蚀刻装置和异质结电池片绕镀去除设备的制作方法

1.本实用新型涉及电池板蚀刻技术领域，具体而言，涉及一种蚀刻装置和异质结电池片绕镀去除设备。


背景技术：

2.异质结电池非晶硅镀膜及正面导电膜会有绕镀问题，尤其是非晶硅掺杂层镀膜与正面全面积导电氧化物镀膜会导致异质结电池产生绕镀问题。相关技术中，需要通过激光蚀刻装置或印刷蚀刻装置对电池板的边缘进行蚀刻，而激光蚀刻装置或印刷蚀刻装置的成本较高，并且结构和控制过程都较为复杂，不便于工作人员操作。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
4.为此，本实用新型的第一方面提出了一种蚀刻装置。
5.本实用新型的第二方面提出了一种异质结电池片绕镀去除设备。
6.有鉴于此，本实用新型的第一方面提出了一种蚀刻装置，包括：至少一个工作台，用于固定放置电池片；点胶组件，其上装载有刻蚀胶；点胶组件能够围绕工作台边缘移动，以将刻蚀胶涂抹于电池片的边缘。
7.可选的，电池片的边缘包括但不限于电池片的周侧、电池片的正面边缘、电池片的反面边缘。可选的，电池片可以为异质结电池片。本实用新型提供的蚀刻装置，包括至少一个工作台和点胶组件，其中，工作台用于放置电池片，从而将电池片固定于工作台上；点胶组件用于装载刻蚀胶，进而将刻蚀胶涂抹于电池片的边缘。具体地，工作台可以包括真空吸附装置，通过真空吸附装置对电池片的表面进行真空吸附，以使得电池片固定在工作台上，进一步地，点胶组件上装载有刻蚀胶，通过将点胶组件在电池片的侧方围绕工作台移动，同时将点胶组件上装载的刻蚀胶涂抹于电池片的边缘，进而完成电池片的边缘蚀刻。
8.本实用新型提供的蚀刻装置，通过工作台对电池片进行吸附固定，并通过点胶组件装载刻蚀胶围绕工作台边缘进行移动，将刻蚀胶涂抹于电池片的边缘，完成电池片的边缘蚀刻。相比于现有技术中的激光蚀刻装置或印刷蚀刻装置，本技术提供的蚀刻装置的结构更加精简，易于组装和维护，装置成本较低。并且，控制过程简单，方便人员操作，降低了针对电池片的边缘刻蚀的难度。
9.具体地，在进行蚀刻时，点胶组件上装载有刻蚀胶，移动点胶组件，使得刻蚀胶与电池片的边缘相接触，并且控制点胶组件围绕工作台移动，使得点胶组件沿电池片的周向围绕电池片移动一周，从而将点胶组件上的刻蚀胶均匀涂抹于电池片的边缘，进而完成电池片的边缘蚀刻。
10.进一步地，工作台的数量可以为多个，从而同时对多个电池片进行蚀刻，提高电池片的蚀刻效率。
11.根据本实用新型提供的上述的蚀刻装置，还可以具有以下附加技术特征：
12.在上述技术方案中，进一步地，工作台的数量为两个，两工作台相对设置；两个电池片平行设置且边缘相齐平。
13.在该技术方案中，蚀刻装置的工作台的数量可以为两个，并且两个工作台相对设置，从而使得两个工作台上均吸附有电池片时，两个电池片平行设置，并且沿垂直于电池片的方向上，两个电池片的边缘相齐平。进而使得点胶组件可以同时与两个电池片的边缘相接触，并且在点胶组件移动时，可以同时在两个电池片的边缘进行刻蚀胶的涂抹。
14.通过两个工作台的设置，可以同时通过两个工作台对两个电池片进行吸附固定，并且将两个电池片的边缘对其，使得点胶棒可以同时对两个电池片进行边缘蚀刻，进而提高了电池片边缘蚀刻的效率。
15.在上述任一技术方案中，进一步地，工作台包括：本体；吸附工位，凸出设置于本体上，用于吸附电池片。
16.在该技术方案中，工作台可以包括本体和吸附工位，其中，吸附工位设置于本体上，用于吸附电池片。
17.在上述任一技术方案中，进一步地，吸附工位的边缘位于本体边缘的内侧，且电池片的边缘位于本体的边缘的外侧。
