1.本实用新型涉及籽晶检测设备技术领域，尤其涉及一种晶向测量仪的工作台。
背景技术：
2.单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料，广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步，在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导，籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心，籽晶要求选材要好，要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分，一般取材部位与尾部要有足够距离，目前的籽晶在加工完成后需要进行检测其晶向，目前的晶向测量设备的工作台都是一个整体的平面，测量时籽晶和籽晶测量仪的位置都是固定的，不能调节，测量时不方便，且测量结果也不够准确。为此，我们提出一种晶向测量仪的工作台。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种晶向测量仪的工作台。
4.为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
5.一种晶向测量仪的工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的顶部位于其中心处活动设有由驱动器驱动的环形的旋转座，所述旋转座的顶部固定设有测量仪安装结构，所述工作台本体上位于旋转座的中心处设有籽晶放置器，工作台本体包括外壳，所述外壳的内部位于其中心处设有与其一体成型的中心台，所述中心台与外壳之间形成了空腔。
6.进一步的，所述旋转座的内壁设有与其一体成型的且与中心台的侧壁上的环槽a相配合的卡环a，旋转座的外壁设有与其一体成型且与外壳内壁上的环槽b相配合的卡环b，旋转座的底部设有与其一体成型的连接环。
7.进一步的，所述驱动器包括固定于旋转座底部的传动齿轮，所述传动齿轮上啮合有由电机驱动的驱动齿轮。
8.进一步的，所述外壳的侧壁位于空腔处开设有若干散热槽。
9.进一步的，所述测量仪安装结构包括固定于旋转座上的底座，所述底座的顶部固定设有立杆，所述立杆的端部固定设有测量仪定位槽。
10.进一步的，所述籽晶放置器包括固定于中心台的顶部且位于其中心处的托板，所述托板的顶部设有与其一体成型的挡框。
11.本实用新型使用时将待测量的籽晶置于籽晶放置器上，驱动器驱动旋转座转动，从而带动测量仪安装结构绕着籽晶放置器旋转，从而对籽晶的各个角度进行测量，其测量结果准确，且操作方便。
附图说明
12.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，
本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
13.图1是本实用新型的整体结构示意图；
14.图2是本实用新型旋转座和驱动器的结构示意图；
15.图3是本实用新型工作台本体的结构示意图；
16.图4是本实用新型图3的部分结构示意图。
17.图中标号说明：1
‑
电机、2
‑
外壳、3
‑
挡框、4
‑
测量仪定位槽、5
‑
立杆、6
‑
底座、7
‑
旋转座、8
‑
托板、9
‑
中心台、10
‑
散热槽、11
‑
驱动齿轮、12
‑
连接环、13
‑
传动齿轮、14
‑
卡环b、15
‑
卡环a、16
‑
环槽b、17
‑
环槽a、18
‑
空腔。
具体实施方式
18.下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。
19.如图1至4所示，本实施例提供一种晶向测量仪的工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的顶部位于其中心处活动设有由驱动器驱动的环形的旋转座7，所述旋转座7的顶部固定设有测量仪安装结构，所述工作台本体上位于旋转座7的中心处设有籽晶放置器，工作台本体包括外壳2，所述外壳2的内部位于其中心处设有与其一体成型的中心台9，所述中心台9与外壳2之间形成了空腔18。
20.将待测量的籽晶置于籽晶放置器上，驱动器驱动旋转座7转动，从而带动测量仪安装结构绕着籽晶放置器旋转，从而对籽晶的各个角度进行测量，其测量结果准确，且操作方便。
21.优选的，所述旋转座7的内壁设有与其一体成型的且与中心台9的侧壁上的环槽a17相配合的卡环a15，旋转座7的外壁设有与其一体成型且与外壳2内壁上的环槽b16相配合的卡环b14，旋转座7的底部设有与其一体成型的连接环12。
22.驱动器驱动旋转座7在工作台本体上旋转，环槽a17与卡环a15配合，环槽b16与卡环b14配合，避免在旋转座7转动的过程中脱离工作台本体。
23.优选的，所述驱动器包括固定于旋转座7底部的传动齿轮11，所述传动齿轮11上啮合有由电机1驱动的驱动齿轮13。
24.电机1驱动驱动齿轮11转动，在传动齿轮13的传动作用下带动旋转座7旋转，从而达到带动测量仪安装结构转动。
25.优选的，所述外壳2的侧壁位于空腔18处开设有若干散热槽10。
26.散热槽10的设置方便将腔体18内的热量及时排出，延长传动齿轮13和驱动齿轮11的使用寿命。
27.优选的，所述测量仪安装结构包括固定于旋转座7上的底座6，所述底座6的顶部固定设有立杆5，所述立杆5的端部固定设有测量仪定位槽4。
28.优选的，所述籽晶放置器包括固定于中心台9的顶部且位于其中心处的托板8，所述托板8的顶部设有与其一体成型的挡框3。
29.籽晶放置于挡框3的内部，便于对籽晶进行定位。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述
的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
技术特征：
1.一种晶向测量仪的工作台，包括工作台本体，其特征在于：所述工作台本体的顶部位于其中心处活动设有由驱动器驱动的环形的旋转座，所述旋转座的顶部固定设有测量仪安装结构，所述工作台本体上位于旋转座的中心处设有籽晶放置器，工作台本体包括外壳，所述外壳的内部位于其中心处设有与其一体成型的中心台，所述中心台与外壳之间形成了空腔。2.根据权利要求1所述的一种晶向测量仪的工作台，其特征在于：所述旋转座的内壁设有与其一体成型的且与中心台的侧壁上的环槽a相配合的卡环a，旋转座的外壁设有与其一体成型且与外壳内壁上的环槽b相配合的卡环b，旋转座的底部设有与其一体成型的连接环。3.根据权利要求1所述的一种晶向测量仪的工作台，其特征在于：所述驱动器包括固定于旋转座底部的传动齿轮，所述传动齿轮上啮合有由电机驱动的驱动齿轮。4.根据权利要求2所述的一种晶向测量仪的工作台，其特征在于：所述外壳的侧壁位于空腔处开设有若干散热槽。5.根据权利要求1所述的一种晶向测量仪的工作台，其特征在于：所述测量仪安装结构包括固定于旋转座上的底座，所述底座的顶部固定设有立杆，所述立杆的端部固定设有测量仪定位槽。6.根据权利要求1所述的一种晶向测量仪的工作台，其特征在于：所述籽晶放置器包括固定于中心台的顶部且位于其中心处的托板，所述托板的顶部设有与其一体成型的挡框。
技术总结
本实用新型涉及一种晶向测量仪的工作台，包括工作台本体，所述工作台本体的顶部位于其中心处活动设有由驱动器驱动的环形的旋转座，所述旋转座的顶部固定设有测量仪安装结构，所述工作台本体上位于旋转座的中心处设有籽晶放置器，工作台本体包括外壳，所述外壳的内部位于其中心处设有与其一体成型的中心台，所述中心台与外壳之间形成了空腔；本实用新型使用时将待测量的籽晶置于籽晶放置器上，驱动器驱动旋转座转动，从而带动测量仪安装结构绕着籽晶放置器旋转，从而对籽晶的各个角度进行测量，其测量结果准确，且操作方便。且操作方便。且操作方便。
技术研发人员：陈志谋
受保护的技术使用者：扬州申威光电器材有限公司
技术研发日：2020.12.18
技术公布日：2021/11/16
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
