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一种真空镀膜装置的制作方法

2021-12-15 12:06:00 来源:中国专利 TAG:


1.本技术涉及真空镀膜技术的领域,尤其是涉及一种真空镀膜装置。


背景技术:

2.在话筒生产过程中,通常采用真空镀膜装置在塑料材质的话筒外壳的内壁上镀一层镍,镍涂层是一种导电涂层,使得话筒具有电磁波抗干扰性。话筒外壳镀镍的主要原理为在真空环境下充入氩气,利用氩气放电产生气体电离,其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体,使得阴极靶体产生分子反应,阴极靶体产生分子反应过程中溅射出的镍分子飞向话筒外壳内壁表面沉积成薄膜。其中,阴极靶体指镍。
3.目前,真空镀膜装置包括箱体,箱体的一侧壁上设置有阴极靶体,真空镀膜装置还包括固定于箱体内的并且可转动的挂件杆,挂件杆上挂接有多个话筒外壳,挂件杆带动话筒外壳转动,使得话筒外壳能够均匀镀膜。
4.在镀膜完成后,将挂件杆上的话筒外壳一个一个取下,然后将未镀膜的话筒外壳安装在挂件杆上进行下一轮镀膜,通过此种方式安装拆卸话筒外壳的效率较低,从而导致镀膜效率较低。


技术实现要素:

5.为了提高镀膜效率,本技术提供一种真空镀膜装置。
6.本技术提供的一种真空镀膜装置采用如下的技术方案:
7.一种真空镀膜装置,包括箱体,所述箱体内设置有转动组件以及驱动转动组件转动的驱动组件,所述转动组件上可拆卸连接有多个用于安装话筒外壳的挂件杆。
8.通过采用上述技术方案,在箱体内的话筒外壳进行镀膜的过程中,将未镀膜的话筒外壳安装在挂件杆上,当箱体内的话筒外壳镀膜完成后,将箱体内的挂件杆取下,将安装有未镀膜的话筒外壳的挂件杆安装至转动组件上,进行新一轮的镀膜,在进行新一轮镀膜的过程中,对已完成镀膜的话筒外壳进行拆卸,拆卸完成后,继续将未镀膜的话筒外壳安装在挂件杆上,等待下一轮镀膜,通过此种方式,可以提高安装拆卸话筒外壳的效率,节省等待镀膜的时间,从而提高镀膜的效率。
9.可选的,所述转动组件包括支撑架和支撑柱,所述支撑架包括底盘和顶盘,所述转动组件还包括至少一个固定于所述底盘与所述顶盘之间的立柱;
10.所述支撑柱穿过所述底盘,所述支撑柱上开设有供所述挂件杆的一端插接的插接孔,所述顶盘上开设有供所述挂件杆的另一端穿过的通孔,所述通孔的内径大于所述挂件杆的直径。
11.通过采用上述技术方案,将挂件杆的上端穿过通孔,挂件杆的下端插接于对应的插接孔内,实现挂件杆与转动组件的可拆卸连接,方便安装拆卸挂件杆,从而提高镀膜的效率。
12.可选的,所述挂件杆包括主杆和多个固定于所述主杆上的次杆,所述次杆上设置
有用于套接话筒外壳的外套壳。
13.通过采用上述技术方案,将话筒外壳套接在外套壳上的方式,方便快捷,有利于提高话筒外壳的安装和拆卸的效率,另外,外套壳对镍分子起到阻隔作用,减少沉积在话筒外壳的外壁上的镍分子,从而减小对镍的浪费,节省成本。
14.可选的,所述外套壳通过紧固螺栓固定在所述次杆上。
15.通过采用上述技术方案,利用紧固螺栓将外套壳固定在次杆的可拆卸连接,当有外套壳损坏时,方便对外套壳进行更换。
16.可选的,所述外套壳的外侧壁上连通有用于套接所述次杆的限位管。