18.在该技术方案中，电池片吸附于吸附工位时，电池片的边缘位于本体的边缘的外侧，从而可以使得电池片的边缘突出于工作台的外侧，进而保证了点胶组件对电池片的边缘进行涂胶时，能够与电池片的边缘充分接触，避免工作台对点交组件的移动造成影响，保证电池片边缘蚀刻的效果，尤其是通过点检组件可以从工作台的外侧接触到电池片，可以同时对两个电池片的边缘进行涂胶。
19.进一步地，吸附工位凸出于本体设置，并且吸附工位的边缘位于本体的边缘的内侧，从而使得电池片吸附于吸附工位时，电池片的表面与本体之间存在一定间隙，进而方便电池片的抓取移动。
20.在上述任一技术方案中，进一步地，蚀刻装置还可以包括：一输送机构，用于将电池片输送至工作台上。
21.在该技术方案中，蚀刻装置还可以设置有一输送机构，用于实现对电池片的自动抓取与移动，从而提高了蚀刻装置的自动化程度，既保证了电池片放置位置的准确性，也方便了工作人员进行操作。
22.在上述任一技术方案中，进一步地，输送机构包括机械手或真空吸附装置。
23.在该技术方案中，输送机构可以包括机械手或真空吸附装置。具体地，针对于表面光滑度较低的电池片，通过机械手对电池片进行抓取，可以保证电池片的稳定抓取，也同样避免移动过程中电池片脱落，保证了蚀刻装置运行的稳定性。针对于表面光滑度较高的电池片，可以采用真空吸附装置作为输送机构，进行电池片的抓取与移动，保证了电池片抓取与移动过程中的从而避免了输送机构对于电池片表面造成损坏，保证电池片的质量。两个工作台相对设置，对应的吸附工位相对且保持一定间隙。尤其是输送机构为真空吸附装置时，可以在真空吸附装置的两侧分别设置用于吸附电池片的吸盘，这样可以使用同一真空吸附装置伸入两个吸附工位的间隙处，分别通过相应的吸盘将电池片输送至靠近的吸附工位上，在输送两个电池片的过程中，真空吸附装置的水平运动基本一样，区别在于向上或向下靠近对应的吸附工位，节省了输送机构的运动行程，提高了电池片的输送效率，再结合点
检组件对两个电池片的边缘同时涂覆刻蚀胶，可以大大提高生产效率。
24.在上述任一技术方案中，进一步地，点胶组件包括：点胶件；驱动件，与点胶件相连接，用于带动点胶件围绕工作台的周侧移动，以使点胶件在电池片的边缘表面移动。
25.在该技术方案中，点胶组件可以包括点胶件和驱动件，其中，点胶件用于装载刻蚀胶，驱动件与点胶件相连接，用于带动点胶件围绕工作台进行移动，以使点胶件在电池片的边缘表面移动，进而实现将点胶件上装载的刻蚀胶涂抹于电池片的边缘。通过驱动件的设置，可以使得点胶件的移动过程更加稳定，保证电池片边缘蚀刻的均匀性，保证了电池片的边缘蚀刻效果。
26.在上述任一技术方案中，进一步地，点胶件包括：点胶棒，用于装载刻蚀胶；以及点胶棒的棒体为柔性棒体。
27.在该技术方案中，点胶件可以包括用于装载刻蚀胶的点胶棒，在进行蚀刻时，驱动件带动点胶棒移动，点胶棒与电池片的边缘相接触，将刻蚀胶涂抹于电池片的边缘，进而完成电池片的边缘蚀刻。
28.进一步地，点胶棒的棒体可以设置为柔性棒体，从而使得点胶棒与电池片的边缘接触时，能够发生一定形变，不仅可以将刻蚀胶涂抹于电池片的周侧，还能够对与电池片的周侧连接的上表面边缘处的小面积和下表面边缘处的小面积(即电池片的正面边缘、反面边缘)进行涂抹，避免发生蚀刻部分的遗漏，进而提高了电池片边缘蚀刻的效果。
29.根据本实用新型的第二方面，提出了一种异质结电池片绕镀去除设备，包括：如权上述技术方案中任一项的蚀刻装置，用于对电池片的边缘涂抹刻蚀胶；加热装置，用于对涂抹刻蚀胶的电池片进行加热。
30.本实用新型提供的异质结电池片绕镀去除设备，包括上述任一技术方案的蚀刻装置。蚀刻装置用于对电池片的边缘涂抹刻蚀胶，蚀刻装置首先将刻蚀胶涂抹于电池片的边缘，进一步对电池片进行烘干加热，使得刻蚀胶腐蚀电池片边缘的非晶硅或导电氧化物，进而使得非晶硅或导电氧化物失去依附，最后将失去依附的非晶硅或氧化物清洗去除，有效地解决了电池片的绕镀现象，减小了电池片的暗电流，提高了电池片的良率。
