绝缘结构和镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射技术领域，特别涉及一种绝缘结构和镀膜设备。


背景技术：

2.玻璃可以在镀膜设备中进行镀膜，以使玻璃具备防辐射和防光等性能。镀膜设备设有镀膜腔室，镀膜腔室内设有溅射底板，由于设备安装的必然性，溅射底板与腔室之间还有一个皮带盖板。为了防止溅射底板与镀膜腔室导通发生放电现象，避免放电现象造成玻璃产品表面膜层出现电弧状缺陷影响产品外观，造成产品报废，市场目前对皮带盖板与溅射底板之间的绝缘手段主要采用绝缘块进行隔离绝缘。但相关技术中的绝缘块为规则块状结构，在长期使用后，飘荡的金属分子容易附着在绝缘块的表面，使得溅射底板与皮带盖板导通，从而导致溅射底板与镀膜腔室导通，造成镀膜腔室内出现放电现象，影响产品质量，降低产品的合格率。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的是提供一种绝缘结构，旨在提高绝缘效果，提高产品合格率。
4.为实现上述目的，本实用新型提出的绝缘结构，所述绝缘结构用于镀膜设备，所述镀膜设备内设有溅射底板和皮带盖板，所述绝缘结构夹设于所述溅射底板和所述皮带盖板之间，所述绝缘结构包括：
5.绝缘主体，所述绝缘主体的一表面形成有凹槽；和
6.绝缘凸块，所述绝缘凸块设于所述凹槽的槽底壁，且所述绝缘凸块至少部分显露于所述凹槽的槽口。
7.在本技术的一例实施例中，所述绝缘主体包括：
8.绝缘板，所述绝缘凸块设于所述绝缘板的一板面；和
9.绝缘凸筋，所述绝缘凸筋环绕所述绝缘凸块设置，并与所述绝缘板围合形成所述凹槽。
10.在本技术的一例实施例中，所述绝缘凸块包括：
11.凸起部，所述凸起部设于所述绝缘板；和
12.盖板，所述盖板设于所述凸起部背离所述绝缘板的一侧，所述盖板、所述凸起部以及所述绝缘板围合形成第一延伸槽，所述第一延伸槽与所述凹槽连通，所述第一延伸槽的槽口朝向所述绝缘凸筋设置。
13.在本技术的一例实施例中，所述第一延伸槽为方形槽。
14.在本技术的一例实施例中，所述绝缘凸筋朝向所述绝缘凸块的表面凹设形成第二延伸槽，所述第二延伸槽与所述凹槽连通，所述第二延伸槽环绕所述绝缘凸筋设置。
15.在本技术的一例实施例中，所述第一延伸槽为弧形槽或方形槽；
16.和/或，所述第二延伸槽为弧形槽或方形槽。
17.在本技术的一例实施例中，所述绝缘主体为圆柱形，所述绝缘凸块为圆柱形，所述绝缘主体与所述绝缘凸块的中心轴线重叠设置。
18.在本技术的一例实施例中，所述绝缘主体和所述绝缘凸块为一体结构。
19.在本技术的一例实施例中，定义所述溅射底板朝向所述皮带盖板的方向为竖直方向，定义所述绝缘结构的在竖直方向上的厚度值为h，8mm≤h≤12mm；
20.和/或，定义所述溅射底板朝向所述皮带盖板的方向为竖直方向，定义所述绝缘主体在竖直方向上的厚度值为l1，所述绝缘凸块显露出所述凹槽的槽口的部分在竖直方向上的厚度值为l2，l1＞l2。
21.本技术还提供一种镀膜设备，所述镀膜设备包括溅射底板、皮带盖板以及绝缘结构，所述绝缘结构包括：
22.绝缘主体，所述绝缘主体的一表面形成有凹槽；和
23.绝缘凸块，所述绝缘凸块设于所述凹槽的槽底壁，且所述绝缘凸块至少部分显露于所述凹槽的槽口。
24.本实用新型技术方案提供的绝缘结构包括绝缘主体和绝缘凸块，将绝缘结构夹设在溅射底板和皮带盖板之间，可以避免溅射底板与皮带盖板直接接触导电。将绝缘凸块凸设在绝缘主体形成的凹槽的槽底壁，增长了溅射底板到皮带盖板之间最短路径的长度，增大了金属分子导通溅射底板与皮带盖板所需覆盖的面积，延长了绝缘结构的作用时间，提高了绝缘结构的绝缘效果，提高了产品的合格率。将绝缘凸块至少部分显露于凹槽的槽口保证了金属分子导通溅射底板与皮带盖板时必须途径凹槽，凹槽不会被溅射底板或者皮带盖板覆盖，保证了溅射底板到皮带盖板之间最短路径长度增长的实现。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
26.图1为绝缘结构夹设在底板、皮带盖板之间的的剖视图；
27.图2为图1所示的a处的局部放大图；
28.图3为本实用新型绝缘结构一实施例的结构示意图；
29.图4为图3所示的绝缘结构的剖视图；
