一种基于微流控的可调光束分束器的制作方法

技术特征：
1.一种基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述可调光束分束器包括：激光器、流体控制系统、y分支波导和带ccd的倒置荧光显微镜；所述y分支波导为pdms在硅片上倒模制成的微流控芯片，且关于水平线对称，包括：芯层，位于芯层上方的包层a，位于芯层下方的包层b，位于波导末端的包层c，所述y分支波导的分支点前设置一个朝向通道入口方向的楔形块，所述激光器输入光源通过光纤耦合到微流控芯片中，通过所述流体控制系统控制流体的流量大小，改变芯层流体的位置和宽度以实现动态调节分光比。2.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述y分支波导的工作区域长为1900μm，宽为430μm，高为125μm。3.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述包层a、包层b、包层c通入的是乙二醇，所述芯层通入的是肉桂醛。4.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述楔形块的尖端的角度为15
°
，长为500μm，宽为130μm。5.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述y分支波导包括一个主通道和两个分支通道，每个所述分支通道与所述主通道的夹角为27
°
。6.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述流体控制系统由双通道注射泵实现。7.根据权利要求1所述的基于微流控的可调光束分束器，其特征在于，所述芯层、包层a、包层b、包层c的截面均为矩形。

技术总结
本发明提供了一种基于微流控的可调光束分束器，包括：激光器、流体控制系统、Y分支波导和带CCD的倒置荧光显微镜；Y分支波导为PDMS在硅片上倒模制成的微流控芯片，且关于水平线对称，包括：芯层，位于芯层上方的包层A，位于芯层下方的包层B，位于波导末端的包层C，Y分支波导的分支点前设置一个朝向通道入口方向的楔形块，激光器输入光源通过光纤耦合到微流控芯片中，通过流体控制系统控制流体的流量大小，改变芯层流体的位置和宽度以实现动态调节分光比。本发明使用PDMS微流控芯片构建流体光波导进而得到一种基于微流控的可调光束分束器，实现了较大的分光比调节范围。制造工艺简单、实施成本低。施成本低。施成本低。


技术研发人员：段修栋 宋潮龙 杨韵燃 涂鑫
受保护的技术使用者：中国地质大学（武汉）
技术研发日：2021.07.06
技术公布日：2021/11/23