31.进一步地，本实用新型提供的异质结电池片绕镀去除设备，因包括上述技术方案中任一项的蚀刻装置，从而具有了上述技术方案中蚀刻装置的全部有益效果，在此不再赘述。
32.进一步地，异质结电池片绕镀去除设备还包括：加热装置，用于对涂抹刻蚀胶的电池片进行加热。
33.在该技术方案中，通过加热装置的设置，可以对边缘蚀刻后的电池片进行烘干加热，进而实现通过刻蚀胶腐蚀电池片边缘的非晶硅或导电氧化物，使得非晶硅或导电氧化物失去依附，从而去除电池片的绕镀，提高了电池片的良率。
34.在上述任一技术方案中，进一步地，异质结电池片绕镀去除设备还包括：清洗装置，用于对电池片进行清洗。
35.在该技术方案中，通过清洗装置的设置，可以对电池片进行清洗，进而将失去依附的非晶硅或氧化物清洗去除，提高了电池片绕镀的去除效果，保证了电池片的良率。
36.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
37.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
38.图1示出了本实用新型第一个实施例提供的蚀刻装置的结构示意图；
39.图2示出了图1中蚀刻装置的工作台吸附有电池片状态的结构示意图；
40.图3示出了本实用新型第二个实施例提供的蚀刻装置的结构示意图；
41.图4示出了图1中蚀刻装置的点胶组件在电池片边缘涂抹刻蚀胶的状态的结构示意图；
42.图5示出了本实用新型第三个实施例提供的蚀刻装置的结构示意图；
43.图6示出了图5中蚀刻装置的工作台未吸附电池片状态的结构示意图；
44.图7示出了图5中蚀刻装置的工作台吸附有一个电池片的状态的结构示意图；
45.图8示出了图5中蚀刻装置的工作台吸附有两个电池片的状态的结构示意图；
46.图9示出了本实用新型第四个实施例提供的蚀刻装置的结构示意图；
47.图10示出了图9中蚀刻装置的输送机构输送电池片的状态的结构示意图；
48.图11示出了图9中蚀刻装置的点胶组件在电池片边缘涂抹刻蚀胶的状态的结构示意图。
49.其中，图1至图11中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
50.100蚀刻装置，110工作台，112本体，114吸附工位，120点胶组件，130电池片，140输送机构。
具体实施方式
51.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
52.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
53.下面参照图1至图11描述根据本实用新型一些实施例的蚀刻装置和异质结电池片绕镀去除设备。
54.如图1、图2和图4所示，本实用新型提出了一种蚀刻装置100，包括：至少一个工作台110，用于固定放置电池片130；点胶组件120，其上装载有刻蚀胶；点胶组件120能够围绕工作台110边缘移动，以将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘。
55.可选的，电池片130的边缘包括但不限于电池片130的周侧、电池片130的正面边缘、电池片130的反面边缘。
56.可选的，刻蚀胶例如但不限于丝网印刷蚀刻膏，如ito蚀刻膏/hr
‑
577、hr
‑
578。刻蚀胶的作用是在加热时与电池片的边缘部位发生化学反应，腐蚀其非晶硅和透明导电氧化物，在后续清洗时去除。
57.本实用新型提供的蚀刻装置100，工作台110和点胶组件120，其中，工作台110用于吸附放置电池片130，从而将电池片130固定于工作台110上；点胶组件120用于装载刻蚀胶，
