一种基板划线的激光加工设备的制作方法

技术特征：
1.一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，包括机架(1)，所述机架(1)正面顶端的中间位置设置有激光头安装板(2)，所述激光头安装板(2)的一侧设置有若干激光头(9)，所述机架(1)内部的一侧设置有x轴移栽机构(5)，所述机架(1)内部的另一侧设置有y轴移栽机构(4)，所述x轴移栽机构(5)与所述y轴移栽机构(4)之间设置有z轴高精度直线电机移栽机构(6)，所述z轴高精度直线电机移栽机构(6)的顶端设置有工件负载支架(7)，所述机架(1)顶端的一侧设置有人机界面(3)。2.根据权利要求1所述的一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，所述z轴高精度直线电机移栽机构(6)的一侧设置有z轴带抱闸移栽机构(8)。3.根据权利要求1所述的一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，所述机架(1)内部的底端设置有与所述x轴移栽机构(5)和所述y轴移栽机构(4)相配合连接的气源三联件(10)，所述机架(1)内部的一侧设置有与所述气源三联件(10)相配合连接的真空发生器(11)，所述机架(1)内部顶端的一侧设置有电源开关(12)。4.根据权利要求3所述的一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，所述机架(1)内部远离所述气源三联件(10)的一侧设置有散热风机网罩(13)。5.根据权利要求1所述的一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，所述工件负载支架(7)由可替换玻璃支架(14)和玻璃真空吸附板(15)构成，所述玻璃真空吸附板(15)位于所述可替换玻璃支架(14)的内部。6.根据权利要求5所述的一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，所述玻璃真空吸附板(15)通过玻璃真空吸附板支架(17)与所述可替换玻璃支架(14)相配合连接，所述玻璃真空吸附板(15)与所述玻璃真空吸附板支架(17)之间设置有o型密封圈(16)。7.根据权利要求6所述的一种基板划线的激光加工设备，其特征在于，所述玻璃真空吸附板支架(17)的底端设置有气管接头(18)，所述玻璃真空吸附板支架(17)的底端设置有玻璃真空吸附板支架调整螺栓(19)。

技术总结
本发明公开了一种基板划线的激光加工设备，包括机架，所述机架正面顶端设有激光头安装板，所述激光头安装板的一侧设有若干激光头，所述机架内部的一侧设有X轴移栽机构，所述机架内部的另一侧设有Y轴移栽机构，所述X轴移栽机构与所述Y轴移栽机构之间设有Z轴高精度直线电机移栽机构，所述Z轴高精度直线电机移栽机构的顶端设有工件负载支架，所述机架顶端的一侧设有人机界面。有益效果：该设备能做到Z轴玻璃与基片接触面0


技术研发人员：房灵申 申明海 邓远贵 杨胜荣 谷杨元
受保护的技术使用者：昆山燎原自动化设备有限责任公司
技术研发日：2021.08.04
技术公布日：2021/11/8