17.通过采用上述技术方案,将限位管套接在次杆上,对外套壳进行限位,方便拧紧螺栓,从而提高安装拆卸外套壳的效率。
18.可选的,所述话筒外壳上开设有用于安装话筒网罩的网罩口,所述外套壳上凸设有用于与所述网罩口卡紧的凸块。
19.通过采用上述技术方案,利用网罩口与凸块卡紧,使得话筒外壳与外套壳连接得更牢固,减小话筒外壳掉落的可能性,另外,凸块对网罩口的内壁进行遮挡,使得镍分子不易沉积在网罩口的内壁上,从而进一步减小对镍的浪费,节省成本。
20.可选的,所述驱动组件包括主动齿轮、驱动所述主动齿轮转动的驱动电机、多个与所述主动齿轮啮合的从动齿轮、与所述从动齿轮啮合的内齿圈,所述主动齿轮与所述从动齿轮均位于所述内齿圈的内部,所述内齿圈的一端面与所述底盘相接触,所述从动齿轮与所述支撑柱远离所述顶盘的一端固定连接,一个从动齿轮对应一个支撑柱。
21.通过采用上述技术方案,利用驱动电机带动主动齿轮转动,主动齿轮带动从动齿轮转动,从动齿轮带动支撑柱自转,同时,从动齿轮带动支撑柱围绕主动齿轮的轴心进行公转,在支撑柱公转过程中,支撑柱带动底盘自转,在支撑柱自转过程中,支撑柱带动与其连接的挂件杆自转,同时带动挂件杆围绕主动齿轮的轴心进行公转,从而使得话筒外壳能够均匀镀膜。
22.可选的,所述挂件杆上固定连接有至少一个限位件,所述支撑柱上开设有供所述限位件卡接的限位槽。
23.通过采用上述技术方案,在支撑柱自转时,挂件杆可能会在插接孔内打滑,导致挂件杆自转失败,从而导致部分话筒外壳镀膜失败,将限位件卡接于限位槽内,利用限位槽对限位件的限位,实现对挂件杆的限位,从而使得挂件杆不易打滑,有利于支撑柱带动挂件杆自转。
24.综上所述,本技术包括以下至少一种有益技术效果:
25.1.提高安装拆卸话筒外壳的效率,节省等待镀膜的时间,从而提高镀膜的效率;
26.2.方便安装拆卸挂件杆,从而提高镀膜的效率;
27.3.利用网罩口与凸块卡接,使得话筒外壳与外套壳连接得更牢固,减小话筒外壳掉落的可能性,另外,凸块对网罩口的内壁进行遮挡,使得镍分子不易沉积在网罩口的内壁上,从而减小对镍的浪费,节省成本。
附图说明
28.图1是本技术实施例的真空镀膜装置的结构示意图。
29.图2是本技术实施例的真空镀膜装置的另一结构示意图。
30.图3是本技术实施例体现驱动组件的结构示意图。
31.图4是本技术实施例体现转动组件的结构示意图。
32.图5是图4中的a部分的放大图。
33.图6是本技术实施例体现次杆、外套壳和话筒外壳的爆炸结构示意图。
34.附图标记说明:1、箱体;11、门;12、隔板;13、上腔体;14、下腔体;15、通气管;16、阴极靶体;17、导电件;2、转动组件;21、支撑架;211、底盘;212、顶盘;2121、通孔;213、立柱;214、连接杆;22、支撑柱;221、插接孔;222、限位槽;3、驱动组件;31、主动齿轮;32、驱动电机;33、从动齿轮;34、内齿圈;35、第一锥齿轮;36、第二锥齿轮;37、固定柱;38、支撑杆;4、话筒外壳;41、网罩口;5、挂件杆;51、主杆;52、次杆;521、螺纹孔;53、限位件;6、外套壳;61、限位管;62、凸块;63、沉孔;7、紧固螺栓;8、挡板。
具体实施方式
35.以下结合附图1