进而将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘。具体地，工作台110可以包括真空吸附装置，通过真空吸附装置对电池片130的表面进行真空吸附，以使得电池片130固定在工作台110上，进一步地，点胶组件120上装载有刻蚀胶，通过将点胶组件120在电池片130的侧方围绕工作台110移动，同时将点胶组件120上装载的刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘，进而完成电池片130的边缘蚀刻。
58.本实用新型提供的蚀刻装置100，通过工作台110对电池片130进行吸附固定，并通过点胶组件120装载刻蚀胶围绕工作台110边缘进行移动，将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘，完成电池片130的边缘蚀刻。相比于现有技术中的激光蚀刻装置或印刷蚀刻装置，本技术提供的蚀刻装置的结构更加精简，易于组装和维护，成本较低。并且，控制过程简单，方便人员操作，降低了针对电池片130的边缘刻蚀的难度。
59.具体地，在进行蚀刻时，点胶组件120上装载有刻蚀胶，移动点胶组件120，使得刻蚀胶与电池片130的边缘相接触，并且控制点胶组件120围绕工作台110移动，使得点胶组件120沿电池片130的周向围绕电池片130移动一周，从而将点胶组件120上的刻蚀胶均匀涂抹于电池片130的边缘，进而完成电池片130的边缘蚀刻。
60.进一步地，工作台110的数量可以为多个，从而同时对多个电池片130进行蚀刻，提高电池片130的蚀刻效率。
61.在上述实施例中，进一步地，如图5、图6、图7和图8所示，工作台110的数量为两个，两工作台110相对设置；两个电池片130平行设置且边缘相齐平。
62.在该实施例中，蚀刻装置100的工作台110的数量可以为两个，并且，两个工作台110相对设置，从而使得两个工作台110上均吸附有电池片130时，两个电池片130平行设置，并且沿垂直于电池片130的方向上，两个电池片130的边缘相齐平。进而使得点胶组件120可以同时与两个电池片130的边缘相接触，并且在点胶组件120移动时，可以同时在两个电池片130的边缘进行刻蚀胶的涂抹。
63.通过两个工作台110的设置，可以同时通过两个工作台110对两个电池片130进行吸附固定，并且将两个电池片130的边缘对其，使得点胶棒可以同时对两个电池片130进行边缘蚀刻，进而提高了电池片130边缘蚀刻的效率。
64.进一步地，工作台110包括：本体112，吸附工位114，凸出设置于本体112上，用于吸附电池片130。
65.具体地，工作台110可以包括本体112和吸附工位114，其中，吸附工位114设置于本体112上，用于吸附电池片130。
66.进一步地，吸附工位114的边缘位于本体112边缘的内侧，且电池片130的边缘位于本体112的边缘的外侧。
67.具体地，在电池片130吸附于吸附工位114时，电池片130的边缘位于本体112的边缘的外侧，从而可以使得电池片130的边缘突出于工作台110的外侧，进而保证了点胶组件120对电池片130的边缘进行蚀刻时，能够与电池片130的边缘充分接触，避免工作台110对点交组件的移动造成影响，保证电池片130边缘蚀刻的效果。
68.进一步地，吸附工位114凸出于本体112设置，并且吸附工位114的边缘位于本体112的边缘的内侧，从而使得电池片130吸附于吸附工位114时，电池片130的表面与本体112之间存在一定间隙，进而方便电池片130的抓取移动。
69.在上述任一实施例中，进一步地，如图3、图9和图10所示，蚀刻装置100还可以包括：一输送机构140，用于将电池片130输送至工作台110上。
