一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备及制备方法与流程

技术特征：
1.一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：包括固定平台(1)，所述固定平台(1)的一侧连接有炉体(5)，所述炉体(5)下方放置有液压搬运车(4)，所述液压搬运车(4)上放置有集料槽(2)，所述集料槽(2)上放置有冷却器(3)，所述冷却器(3)位于炉体(5)正下方；所述炉体(5)包括炉壳(51)，所述炉壳(51)的侧面设置有炉门(53)和通气管(511)，所述炉壳(51)内设置有保温层(55)，所述炉壳(51)内部的下部设置有坩埚(57)，所述坩埚(57)中央设置有中心柱(571)，所述中心柱(571)的顶端低于坩埚(57)的上表面，所述中心柱(571)上设置有贯穿的第二通孔(5711)，所述坩埚(57)外部设置有加热组件(56)，所述坩埚(57)上方设置有能上下移动的压块(58)，所述压块(58)的中央设置有第二空腔(581)，所述第二空腔(581)的内径大于中心柱(571)的外径；所述冷却器(3)呈筒状，且其筒壁设置有夹层，所述冷却器(3)外部的上下端分别设置有第一出水管(32)和第一进水管(33)，所述冷却器(3)中央为通道(31)。2.如权利要求1所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述固定平台(1)的一侧设置有滑轨(11)，所述滑轨(11)上滑动连接有第一滑动平台(12)，所述第一滑动平台(12)上滑动连接有第二滑动平台(13)，所述第二滑动平台(13)的滑动方向与第一滑动平台(12)的滑动方向相垂直，所述第二滑动平台(13)的一侧设置有承重叉(131)，所述炉体(5)的底部固定在承重叉(131)上，所述第二滑动平台(13)的中部设置有插孔(132)，所述固定平台(1)在第二滑动平台(13)上方的位置设置有电机(15)，所述电机(15)的转轴连接有减速器(14)，所述减速器(14)的输出轴设置有转盘(141)，所述转盘(141)上偏心设置有插杆(142)，所述插杆(142)位于插孔(132)内。3.如权利要求1所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述集料槽(2)内部为空腔且上部开口，所述集料槽(2)上方设置有可拆卸的槽盖(21)，所述槽盖(21)上设置有第一通孔(211)，所述通道(31)对准第一通孔(211)。4.如权利要求1所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述炉体(5)顶部设置有液压缸(52)，所述液压缸(52)的活塞杆穿透炉壳(51)与压块(58)连接。5.如权利要求1所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述加热组件(56)包括圆筒状的支撑筒(561)，所述支撑筒(561)内设置有发热体(562)，所述支撑筒(561)下部等间隔的设置有三个电极(54)，所述发热体(562)的下端与电极(54)接触并导通，所述支撑筒(561)上部设置有盖圈(563)，所述盖圈(563)下部设置有凹台，所述支撑筒(561)的上部位于该凹台内，所述支撑筒(561)的底部设置有定位圈(5611)，所述盖圈(563)和定位圈(5611)的内径稍大于坩埚(57)的外径且小于发热体(562)的内径。6.如权利要求5所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述发热体(562)呈圆筒型，所述发热体(562)的上部和下部都设置有缺口，且上部和下部的缺口间隔设置。7.如权利要求6所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述电极(54)的一端设置有安装槽(541)，所述电极(54)内部设置有第一空腔(542)，所述电极(54)的另一端设置有外螺纹部，所述第一空腔(542)在设置有外螺纹部的一端为开口，所述外螺纹部螺纹连接有两个螺母(543)，所述外螺纹部的外端螺纹连接有接头(544)；所述发热体(562)的下端位于安装槽(541)内。
8.如权利要求7所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备，其特征在于：所述接头(544)上设置有贯穿其两端的第二进水管(5441)，所述第二进水管(5441)的一端位于第一空腔(542)内，所述接头(544)的侧面设置有第二出水管(5442)，所述第二出水管(5442)与第一空腔(542)连通。9.用权利要求1所述的生产设备生产硅磷粉末的方法，其特征在于步骤如下：a、初级硅磷合金原料的制备：用保护气氛炉熔炼出具有一定含磷量的初级硅磷合金原料；b、检测和配料：对步骤a所得的初级硅磷合金原料进行成份检测，得到其具体的含磷量，之后将初级硅磷合金原料和纯硅块按一定的比例进行配料，以便使得到的混合料含磷量满足要求；c、硅磷合金的制备：将步骤b所得的混合料放入坩埚(57)中，关闭炉门(53)，之后通过通气管(511)向炉体(5)内持续通入氩气，将炉体(5)内部的空气排出，之后开始升温，待混合料熔化后，进行保温使得熔液的成份分布更均匀，之后启动液压缸(52)，使得压块(58)匀速向下运动，压入坩埚(57)内，使其内的熔液液面升高，之后从第二通孔(5711)向下流出，流出的液流从通道(31)内经过被冷却成固体，之后落入集料槽(2)中；d、硅磷粉末的制备：将步骤c所得的硅磷合金破碎成粉末，得到硅磷粉末。10.如权利要求9所述的一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的制作方法，其特征在于：在步骤c中坩埚(57)内的熔液从第二通孔(5711)向下流出时，启动电机(15)，使得炉体(5)做圆周运动，使得流出的液流呈螺旋状下落。

技术总结
本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种用于喷涂靶材的硅磷粉末的生产设备及制备方法。包括固定平台，固定平台的一侧连接有炉体，炉体下方放置有液压搬运车，液压搬运车上放置有集料槽，集料槽上放置有冷却器；炉体内部的下部设置有坩埚，坩埚中央设置有中心柱，中心柱上设置有第二通孔，坩埚外部设置有加热组件，坩埚上方设置有能上下移动的压块，所述压块的中央设置有第二空腔，所述第二空腔的内径大于中心柱的外径；冷却器呈筒状，其中央为通道。本发明可以使得硅磷熔液迅速降温凝固，因此磷均匀的分布在晶粒中，从而在制粉时，出粉率能达到纯硅或者硅硼材质的水平，并且，制得的粉末不会随着时间的推移碎成更小的颗粒。得的粉末不会随着时间的推移碎成更小的颗粒。得的粉末不会随着时间的推移碎成更小的颗粒。


技术研发人员：张志祥 胡习光
受保护的技术使用者：江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
技术研发日：2021.08.06
技术公布日：2021/11/4