有气动夹具5，所述探针卡托架4之间竖直向下布置有设置在镜座2上的显微
镜6，所述显微镜6镜头处外挂有折射补偿机构7，所述折射补偿机构7的正下方水平布置有麦拉片载具8，所述麦拉片载具8设置在水平布置的光轴9的一端外周面，所述光轴9通过校准机构10活动架设在麦拉校准座3上。
18.其中，所述镜座2由支架21和三轴滑台22组成，所述支架21顶端安装有三轴滑台22，所述三轴滑台22上安装有显微镜6。
19.进一步的，所述折射补偿机构7由挂板71、加载气缸72、补偿滑板73组成，所述挂板71设置在显微镜6镜头处，所述挂板71的底面设置有由加载气缸72驱动的补偿滑板73，所述补偿滑板73上设置有折射补偿玻璃片卡槽731，所述折射补偿玻璃片卡槽731匹配在所述显微镜6的光路上。
20.进一步的，所述气动夹具5由探针卡压板51和升降气缸52组成，所述升降气缸52竖直向上内嵌于探针卡托架4内，所述探针卡压板51水平设置在探针卡托架4的正上方并且与升降气缸52相连。
21.进一步的，所述校准机构10由三轴微调平台101、转接板102、轴承103、拨轮104、同步凸轮105、检测开关106组成，所述麦拉校准座3上设置三轴微调平台101，所述三轴微调平台101连接转接板102，所述转接板102上设置轴承103，所述轴承103套接光轴9，所述光轴9的另一端同轴设置拨轮104和同步凸轮105，所述转接板102上设置有匹配同步凸轮105的检测开关106，所述检测开关106通过电磁阀与折射补偿机构7电性连接。
22.进一步的，所述作业台1下方设置有深沟球轴承91，所述深沟球轴承91下设连接有两轴平移滑台92，所述两轴平移滑台92设置有x轴向螺旋测微器93、y轴向螺旋测微器94以及角度调节螺旋测微器95，所述两轴平移滑台92边缘为每个x轴向螺旋测微器93、y轴向螺旋测微器94、角度调节螺旋测微器95配备反向外接的复位弹簧96。
23.进一步的，所述轴承103由同心结构的双头轴座1031和四个角接触轴承1032组成，所述同心结构的双头轴座1031安装在转接板102上，所述角接触轴承1032两两同轴固定在同心结构的双头轴座1031的两端。
24.进一步的，所述作业台1上开设有槽孔1001，所述槽孔1001内配有限位螺栓，所述探针卡托架4通过限位螺栓固定在槽孔1001内。
25.进一步的，所述同心结构的双头轴座1031的外端设置有一对限位挡杆10310，所述光轴9上设置有与所述限位挡杆10310配合的摆杆10311，所述摆杆10311在限位挡杆10310之间随拨轮104有限摆动。
26.进一步的，所述三轴滑台22上设置有一对球头控制杆221，所述球头控制杆221对称布置在显微镜6两侧。
27.本装置的使用方法是，将存在针脚异位问题的探针卡手动放上探针卡托架4，粗略调节探针卡pcb板面位置，使其水平摆放，然后通过电磁阀开关201控制气动夹具5将探针卡的pcb压在探针卡托架4上；接着，根据所要修复的探针卡，找到相应的麦拉片，麦拉片具有原始的触点点位，将麦拉片紧贴在所述麦拉片载具8上，触点点位须保证全部处在显微镜6成像范围内的光路上；麦拉片安装到位后，操作拨轮104顺时针旋转，使麦拉片载具8下翻至水平位，此时
麦拉片借助校准机构10和两轴平移滑台92进行手动对位操作，调教x、y、z轴以及偏转角度，使探针卡的pcb板面以及麦拉片的平面绝对水平、探针卡的针脚与麦拉片上所标记的触点点位在显微镜6的竖直光路方向一一对应、并且麦拉片与探针卡针脚的竖直方向距离无线接近为止；至此，根据麦拉片提供的标准触点点位，找出显微镜6目镜中观察到的异位针脚，并实施整形修复，修复时需要通过拨动拨轮104来撤走麦拉片，修复一定程度后需要再次拨动拨轮104来加载麦拉片，反复对照直至修复完成；由于麦拉片对位过程中，麦拉片材料对光具有一定折射影响，当撤走麦拉片实施修复时，所述同步凸轮105恰好能接触到检测开关106，通过检测开关106的电信号能控制电磁阀通断使加载气缸72将装载有玻璃片的补偿滑板73推动到显微镜6光路上，以此来对撤走麦拉片引起的折射影响进行补偿，恢复原有光路，使显微镜6成像保持清晰；综上所述，本发明提供了一种探针卡针脚修复整形装置，在探针卡针脚位稳定加载麦拉片，在显微镜6光路上建立基准的触点参考点位，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。
28.以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。