70.在该实施例中，蚀刻装置100还可以设置有输送机构140，用于实现对电池片130的自动抓取与移动，从而提高了蚀刻装置100的自动化程度，既保证了电池片130放置位置的准确性，也方便了工作人员进行操作。
71.进一步地，输送机构140包括机械手或真空吸附装置。
72.具体地，输送机构140可以包括机械手或真空吸附装置。具体地，针对于表面光滑度较低的电池片130，通过机械手对电池片130进行抓取，可以保证电池片130的稳定抓取，也同样避免移动过程中电池片130脱落，保证了蚀刻装置100运行的稳定性。针对于表面光滑度较高的电池片130，可以采用真空吸附装置作为输送机构140，进行电池片130的抓取与移动，保证了电池片130抓取与移动过程中的从而避免了输送机构140对于电池片130表面造成损坏，保证电池片130的质量。
73.在上述任一实施例中，进一步地，如图3、图9和图10所示，点胶组件120包括：点胶件；驱动件，与点胶件相连接，用于带动点胶件围绕工作台110移动，以使点胶件在电池片130的边缘表面移动。
74.在该实施例中，点胶组件120可以包括点胶件和驱动件，其中，点胶件用于装载刻蚀胶，驱动件与点胶件相连接，用于带动点胶件围绕工作台110进行移动，进而实现将点胶件上装载的刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘。通过驱动件的设置，可以使得点胶件的移动过程更加稳定，保证电池片130边缘蚀刻的均匀性，保证了电池片130的边缘蚀刻效果。
75.进一步地，点胶件包括：点胶棒，用于装载刻蚀胶，点胶棒的棒体为柔性棒体。具体地，点胶件可以包括用于装载刻蚀胶的点胶棒，在进行蚀刻时，驱动件带动点胶棒移动，点胶棒与电池片130的边缘相接触，将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘。
76.进一步地，点胶棒的棒体可以设置为柔性棒体，从而使得点胶棒与电池片130的边缘接触时，能够发生一定形变，不仅可以将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘，还能够对与电池片130的边缘连接的上表面和下表面的进行小面积的涂抹，避免发生蚀刻部分的遗漏，进而提高了电池片130边缘蚀刻的效果。
77.可选的，驱动件的实施方式有多种，如通过电机与齿轮配合带动链条运动，从而带动链条上的点胶件围绕电池片运动。再如，通过围绕电池片外围的轨道和轨道上的智能运动小车带动点胶件围绕电池片运动。当然也可以通过人工带动点胶件围绕电池片运动。因此，只要出现驱动件带动点胶件围绕电池片的边缘运动，以将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘，均在本技术的保护范围之内。
78.根据本实用新型第二方面的实施例，提出了一种异质结电池片绕镀去除设备，包括：如权上述技术方案中任一项的蚀刻装置100，用于对电池片130的边缘涂抹刻蚀胶；加热装置，用于对涂抹刻蚀胶的电池片进行加热。
79.本实用新型提供的异质结电池片绕镀去除设备，包括上述任一技术方案的蚀刻装置100。可选的，电池片可以为异质结电池片。蚀刻装置用于对电池片130的边缘涂抹刻蚀胶，蚀刻装置100首先将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘，进一步对电池片130进行烘干加热，使得刻蚀胶腐蚀电池片130边缘的非晶硅或导电氧化物，进而使得非晶硅掺杂层或正面全面积导电氧化物失去依附，最后将失去依附的非晶硅或氧化物清洗去除，有效地解决了
电池片130的绕镀现象，减小了电池片130的暗电流，提高了电池片130的良率。
