一种空化器的制作方法

1.本实用新型涉及蚀刻剂溶液处理领域，特别涉及一种空化器。


背景技术：

2.目前，在高密度集成电路板和ic载板的核心制造工艺中，通常会采用氯化铜蚀刻剂溶液来蚀刻高密度电路引线，为确保蚀刻高密度电路引线的性能，需确保氯化铜蚀刻剂溶液保持高浓度和均匀混合的状态，这就需要不断往氯化铜蚀刻剂溶液中注入氧气或臭氧以及氯化铜蚀刻剂溶液的成分。
3.现有技术中，通常将氯化铜蚀刻剂溶液不断泵送出来再回流，形成溶液流动的循环系统，在溶液循环流动的过程中通过反应器将氯化铜蚀刻剂溶液与注入的氧气或臭氧以及氯化铜蚀刻剂溶液的成分进行混合，以此来确保氯化铜蚀刻剂溶液保持高浓度和均匀混合的状态，但是在注入氧气或臭氧的过程中会出现气泡，并且会合并成越来越大的气泡，而溶液需与氧气或臭氧进行化学反应，气泡越大，可发生化学反应的面积就越来越小，从而导致氯化铜蚀刻剂溶液的浓度不够，混合不均匀。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种空化器，旨在解决现有技术通过混合器调节蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度时，存在蚀刻剂溶液的浓度不够，混合不均匀的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：提供一种空化器，设置于蚀刻机的循环系统中，用于保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，所述蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，所述空化器包括密封连接的混合装置和气泡破裂装置，所述混合装置连通所述容纳池的下端，所述气泡破裂装置连通所述容纳池的上端，所述混合装置内设有朝向所述气泡破裂装置的混合喷嘴，所述混合装置的外侧设有多个连通所述混合喷嘴且用于注入气体和蚀刻成分剂的注入接头，所述气泡破裂装置内设有使气泡发生破裂的挡板组件。
6.进一步的，所述气泡破裂装置的一端插装于所述混合装置的一端，所述气泡破裂装置和混合装置的插装位置上设有密封垫圈。
7.进一步的，所述气泡破裂装置和混合装置的外侧连接处设有锁紧件。
8.进一步的，所述锁紧件为锁紧螺母，所述锁紧螺母的一端螺纹连接于所述混合装置的外侧，所述锁紧螺母的另一端向内侧方向设有环形压装部，所述气泡破裂装置连接所述混合装置的一端设有环形凸起，所述环形压装部与所述环形凸起相互抵压固定。
9.进一步的，所述注入接头包括注气接头、注水接头以及注盐酸接头，所述注气接头、注水接头以及注盐酸接头圆周均匀分布在所述混合装置上。
10.进一步的，所述挡板组件设置在所述气泡破裂装置内临近所述混合装置的一端，所述气泡破裂装置内的另一端为溶液平稳腔。
11.进一步的，所述挡板组件包括直杆和多个挡板，所述直杆的一端卡装在所述气泡
破裂装置内临近所述混合装置的一端，多个所述挡板并排间隔设置在所述直杆的另一端。
12.进一步的，多个所述挡板可移动安装在所述直杆上。
13.进一步的，多个所述挡板沿溶液流动方向依次增大设置。
14.进一步的，所述混合装置连通所述容纳池的一端设有内凹接口，所述气泡破裂装置连通所述容纳池的一端设有外凸接头。
15.本实用新型实施例提供一种空化器，设置于蚀刻机的循环系统中，用于保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，空化器包括密封连接的混合装置和气泡破裂装置，混合装置连通容纳池的下端，气泡破裂装置连通容纳池的上端，混合装置内设有朝向气泡破裂装置的混合喷嘴，混合装置的外侧设有多个连通混合喷嘴且用于注入气体和蚀刻成分剂的注入接头，气泡破裂装置内设有使气泡发生破裂的挡板组件。本实用新型实施例提供的空化器结构中，通过混合装置和气泡破裂装置可使得注入的气体和蚀刻成分剂充分与蚀刻剂溶液进行化学反应，具有稳定保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的高浓度和混合均匀的优点。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型实施例提供的蚀刻剂溶液的流动循环系统的示意图；