6对本技术作进一步详细说明。
36.本技术实施例公开一种真空镀膜装置。参照图1和图2,真空镀膜装置包括箱体1,箱体1上安装有门11,箱体1内侧壁上固定连接有隔板12,隔板12将箱体1内部分为上腔体13和下腔体14,箱体1外侧的上表面固定连接有与上腔体13相连通的通气管15,上腔体13的一侧壁上设置有多个阴极靶体16以及可导电的导电件17。
37.参照图2,箱体1内设置有转动组件2以及驱动转动组件2转动的驱动组件3,转动组件2上可拆卸连接有多个用于安装话筒外壳4的挂件杆5,其中,话筒外壳4为塑料材质。
38.通过门将箱体密封,随后利用抽真空设备(图中未示出)对上腔体13抽空气,在上腔体13为真空状态后,通过通气管15向上腔体13内充入氩气,在氩气环境下,导电件17导电,利用氩气放电产生气体电离,其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体16,使得阴极靶体16产生分子反应,在阴极靶体16产生分子反应过程中溅射出的镍分子飞向话筒外壳4内壁表面沉积成薄膜,同时,驱动组件3带动转动组件2转动,转动组件2带动挂件杆5转动,使得话筒外壳4能够均匀镀膜,其中,阴极靶体16指镍。
39.在镀膜完成后,将箱体1内的挂件杆5与转动组件2拆卸分离,然后重新安装新的挂件杆5,新的挂件杆5上安装有未镀膜的话筒外壳4,在对新的话筒外壳4进行镀膜的过程中,将已完成镀膜的话筒外壳4与挂件杆5拆卸分离,通过此种方式,可以提高安装拆卸话筒外壳4的效率,从而提高镀膜的效率。
40.参照图2和图3,驱动组件3包括安装于下腔体14内的驱动电机32,驱动电机32与下腔体14远离上腔体13的一内壁固定连接。驱动电机32的输出轴固定连接有竖直设置的第一锥齿轮35,第一锥齿轮35与驱动电机32的输出轴同轴设置,第一锥齿轮35上啮合有水平设置的第二锥齿轮36,第二锥齿轮36上同轴固定有固定柱37,固定柱37与下腔体14远离上腔体13的一内壁转动连接,固定柱37的上端同轴固定有主动齿轮31。
41.主动齿轮31上啮合有多个从动齿轮33,本实施例中33的个数为4个。从动齿轮33啮合有内齿圈34,主动齿轮31和所有的从动齿轮33均位于内齿圈34的内部,下腔体14的两个侧壁上均固定连接有一个支撑杆38,一对支撑杆38相互靠近的一端均与内齿圈34的外侧壁固定连接。一对支撑杆38为内齿圈34提供支撑力。
42.参照图3和图4,转动组件2包括支撑架21和固定于从动齿轮33上端的支撑柱22,从动齿轮33与对应的支撑柱22同轴设置。支撑架21包括与内齿圈34的上端面相接触的底盘211,还包括顶盘212以及固定连接于底盘211与顶盘212之间的四个立柱213。参照图2和图4,底盘211远离内齿圈34的一端穿过隔板12,支撑柱22远离从动齿轮33的一端穿过底盘211,并且支撑柱22通过轴承(图中未示出)与底盘211相连接,转动组件2还包括转动连接于顶盘212上表面的连接杆214,连接杆214远离顶盘212的一端固定连接于上腔体13的顶部。
43.参照图4和图5,顶盘212上表面开设有贯通顶盘的四个通孔2121,每个支撑柱22的上表面均开设有一插接孔221,通过挂件杆5的上端穿过通孔2121、下端插接于插接孔221中,实现挂件杆5与转动组件2的可拆卸连接。
44.参照图2和图3,启动驱动电机32,驱动电机32的输出轴带动第一锥齿轮35转动,第一锥齿轮35带动固定柱37转动,固定柱37带动主动齿轮31转动,主动齿轮31带动从动齿轮33转动,从动齿轮33带动支撑柱22在自转的同时,围绕主动齿轮31的轴心进行公转,支撑柱22带动底盘211和挂件杆5分别进行自转,同时带动挂件杆5围绕主动齿轮31的轴心进行公转,使得话筒外壳4能够均匀镀膜。
45.参照图4和图5,但是由于挂件杆5与插接孔221插接,使得支撑柱22在自转时,挂件杆5可能会在插接孔221内打滑,导致挂件杆5自转失败,为解决这一问题,在支撑柱22的侧壁上开设有一对与插接孔221相连通的限位槽222,挂件杆5上固定连接有分别与相应限位槽222卡接的限位件53。限位件53为与挂件杆5螺纹连接的螺栓。通过限位槽222对限位件53限位,实现对挂件杆5的限位,从而使得挂件杆5不易打滑(主要作用是为了22能够带动5转动)。挂件杆5上还固定连接有与支撑柱22的上表面抵接的挡板8,用以减少镍分子落入插接孔221内。
46.参照图4和图6,挂件杆5包括主杆51和多个固定与主杆51侧壁上的次杆52,每一个次杆52上均设置有外套壳6,外套壳6的外侧壁上连通有用于套接次杆52的限位管61,外套壳6通过紧固螺栓7固定在次杆52上,具体的,次杆52靠近外套壳6的一端面开设有螺纹孔521,外套壳6的内壁上开设有与限位管61相连通的沉孔63,将限位管61套接在次杆52上,对外套壳6进行限位,然后通过紧固螺栓7插入沉孔63随后和螺纹孔521螺纹连接,实现了外套壳6与次杆52的可拆卸连接。
47.在生产话筒的过程中,需要将话筒网罩(现有技术)安装在话筒外壳4上,因此话筒外壳4上开设有用于安装话筒网罩的网罩口41,外套壳6上凸设有凸块62,通过凸块62与网罩口41卡紧,不仅使得镍分子不易沉积在网罩口41的内壁上,从而节省镍的使用,还能够使得话筒外壳4更稳定地套接在外套壳6上。
48.本技术实施例的一种真空镀膜装置的实施原理为:
49.将话筒外壳4安装在挂件杆5上,具体的,将话筒外壳4套接在外套壳6上,使得凸块62与网罩口41卡接。
50.安装好话筒外壳4后,将挂件杆5的上端穿过通孔2121,挂件杆5的下端插接于对应的插接孔221内,挂件杆5上的限位件53与对应的限位槽222卡接。
51.安装好挂件杆5后,关闭箱体1上门11,对上腔体13抽真空,在上腔体13为真空状态后,通过通气管15向上腔体13内充入氩气,在氩气环境下,启动驱动电机32,使得话筒外壳4转动,并对导电件17进行通电,使得阴极靶体16产生分子反应,从而对话筒外壳4进行镀膜。
52.在对箱体1内的话筒外壳4进行镀膜的过程中,在新的挂件杆5上安装未镀膜的话筒外壳4,以节省时间,提高镀膜效率。
53.在箱体1内的话筒外壳4镀膜完成后,将箱体1内的挂件杆5取下,具体的,先将挂件杆5的下端从支撑柱22上拆卸分离,然后倾斜挂件杆5,再使得挂件杆5的上端脱离通孔2121。
54.在将箱体1内的挂件杆5取下后,将安装有未镀膜的话筒外壳4的挂件杆5安装至转动组件2上,进行新一轮的镀膜,在进行新一轮镀膜的过程中,拆卸镀膜完成的话筒外壳4。
55.以上均为本技术的较佳实施例,并非依此限制本技术的保护范围,故:凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本技术的保护范围之内。
再多了解一些

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