80.进一步地，本实用新型提供的异质结电池片绕镀去除设备，因包括上述技术方案中任一项的蚀刻装置100，从而具有了上述技术方案中蚀刻装置100的全部有益效果，在此不再赘述。
81.进一步地，异质结电池片绕镀去除设备还包括：加热装置，用于对涂抹刻蚀胶的电池片130进行加热。
82.具体地，通过加热装置的设置，可以对边缘蚀刻后的电池片130进行烘干加热，进而实现通过刻蚀胶腐蚀电池片130边缘的非晶硅或导电氧化物，使得非晶硅或导电氧化物失去依附，从而去除电池片130的绕镀，提高了电池片130的良率。
83.进一步地，异质结电池片绕镀去除设备还包括：清洗装置，用于对电池片130进行清洗。
84.具体地，通过清洗装置的设置，可以对电池片130进行清洗，进而将失去依附的非晶硅或氧化物清洗去除，提高了电池片130绕镀的去除效果，保证了电池片130的良率。
85.具体实施例：
86.根据本实用新型的一个具体实施例，如图1至图11所示，提出了一种蚀刻装置100，包括：包括工作台110和点胶组件120，其中，工作台110用于固定放置电池片130，从而将电池片130固定于工作台110上；点胶组件120用于装载刻蚀胶，进而将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘。具体地，点胶组件120包括点胶件和驱动件，其中，点胶件包括点胶棒，用于装载刻蚀胶，点胶件与驱动件相连接，驱动件带动点胶件围绕工作台110进行移动，进而实现将点胶棒上装载的刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘。具体地，通过表面吸附或者棒内部流动传输的方式，携带和补充刻蚀胶，运动并靠近电池片130边缘，围绕电池片130运动一周，同时为两片电池片130边缘均匀的涂上刻蚀胶，完成点胶后运动至初始位置，等待下一次点胶。
87.进一步地，点胶棒为柔性棒，在环绕电池片130周侧运动时，可以通过驱动件带动点胶棒对电池片130周侧施加压力并涂覆刻蚀胶，这样既可以保证电池片130边缘侧部的刻蚀胶的涂覆均匀，无遗漏面积，又可以对电池片130边缘上部或下部进行小面积的涂覆，在烘干加热时，尤其是电池片采用异质结电池时，刻蚀胶会蚀刻电池片130的腐蚀非晶硅和/或透明导电氧化物，从而使透明导电氧化物表面出现的绕镀失去依附，然后经过清洗去除，可以有效解决电池片130出现的绕镀问题。
88.进一步地，如图5、图6、图7和图8所示工作台110包括上工作台和下工作台，平台尺寸比相应电池片130尺寸较小，确保电池片130边缘超出平台，同时工作台110提供一定的真空吸力，确保后续工艺过程中电池片130固定。
89.进一步地，如图3、图9和图10所示，蚀刻装置100还包括输送机构140，用于将电池片130输送至工作台110上。具体地，采用真空吸附或者机械夹取等方式，将电池片130运送至上下工作台110中间，机械手具备精确定位功能，能精确放置电池片130于工作台110。
90.进一步地，输送机构140将完成点胶的电池片130运送出工作台110，进行后续的烘干刻蚀，去胶等步骤。刻蚀胶的作用是腐蚀非晶硅和透明导电氧化物，去掉电池片130的边缘。刻蚀胶在加热时与电池片130的边缘部位发生化学反应，在后续清洗时完全去除。刻蚀胶包括但不限于丝网印刷蚀刻膏，如导电玻璃蚀刻膏，导电玻璃蚀刻膏在触控面板行业是较通用的产品，不含氟化氢和氯化物，专门为显示屏生产过程中蚀刻玻璃上的导电玻璃层
及其他导电膜而研发。不但拥有优异的丝网印刷提供优越的条件，而且符合环保要求。
91.进一步地，刻蚀过程具体为：首先对丝网印刷后的电池片130检测暗电流，筛选出暗电流不合格的电池片130，作为以出现绕镀的电池片130，然后通过边缘蚀刻装置100在电池片130周侧涂覆刻蚀胶，过程如下：