18.图2为本实用新型实施例提供的空化器的透视结构示意图；
19.图3为本实用新型实施例提供的空化器的剖面结构示意图；
20.图4为本实用新型实施例提供的空化器的爆炸结构示意图；
21.图5为图3中局部a的放大结构示意图；
22.图6为本实用新型实施例提供的混合装置的内部结构示意图。
23.图中标识说明：
24.1、容纳池；2、空化器；21、混合装置；211、混合喷嘴；212、注入接头；213、内凹接口；22、气泡破裂装置；221、挡板组件；2211、直杆；2212、挡板；222、环形凸起；223、溶液平稳腔；224、外凸接头；23、密封垫圈；24、锁紧件；241、环形压装部。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
27.还应当理解，在此本实用新型说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例
的目的而并不意在限制本实用新型。如在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
28.还应当进一步理解，在本实用新型说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
29.结合图1和图2，本实用新型实施例提供一种空化器，设置于蚀刻机的循环系统中，用于保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，所述蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池1，所述空化器2包括密封连接的混合装置21和气泡破裂装置22，所述混合装置21连通所述容纳池1的下端，所述气泡破裂装置22连通所述容纳池1的上端，所述混合装置21内设有朝向所述气泡破裂装置22的混合喷嘴211，所述混合装置21的外侧设有多个连通所述混合喷嘴211且用于注入气体和蚀刻成分剂的注入接头212，所述气泡破裂装置22内设有使气泡发生破裂的挡板组件221。
30.本实施例中，所述容纳池1的下端可设置泵送装置将蚀刻剂溶液送出，再通过回流装置将蚀刻剂溶液送回所述容纳池1的上端，从而形成蚀刻剂溶液不断流动的循环系统，本实施例在这一循环系统中设置空化器2，蚀刻剂溶液在流动的过程中经过所述空化器2，所述空化器2用于保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的高浓度和混合均匀的状态。
31.具体的，通过多个所述注入接头212分别往所述混合喷嘴211中注入气体和蚀刻成分剂，气体和蚀刻成分剂在所述混合喷嘴211中进行混合并喷出至气泡破裂装置22，喷出时会产生气泡，与此同时，蚀刻剂溶液不断从容纳池1中流经所述混合装置21和气泡破裂装置22，并在气泡破裂装置22中与气泡相遇并开始进行化学反应，而气泡在所述气泡破裂装置22中不断撞击所述挡板组件221并发生破裂，形成越来越多的小气泡，变小后的气泡与蚀刻剂溶液之间的化学反应更加快速，混合更均匀，从而使得回流到所述容纳池1的蚀刻剂溶液保持着高浓度和混合均匀的状态。
32.结合图3和图4，在一实施例中，所述气泡破裂装置22的一端插装于所述混合装置21的一端，所述气泡破裂装置22和混合装置21的插装位置上设有密封垫圈23。
33.本实施例中，所述气泡破裂装置22和混合装置21相互连接的一端的形状均可以为圆形，以便将所述气泡破裂装置22和混合装置21进行插装连接，所述混合装置21作为气体和蚀刻成分剂进行混合的主要场所，所述气泡破裂装置22作为气泡和蚀刻剂溶液进行化学反应的主要场所，在所述气泡破裂装置22和混合装置21的插装位置上设有密封垫圈23，可确保所述气泡破裂装置22和混合装置21之间的保密封性。
34.在一实施例中，所述气泡破裂装置22和混合装置21的外侧连接处设有锁紧件24。
35.本实施例中，将所述气泡破裂装置22和混合装置21进行插装后，为确保具备稳定的密封性，可在所述气泡破裂装置22和混合装置21的外侧连接处设置锁紧件24，通过所述锁紧件24将所述气泡破裂装置22和混合装置21进行锁紧，即可保持稳定的密封性。
