一种晶片抛光机边导轮拆卸装置的制作方法

1.本实用新型涉及边导轮拆卸技术领域，具体为一种晶片抛光机边导轮拆卸装置。


背景技术：

2.在使用日本不二越23自动抛光线生产过程中，spm抛光机在抛光过程中由于边导轮长期受到陶瓷盘的大力挤压，所以一定时间之后需要更换边导轮，但是边导轮是由pom外圈和不锈钢轴承座通过过盈配合紧密安装在一起的，更换边导轮时只需更换外圈的pom层即可。现在更换边导轮外圈是通过皮锤敲击边导轮pom层使之与不锈钢轴承座分离来达到拆卸的目的。此方式十分费力，而且耗时较长，敲击不慎有可能会损伤边导轮的不锈钢轴承座。由于一条抛光线有20个边导轮，更换一遍需要耗费较长时间，非常影响设备的生产时间，为此我们提出一种晶片抛光机边导轮拆卸装置用于解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，包括地脚，所述地脚的顶部固定安装有治具固定板，所述治具固定板的顶部四角固定安装有安装四根安装支柱，所述安装支柱的顶部固定安装有直线轴承固定板，所述直线轴承固定板上固定套接有直线轴承，所述直线轴承同轴滑动内套有导向轴，所述导向轴的底部固定安装有分离压板，所述分离压板的顶部中心处固定安装有压板连接套，所述分离压板的底部设有边导轮，所述边导轮的底部同轴摩擦连接有边导轮治具，所述边导轮治具的底部同轴心固定安装在治具固定板上，所述压板连接套的顶部同轴心固定安装有浮动接头，所述浮动接头的顶部同轴心固定连接有推力气缸，所述推力气缸的底部两个固定安装有气缸支撑板，所述气缸支撑板的底部固定安装在直线轴承固定板上，所述推力气缸的顶部一侧固定安装有排气节流阀，所述治具固定板的一侧固定安装有运行按钮。
5.优选的，所述边导轮由边导轮不锈钢轴承座和边导轮pom外圈通过过盈配合紧密安装，所述边导轮不锈钢轴承座同轴摩擦外套有边导轮pom外圈。
6.优选的，所述边导轮治具的底部通过螺栓同轴心固定安装在治具固定板上，所述治具固定板和直线轴承固定板之间通过四角的四根安装支柱由螺栓紧固安装。
7.优选的，所述排气节流阀在推力气缸的同侧面上下位置固定安装有两个，所述地脚在治具固定板的四角固定安装有四个。
8.优选的，所述运行按钮在治具固定板的同侧面的两侧位置固定安装有两个。
9.优选的，所述直线轴承固定板的中心位置处贯穿设有圆形的通孔并且通孔的孔径大于等于浮动接头的直径。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提高了边导轮拆卸的专用工具，把边导轮固定在治具上，使用大推力气缸将边导轮的pom层和不锈钢轴承座强制分
离。通过排气节流阀无级调节气缸动作速度，保持分离速度平稳，采用过滤的压缩空气，保持洁净，无污染；大大提高边导轮拆卸的速度，减少了人力成本，同时也保证了边导轮在拆卸时不会受到损伤。
附图说明
11.图1为本实用新型结构示意图；
12.图2为本实用新型中压板连接套剖视后结构示意图；
13.图3为本实用新型拆卸边导轮完成后结构示意图；
14.图4为本实用新型边导轮a
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a处剖视结构示意图。
15.图中：边导轮不锈钢轴承座1、边导轮pom外圈2、边导轮3、边导轮治具 4、分离压板5、导向轴6、治具固定板7、压板连接套8、推力气缸9、浮动接头10、安装支柱11、气缸支撑板12、直线轴承固定板13、直线轴承14、地脚 15、排气节流阀16、运行按钮17。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，包括地脚15，地脚15的顶部固定安装有治具固定板7，治具固定板7的顶部四角固定安装有安装四根安装支柱11，安装支柱11的顶部固定安装有直线轴承固定板13，直线轴承固定板13上固定套接有直线轴承14，直线轴承14同轴滑动内套有导向轴6，导向轴6的底部固定安装有分离压板5，分离压板5的顶部中心处固定安装有压板连接套8，分离压板5的底部设有边导轮3，边导轮 3的底部同轴摩擦连接有边导轮治具4，边导轮治具4的底部同轴心固定安装在治具固定板7上，压板连接套8的顶部同轴心固定安装有浮动接头10，浮动接头10的顶部同轴心固定连接有推力气缸9，推力气缸9的底部两个固定安装有气缸支撑板12，气缸支撑板12的底部固定安装在直线轴承固定板13上，推力气缸9的顶部一侧固定安装有排气节流阀16，治具固定板7的一侧固定安装有运行按钮17。
18.如图4所示，边导轮3由边导轮不锈钢轴承座1和边导轮pom外圈2通过过盈配合紧密安装，边导轮不锈钢轴承座1同轴摩擦外套有边导轮pom外圈2。
19.如图1所示，边导轮治具4的底部通过螺栓同轴心固定安装在治具固定板7 上，治具固定板7和直线轴承固定板13之间通过四角的四根安装支柱11由螺栓紧固安装。排气节流阀16在推力气缸9的同侧面上下位置固定安装有两个，地脚15在治具固定板7的四角固定安装有四个。