30.图5为本实用新型绝缘结构另一实施例的剖视图；
31.图6为本实用新型绝缘结构再一实施例的剖视图。
32.附图标号说明：
33.标号名称标号名称100绝缘结构30绝缘凸块10绝缘主体31凸起部10a凹槽31a第一延伸槽10b槽底璧33盖板11绝缘板300溅射底板
13绝缘凸筋500皮带盖板13a第二延伸槽
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34.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
35.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
37.另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“a和/或b为例”，包括a方案，或b方案，或a和b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
38.参照图1至图6，本实用新型提出一种绝缘结构100，该绝缘结构100用于镀膜设备，镀膜设备内设有溅射底板300和皮带盖板500，该绝缘结构100夹设于溅射底板300和皮带盖板500之间。
39.在本实用新型实施例中，绝缘主体10的一表面形成有凹槽10a，绝缘凸块30设于凹槽10a的槽底壁10b，且绝缘凸块30至少部分显露于凹槽10a的槽口。
40.其中，绝缘主体10和绝缘凸块30可以为两个分体结构，也可以为一体结构。在本技术中，为了更便于绝缘结构100的制作加工，并提高绝缘主体10和绝缘凸块30连接处的强度，绝缘主体10与绝缘凸块30为一体结构。绝缘结构100可以由聚四氟乙烯(即铁氟龙)等绝缘材料制成，由于聚四氟乙烯具有良好的绝缘性，且其绝缘效果不受温度等环境的影响，因此，由聚四氟乙烯材料制成的绝缘结构100具有良好的绝缘效果。在实际应用中，绝缘主体10背离绝缘凸块30的表面可以与溅射底板300抵接，也可以与皮带盖板500抵接。同理，绝缘凸块30背离绝缘主体10的表面可以与溅射底板300抵接，也可以与皮带盖板500抵接。
41.本实用新型技术方案提供的绝缘结构100包括绝缘主体10和绝缘凸块30，将绝缘结构100夹设在溅射底板300和皮带盖板500之间，可以避免溅射底板300与皮带盖板500直接接触导电。将绝缘凸块30设在绝缘主体10形成的凹槽10a的槽底壁10b，增长了溅射底板300到皮带盖板500之间最短路径的长度(如图1中箭头所指路径)，增大了金属分子导通溅射底板300与皮带盖板500所需覆盖的面积，延长了绝缘结构100的作用时间，提高了绝缘结构100的绝缘效果，提高了产品的合格率。将绝缘凸块30至少部分显露于凹槽10a的槽口保证了金属分子导通溅射底板300与皮带盖板500时必须途径凹槽10a，凹槽10a不会被溅射底板300或者皮带盖板500覆盖，保证了溅射底板300到皮带盖板500之间最短路径长度增长的
实现。
42.参见图4、图5或者图6，所述绝缘主体10包括绝缘板11和绝缘凸筋13，所述绝缘凸块30凸设于绝缘板11的一板面，所述绝缘凸筋13环绕所述绝缘凸块30设置，并与所述绝缘板11围合形成所述凹槽10a。
43.将绝缘凸筋13环绕绝缘凸块30设置，并与绝缘板11为何形成上述凹槽10a可以保证金属分子无论从哪个方向导通溅射底板300与皮带盖板500时，都需要经过凹槽10a。从而保证了金属分子导通溅射底板300与皮带盖板500的最短路径肯定包含了凹槽10a部分，保证了最短路径长度的增长，能够有效防止金属分子导通溅射底板300与皮带盖板500。
44.参见图4、图5或者图6，在本技术中，所述绝缘凸块30包括凸起部31和盖板33，所述凸起部31设于所述绝缘板11，所述盖板33设于所述凸起部31背离所述绝缘板11的一侧，所述盖板33、所述凸起部31以及所述绝缘板11围合形成第一延伸槽31a，第一延伸槽31a与所述凹槽10a连通，所述第一延伸槽31a的槽口朝向所述绝缘凸筋13设置。
