LaNiO3薄膜的形成方法及器件的制造方法与流程

技术特征：
1.一种lanio3薄膜的形成方法，其包括：制备lanio3薄膜形成用液体组合物的工序：至少包括将lanio3前驱体和有机溶剂进行混合的工序和将在所述混合的工序中得到的混合物进行蒸馏脱水的工序；通过对被pt电极包覆的基板进行200℃以上且400℃以下、1分钟以上且5分钟以下的预先烘干，将吸附于每1cm2的所述基板表面的h2量、h2o量及co量分别设为1.0
×
10
‑
10
g以下、2.7
×
10
‑
10
g以下、4.2
×
10
‑
10
g以下，在所述预先烘干之后的60分钟以内将所述lanio3薄膜形成用液体组合物涂布于所述基板表面并进行干燥而形成涂膜的工序；临时烧结所述涂膜的工序；及烧成所述临时烧结后的涂膜而形成lanio3薄膜的工序，所述lanio3薄膜形成用液体组合物中，粒径为0.5μm以上的粒子的个数在每1毫升溶液中为50个/毫升以下，所述有机溶剂包含选自乙酸、2
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乙基己酸、乙二醇单丙基醚、乙二醇单异丙基醚、3
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甲氧基
‑1‑
丁醇及乙醇中的一种单一溶剂或两种以上的混合溶剂，所述lanio3前驱体包含无机金属化合物和/或有机金属化合物，所述无机金属化合物为硝酸盐或氯化物，所述有机金属化合物为羧酸盐、β
‑
二酮或醇盐。2.根据权利要求1所述的lanio3薄膜的形成方法，其中，所述硝酸盐为硝酸镧或硝酸镍，所述氯化物为氯化镧或氯化镍，所述羧酸盐为乙酸镧、乙酸镍、2
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乙基己酸镧或2
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乙基己酸镍，所述β
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二酮为乙酰丙酮镧或乙酰丙酮镍，所述醇盐为异丙醇镧。3.根据权利要求1所述的lanio3薄膜的形成方法，其中，所述lanio3前驱体包含硝酸镧、三异丙醇镧及2
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乙基己酸镧中的一种和硝酸镍、乙酸镍及2
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乙基己酸镍中的一种，所述有机溶剂包含2
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乙基己酸和乙二醇单丙基醚中的一种。4.根据权利要求3所述的lanio3薄膜的形成方法，其中，所述lanio3前驱体及所述有机溶剂的组合为以下的任意一个：(1)所述lanio3前驱体包含硝酸镧和硝酸镍，所述有机溶剂包含乙二醇单丙基醚；(2)所述lanio3前驱体包含三异丙醇镧和乙酸镍，所述有机溶剂包含乙二醇单丙基醚；(3)所述lanio3前驱体包含2
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乙基己酸镧和2
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乙基己酸镍，所述有机溶剂包含2
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乙基己酸。5.一种器件的制造方法，所述器件在电极中具有通过权利要求1至4中任一项所述的方法而形成的lanio3薄膜，其中，所述器件为薄膜电容器、电容器、集成无源器件ipd、dram存储用电容器、层叠电容器、铁电存储器用电容器、热释电型红外线检测元件、压电元件、电光元件、致动器、谐振器、超声波马达、电气开关、光学开关或lc噪声滤波器元件的复合电子组件。6.根据权利要求5所述的器件的制造方法，其中，所述lanio3薄膜为形成于所述电极的介质层的结晶取向性控制层。

技术总结
本发明涉及LaNiO3薄膜的形成方法及器件的制造方法，本发明的LaNiO3薄膜的形成方法包括：在被Pt电极包覆的基板中，在将吸附于每1cm2的所述基板表面的H2量、H2O量及CO量分别设为1.0


技术研发人员：藤井顺 樱井英章 曽山信幸
受保护的技术使用者：三菱综合材料株式会社
技术研发日：2015.03.18
技术公布日：2021/11/5