一种氟化钇薄膜的制备方法与流程

技术特征：
1.一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05-1:3.75混合均匀，在研钵中研磨发生固相反应，反应完全后得到胶状物；步骤2：将胶状物转移至耐高温坩埚中，置于烘箱中干燥3-22h，得到胶态物质；步骤3：将胶态物质置于高温炉中，保温1-4h；步骤4：胶态物质随炉冷却至室温后取出，研磨得到粉末；步骤5：将粉末在惰性气体保护下,350-450℃下保温4-5.5h，得到纳米级粉末；步骤6：将纳米级粉末采取浸渍提拉法或旋转涂覆法制膜；步骤7：将湿膜在室温下晾15-25min，再置于干燥箱中烘干，自然冷却至室温，得到薄膜；步骤8：将薄膜放入高温炉中进行退火处理，随炉冷却后得到氟化钇薄膜。2.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤1中，对水合硝酸钇、氟化铵混合搅拌的时间为4-20h。3.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤2中，将耐高温坩埚的炉温按2-8℃/min的升温速率从室温升至350-450℃。4.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤5中，惰性气体为氮气或氩气。5.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤7中，烘干温度为95-100℃。6.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤8中，高温炉按3-10℃/min的升温速率从室温升至300-500℃，保温1-4h。

技术总结
本发明公开了一种氟化钇薄膜的制备方法，步骤1：将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05


技术研发人员：陈如明 姜蕻 蔡勇
受保护的技术使用者：英迪那米（徐州）半导体科技有限公司
技术研发日：2020.07.15
技术公布日：2021/12/6