36.结合图3和图5所示，在一实施例中，所述锁紧件24为锁紧螺母，所述锁紧螺母的一端螺纹连接于所述混合装置21的外侧，所述锁紧螺母的另一端向内侧方向设有环形压装部241，所述气泡破裂装置22连接所述混合装置21的一端设有环形凸起222，所述环形压装部241与所述环形凸起222相互抵压固定。
37.本实施例中，所述气泡破裂装置22和混合装置21之间的插装结构可以为：在所述混合装置21的连接端设置环形凹口，在所述气泡破裂装置22的连接端设置用于插入所述环形凹口的环形凸起222，将所述环形凸起222插入所述环形凹口后，即可使得所述气泡破裂装置22和混合装置21之间初步完成插装；所述锁紧螺母可套设在所述气泡破裂装置22的连接端上，所述锁紧螺母的一端可螺纹固定于所述混合装置21的连接端的外壁，所述锁紧螺母的另一端向内侧方向设有环形压装部241，在所述锁紧螺母螺纹连接于所述混合装置21的同时，所述环形压装部241与所述环形凸起222相互抵压，可使得所述气泡破裂装置22和混合装置21之间相互抵紧，从而使得所述气泡破裂装置22和混合装置21之间能够紧固连接。
38.结合图6所示，在一实施例中，所述注入接头212包括注气接头、注水接头以及注盐酸接头，所述注气接头、注水接头以及注盐酸接头圆周均匀分布在所述混合装置21上。
39.本实施例中，所述注气接头用于注入氧气或臭氧，所述注水接头和注盐酸接头分别用于注入水和盐酸，水和盐酸为氯化铜蚀刻剂中的成分剂，所述注水接头和注盐酸接头还可在其他情况下用于注入蚀刻添加剂，可将所述注气接头、注水接头以及注盐酸接头圆周均匀分布在所述混合装置21上，这样三个接头可呈三角位置分布，可以使得注入氧气或臭氧、水以及盐酸直接碰撞，混合效果更好。
40.结合图3所示，在一实施例中，所述挡板组件221设置在所述气泡破裂装置22内临近所述混合装置21的一端，所述气泡破裂装置22内的另一端为溶液平稳腔223。
41.本实施例中，所述挡板组件221可对气泡进行阻挡，并使得所述气泡破裂呈多个小气泡，同时所述挡板组件221还可对蚀刻剂溶液进行阻挡，并使得流至所述气泡破裂装置22内的蚀刻剂溶液发生翻涌，由此加速了所述蚀刻剂溶液和气泡的化学反应，化学反应后的蚀刻剂溶液经过所述挡板组件221后再到达所述气泡破裂装置22的溶液平稳腔223，所述溶液平稳腔223可使得化学反应后的蚀刻剂溶液逐渐平稳下来，以便稳定的回流至所述容纳池1内。
42.结合图3所示，在一实施例中，所述挡板组件221包括直杆2211和多个挡板2212，所述直杆2211的一端卡装在所述气泡破裂装置22内临近所述混合装置21的一端，多个所述挡板2212并排间隔设置在所述直杆2211的另一端。
43.本实施例中，所述气泡破裂装置22的形状为管状，所述直杆2211可设置于所述气泡破裂装置22的轴心位置，所述直杆2211的一端可设置卡装结构，通过所述卡装结构固定卡接在所述气泡破裂装置22内临近所述混合装置21的一端，即可使得所述直杆2211保持稳定，进而使得设置在所述直杆2211的另一端上的多个所述挡板2212保持稳定，设置多个所述挡板2212的目的是使气泡可以连续发生多次撞击，进而使气泡发生多次破裂并形成更多的小气泡。
44.在一实施例中，多个所述挡板2212可移动安装在所述直杆2211上。
45.本实施例中，在蚀刻剂溶液流动的过程中，所述挡板2212产生阻挡力，会造成局部冲击力过大，存在破坏空化器2密封性的隐患，故将所述挡板2212可移动安装在所述直杆2211上，这样可以减轻蚀刻剂溶液流动时的冲击力。
46.在一实施例中，多个所述挡板2212沿溶液流动方向依次增大设置。这样可使得气泡的撞击面和撞击次数增大，有利于气泡破裂。
47.在一实施例中，所述混合装置21连通所述容纳池1的一端设有内凹接口213，所述气泡破裂装置22连通所述容纳池1的一端设有外凸接头224。
48.本实施例中，所述内凹接口213用于所述混合装置21与所述容纳池1的下端连接，可以在所述容纳池1的下端设置泵送装置，通过所述内凹接口213与该泵送装置进行连接；所述外凸接头224用于所述气泡破裂装置22与所述容纳池1的上端连接，可在所述容纳池1的上端设置回流装置，通过所述外凸接头224与该回流装置进行连接；这样即可在蚀刻剂溶液不断流动的循环系统中插入空化器2的设计，以此来实现保持蚀刻机中的蚀刻剂溶液的高浓度和混合均匀的状态。
49.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。