45.将盖板33的至少部分结构显露于凹槽10a的槽口，可以防止夹设在溅射底板300和皮带盖板500之间的绝缘结构100形成的凹槽10a被溅射底板300或者绝缘盖板33覆盖，影响绝缘结构100的绝缘效果。盖板33与凸起部31以及绝缘板11围合形成的第一延伸槽31a进一步增长了溅射底板300到皮带盖板500之间最短路径的长度，有效提高了绝缘结构100的防导通效果。并且，盖板33的设置还减小了凹槽10a的槽口的大小，降低了金属分子进入凹槽10a内的概率，减小了金属分子覆盖绝缘结构100表面以导通溅射底板300与皮带盖板500的可能性，加强了绝缘结构100的防导通效果。
46.同理，所述绝缘凸筋13朝向所述绝缘凸块30的表面凹设形成第二延伸槽13a，所述第二延伸槽13a与所述凹槽10a连通，所述第二延伸槽13a环绕所述绝缘凸筋13设置。第二延伸槽13a的设置也进一步增长了溅射底板300到皮带盖板500之间最短路径的长度，提高了绝缘结构100的绝缘效果，能够延长绝缘结构100的作用时间，提高产品的合格率。
47.为了在加工范围一定的情况下，即保证制作简单，又能够进一步增大溅射底板300到皮带盖板500之间最短路径的长度，可以将第一延伸槽设为方形槽，参见图4。同理，也可以将第二延伸槽也设为方形槽，可以理解的是，将第一延伸槽31a和第二延伸槽13a都设置为方形槽溅射底板300到皮带盖板500之间最短路径的长度更大，参见图6。当然，于其他实施例中，还可以将第一延伸槽13a设为弧形槽，弧形槽不便于金属分子附着，可以减小溅射底板300与皮带盖板500导通的可能性，并且弧形槽还更容易加工制作，可以减小制作难度，节约制作成本。同理，也可以将第二延伸槽31a设为弧形槽。可以理解的是，将第一延伸槽31a和第二延伸槽13a都设置为弧形槽更便于绝缘结构100的加工制作，参见图5。
48.参见图3，为了方便绝缘主体10和绝缘凸块30的制作和加工，可以将绝缘主体10为圆柱形，将绝缘凸块30为圆柱形。
49.为了增强整个绝缘结构100的结构强度，提高绝缘结构100的整体性，可以将绝缘主体10与绝缘凸块30的中心轴线重叠设置。
50.在本技术的一例实施例中，定义所述溅射底板300朝向所述皮带盖板500的方向为竖直方向，定义所述绝缘结构100的在竖直方向上的厚度值位h(如图4、图5或者图6所示)，8mm≤h≤12mm。例如，该垂直距离h可以为8mm、9mm、mm、11mm或者12mm等。可以理解的是，当h＜8mm时，意味着溅射底板300与皮带盖板500之间的间隙也小于8mm，此时，溅射底板300与
皮带盖板500会由于间隙过小而接触，致使溅射底板300与镀膜腔室导通，发生放电现象，影响产品外观和质量，降低产品的合格率；由于镀膜腔室内还有其他结构，若h＞12mm，虽然增大了溅射底板300与皮带盖板500之间的间隙，降低了两者导通的可能性，但是皮带盖板500与镀膜腔室内其他结构或者溅射底板300与镀膜腔室内其他结构会由于间隙过小而接触导通，也会导致发生放电现象。
51.参见图4、图5或者图6，在本技术的一例实施例中，定义所述溅射底板300朝向所述皮带盖板500的方向为竖直方向，定义所述绝缘主体10在竖直方向上的厚度值为l1，所述绝缘凸块显露出所述凹槽的槽口的部分在竖直方向上的厚度值为l2，l1＞l2。由于绝缘结构100的厚度值h为定值，故将l1大于l2设置，能够保证绝缘主体10的厚度值l1足够大，从而保证绝缘主体10形成的凹槽10a足够深。当l1越大时，凹槽10a的深度越大，金属分子连接溅射底板300与皮带盖板500的最短路径的长度则会越大，增强了绝缘结构100的防导通效果，避免了放电现象的发生。
52.以上所述的任一实施例中的绝缘结构100都能够保证在镀膜线保养周期内，溅射底板300无法与皮带盖板500导通，能够有效防止放电线现象的发生。在实际使用中，绝缘结构100可以在到达镀膜线保养周期时进行拆卸和清洗，以便于下一次使用，提高了绝缘结构100的利用率。
53.本实用新型还提出一种镀膜设备，该镀膜设备包括溅射底板300、皮带盖板500以及绝缘结构100，该绝缘结构100的具体结构参照上述实施例，由于本镀膜设备采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。其中，绝缘结构100夹设于溅射底板300与皮带盖板500之间。
54.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。