20.如图2所示，运行按钮17在治具固定板7的同侧面的两侧位置固定安装有两个。
21.如图1所示，直线轴承固定板13的中心位置处贯穿设有圆形的通孔并且通孔的孔径大于等于浮动接头10的直径。
22.工作原理：本实用新型使用时把需要拆卸的边导轮3放置到边导轮治具4 上，两只手各按一个运行按钮25，电磁阀控制压缩空气充入推力气缸9上腔体，推动推力气缸9活塞
杆向下，推动浮动接头10下端的压板连接套8和分离压板 5下压，接触到边导轮3后继续下压，直到下降到图3状态后，边导轮pom外圈 2被推出到下方，边导轮不锈钢轴承座1任然停留在原地，此时边导轮pom外圈 2已经和边导轮不锈钢轴承座1分离，拆卸边导轮3已经完成，电磁阀控制压缩空气充入推力气缸9下腔体，压板连接套8和分离压板5向上返回原位，取出拆卸好的边导轮pom外圈2已经和边导轮不锈钢轴承座1即可完成整个操作。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，包括地脚(15)，其特征在于：所述地脚(15)的顶部固定安装有治具固定板(7)，所述治具固定板(7)的顶部四角固定安装有安装四根安装支柱(11)，所述安装支柱(11)的顶部固定安装有直线轴承固定板(13)，所述直线轴承固定板(13)上固定套接有直线轴承(14)，所述直线轴承(14)同轴滑动内套有导向轴(6)，所述导向轴(6)的底部固定安装有分离压板(5)，所述分离压板(5)的顶部中心处固定安装有压板连接套(8)，所述分离压板(5)的底部设有边导轮(3)，所述边导轮(3)的底部同轴摩擦连接有边导轮治具(4)，所述边导轮治具(4)的底部同轴心固定安装在治具固定板(7)上，所述压板连接套(8)的顶部同轴心固定安装有浮动接头(10)，所述浮动接头(10)的顶部同轴心固定连接有推力气缸(9)，所述推力气缸(9)的底部两个固定安装有气缸支撑板(12)，所述气缸支撑板(12)的底部固定安装在直线轴承固定板(13)上，所述推力气缸(9)的顶部一侧固定安装有排气节流阀(16)，所述治具固定板(7)的一侧固定安装有运行按钮(17)。2.根据权利要求1所述的一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，其特征在于：所述边导轮(3)由边导轮不锈钢轴承座(1)和边导轮pom外圈(2)通过过盈配合紧密安装，所述边导轮不锈钢轴承座(1)同轴摩擦外套有边导轮pom外圈(2)。3.根据权利要求1所述的一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，其特征在于：所述边导轮治具(4)的底部通过螺栓同轴心固定安装在治具固定板(7)上，所述治具固定板(7)和直线轴承固定板(13)之间通过四角的四根安装支柱(11)由螺栓紧固安装。4.根据权利要求1所述的一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，其特征在于：所述排气节流阀(16)在推力气缸(9)的同侧面上下位置固定安装有两个，所述地脚(15)在治具固定板(7)的四角固定安装有四个。5.根据权利要求1所述的一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，其特征在于：所述运行按钮(17)在治具固定板(7)的同侧面的两侧位置固定安装有两个。6.根据权利要求1所述的一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，其特征在于：所述直线轴承固定板(13)的中心位置处贯穿设有圆形的通孔并且通孔的孔径大于等于浮动接头(10)的直径。

技术总结
本实用新型公开了一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，包括地脚，地脚的顶部固定安装有治具固定板，治具固定板的顶部四角固定安装有安装四根支柱，安装支柱的顶部固定安装有直线轴承固定板，直线轴承固定板上固定套接有直线轴承，直线轴承同轴滑动内套有导向轴，导向轴的底部固定安装有分离压板，分离压板的顶部中心处固定安装有压板连接套，分离压板的底部设有边导轮，边导轮的底部同轴摩擦连接有边导轮治具，边导轮治具的底部同轴心固定安装在治具固定板上，压板连接套的顶部同轴心固定安装有浮动接头，浮动接头的顶部同轴心固定连接有推力气缸。气缸。气缸。


技术研发人员：黄盛军 菅明辉 高晟淇 尹文宝 王彦君 孙晨光
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2020.12.21
技术公布日：2021/12/16