光扫描型影像投影装置的制作方法

技术特征：
1.一种光扫描型影像投影装置，其具有：第1基板，其设置有具有多个光波导和光合波部的光波导型合波器；第2基板，其设置有具有可动镜的光扫描镜装置；以及光学部件，其将从所述光波导型合波器射出的光束以成为与所述光束的射出方向不同的方向的方式引导至所述可动镜，所述第1基板和所述第2基板配置成相互平行的位置关系。2.根据权利要求1所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件具有将由所述可动镜扫描的光束向与所述第2基板的主面平行的方向引导的作用。3.根据权利要求1所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件具有将由所述可动镜扫描的光束向与所述第2基板的主面垂直的方向引导的作用。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光束包含向所述光波导型合波器的上方弯曲的光路。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述可动镜的主面在非动作时与所述第2基板的主面平行。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的光扫描型影像投影装置，其中，该光扫描型影像投影装置还具有搭载所述第1基板和所述第2基板的共用的搭载基板。7.根据权利要求6所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述搭载基板的搭载面的整体是平坦的，所述光学部件具有：第1反射镜，其设置于所述搭载基板上；以及第2反射镜，其将由所述第1反射镜反射的所述光束引导至所述可动镜，所述第2反射镜配置于与所述搭载基板的所述搭载面对置的位置。8.根据权利要求7所述的光扫描型影像投影装置，其中，第2反射镜由2个子反射镜构成，在所述2个子反射镜之间进行所述光束的反射。9.根据权利要求7所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述第1反射镜和所述第2反射镜中的一方是聚光性的反射镜。10.根据权利要求7或8所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述第1反射镜是非聚光性的反射镜，在所述光波导型合波器与所述第1反射镜之间具有聚光透镜。11.根据权利要求1所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件是相对于所述光束具有多个反射面的棱镜状部件。12.根据权利要求11所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述棱镜状部件具有聚光性反射面，所述聚光性反射面位于所述棱镜状部件的上方。13.根据权利要求11所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述棱镜状部件具有聚光性反射面，所述聚光性反射面位于所述棱镜状部件的下方。14.根据权利要求11所述的光扫描型影像投影装置，其中，
所述棱镜状部件具有聚光性反射面和1个以上的非聚光反射面。15.根据权利要求5所述的光扫描型影像投影装置，其中，在所述搭载基板的所述第1基板的搭载面与所述第2基板的搭载面之间存在台阶。16.根据权利要求15所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件是聚光透镜和非聚光性反射镜。17.根据权利要求15所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件是聚光性的反射镜。18.根据权利要求6所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光扫描镜装置配置在与所述搭载基板的搭载面对置的位置。19.根据权利要求18所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件是聚光透镜和非聚光性反射镜。20.根据权利要求18所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述光学部件是聚光性反射镜。21.根据权利要求19或20所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述搭载基板还具有反射来自所述可动镜的反射光的反射镜。22.根据权利要求19或20所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述搭载基板具有使来自所述可动镜的反射光透过的窗部。23.根据权利要求1至22中的任意一项所述的光扫描型影像投影装置，其中，对所述多个光波导的入射端分别配置光源元件而作为光源模块装置，所述光扫描型影像投影装置具有覆盖所述光源模块装置和所述光扫描镜装置的盖部件。24.根据权利要求23所述的光扫描型影像投影装置，其中，所述盖部件具有覆盖所述光源模块装置的第1盖部件和覆盖所述光扫描镜装置的第2盖部件。

技术总结
关于光扫描型影像投影装置，通过对光源模块装置和光扫描镜装置的配置进行研究，来减小光扫描型影像投影装置的高度。光扫描型影像投影装置具有：第1基板，其设置有具有多个光波导和光合波部的光波导型合波器；第2基板，其设置有具有可动镜的光扫描镜装置；以及光学部件，其将从所述光波导型合波器射出的光束以成为与所述光束的射出方向不同的方向的方式引导至所述可动镜，所述第1基板和所述第2基板配置成相互平行的位置关系。成相互平行的位置关系。成相互平行的位置关系。


技术研发人员：胜山俊夫 山田祥治 中尾慧
受保护的技术使用者：国立大学法人福井大学
技术研发日：2020.12.28
技术公布日：2021/11/8