92.步骤1：机械手携带第一片电池片130进入下工作台110上方；
93.步骤2：机械手将电池片130放置于下工作台110，并被下工作台110吸附固定；
94.步骤3：机械手携带第二片电池片130进入上工作台110下方；
95.步骤4：机械手将电池片130放置于上工作台110，并被上工作台110吸附固定；
96.步骤5：点胶棒运动至电池片130边缘；
97.步骤6：点胶棒围绕两片电池片130运动一周，并均匀的在两片电池片130四周边缘涂上刻蚀胶；
98.步骤7：机械手携带完成点胶的第一片电池片130离开，进入后续的烘干，去胶等步骤；
99.步骤8：机械手携带完成点胶的第二片电池片130离开，进入后续的烘干，去胶等步骤；
100.步骤9：工作台110完成点胶过程，进入待机状态。
101.进一步地，电池片130边缘涂覆刻蚀胶之后，将电池片130加温(100℃
‑
180℃，视材料而定)进行蚀刻，刻蚀的边缘扩散较低(50μm之内)；加工完后纯水冲洗。
102.优选的，在步骤1
‑
4中，如果采用真空吸附装置运输电池片130，很容易实现双面均吸附电池片130，达到同时输送两个电池片130的效果。先通过控制真空吸附装置将两个电池片130输送至上工作台和下工作台之间的间隙处，然后再竖直向上或向下运动，依次将两个电池片130分别放置在上工作台和下工作台上，可以节省真空吸附装置的水平运动距离。也可以配套点胶组件120同时对两个电池片130涂覆刻蚀胶。同理，在两个电池片130同时均涂胶或加热后，也可以同时取下两个电池片130。以这种方式涂覆刻蚀胶，去除电池片130的绕镀，可以大大提高工作效率。
103.当然，真空吸附装置可以采用两套抽真空系统，分别控制两个电池片130的吸附。也可以共用一个抽真空系统，当真空吸附装置水平运动至上工作台和下工作台之间的间隙处后，先向下运动，解除真空吸附装置对电池片130的真空吸附，打开下工作台的吸附工位，先放置下面的电池片130，再向上移动，放置上面的电池片130。或者上料时控制抽真空系统对电池片130的吸附力要小于上工作台、下工作台对电池片130的吸附力，当真空吸附装置水平运动至上工作台和下工作台之间的间隙处，不解除真空吸附装置对电池片130的真空吸附，打开下工作台的吸附工位，真空吸附装置向下或向上运动，通过吸附工位和真空吸附装置的吸力差值放置电池片130。下料时，控制抽真空系统对电池片130的吸附力要大于上工作台、下工作台对电池片130的吸附力。当然，通过真空吸附装置同时输送两个电池片130的方案有很多，在此不再逐一穷举。因此，在本技术中，通过输送机构140依次输送两个电池片130或同时输送两个电池片130，和/或再配合点胶组件120同时对两个电池片130的边缘涂覆刻蚀胶，均在本本技术的保护范围之内。
104.当然，真空吸附装置也可以每次输送一个电池片。本实用新型提供的蚀刻装置100，通过工作台110对电池片130进行吸附固定，并通过点胶组件120装载刻蚀胶围绕工作
台110进行移动，将刻蚀胶涂抹于电池片130的边缘，完成电池片130的边缘蚀刻。相比于现有技术中的激光蚀刻装置或印刷蚀刻装置，本技术提供的蚀刻装置的结构更加精简，易于组装和维护，成本较低。并且，控制过程简单，方便人员操作，降低了针对电池片130的边缘刻蚀的难度。
105.在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
106.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
107.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。