露点温度调节用除湿装置的制作方法

1.本发明涉及一种露点温度调节用除湿装置，其用于减少制造使用怕湿材料的精密设备或精密部件的作业区域中的空气中的水分(降低露点温度)。


背景技术：

2.在超精密作业中，向干燥室等被隔离的操作室供给调整了温湿度后的调整空气。例如，专利文献1中记载有一种用于调整温湿度的温湿度调整装置，其特征在于，具备：干式除湿器，其抽吸处理空气并对其进行除湿而制成干燥空气；温湿度调整机构，调节除湿后的空气的温度；及送风机，将已调节温湿度的空气送出，并且，这些设备容纳在一个壳体内。
3.以往技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开平11
‑
006636号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的技术课题
7.在精密设备等有关电气和电子的技术领域中，要求将制造锂离子电池、有机el显示装置、偏光膜或半导体等的作业区域管理成非常低的湿度。而且，该作业区域中的露点温度越低越好，而在以往的除湿装置中，仅以降低空气中的湿度为目的。
8.例如，在锂离子电池的制造中，作为原料的锂化合物会吸附空气中的水分，这会导致制造出的锂离子电池的性能下降。因此，为了降低锂离子电池的制造区域内的空气的湿度，需要将露点温度设为
‑
30℃以下。
9.并且，用于有机el显示装置的有机el元件的有机发光材料等有机物质及电极非常怕水分，其性能和物质特性会显著下降。因此，要求严格管理有机el显示装置的制造区域内的空气的湿度。
10.在像以往的除湿装置那样仅以降低空气中的湿度为目的的控制中，由于依赖于所述除湿装置的性能而进行除湿，因此在
‑
20℃以下的低露点下，无法稳定地维持在任意的露点温度。
11.因此，本发明的课题在于提供一种露点温度调节用除湿装置，其能够进行必要且充分的除湿，并且能够稳定地将空气的露点温度调节到任意的设定值。
12.用于解决技术课题的手段
13.针对在除湿后的环境下制造的产品而言，即使原材料相同，产品品质还是会出现性能差。其原因在于生产线中的环境的差异。例如，在锂离子电池的制造中，需要将作业区域内的露点温度设为
‑
30℃以下，而在露点温度为
‑
80℃和
‑
30℃时，制造出来的锂离子电池会出现性能差。
14.因此，从二次电池等的品质管理的观点考虑，本发明人等针对能够将作业区域的空气稳定地调节成与二次电池及其材料等相对应的适当的露点温度的除湿装置进行了深
入研究。其结果得到了如下的见解，即，在露点温度调节用除湿装置中，通过调节选自用于向装置内部供给空气的供给风扇、除湿转子、吹出风量调节风门、用于排出空气的排气风扇、排气风量调节风门及再生加热器(即，该除湿装置的功能部)中的至少一个的运转动作，能够稳定地将空气的露点温度调节到任意的设定值，由此，完成了本发明。
15.即，本发明为如下的露点温度调节用除湿装置。
16.为了解决上述课题，本发明提供一种露点温度调节用除湿装置，其用于将空气的露点温度调整到
‑
20℃以下，其特征在于，具备调整部，所述调整部调节选自用于向该露点温度调节用除湿装置供给空气的供给风扇的转速、除湿转子的旋转速度、吹出风量调节风门的开度、用于排出空气的排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度中的至少一个运转动作，从而调整露点温度。
17.根据该露点温度调节用除湿装置，通过调节供给风扇的转速、吹出风量调节风门的开度来增减针对每单位体积的空气进行除湿的处理频率。并且，通过调节除湿转子的旋转速度、排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度来增减除湿转子的除湿处理效率。
18.即，根据该露点温度调节用除湿装置，通过调整部来调节供给风扇的转速、除湿转子的旋转速度、吹出风量调节风门的开度、排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度中的至少一个运转动作，因此，能够调整对处理空气的除湿强度。因此，该露点温度调节用除湿装置能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度。由此获得能够将作业区域内的露点温度稳定地维持在任意的设定值的效果。
19.为了解决上述课题，本发明提供一种露点温度调节用除湿装置，其特征在于，将露点温度调整为设定值
±
5℃的范围内。
20.根据该露点温度调节用除湿装置，能够更加稳定地维持供给至作业区域的已处理完空气的露点温度，因此能够提供严格管理在特定的露点温度范围内的制造区域。
21.为了解决上述课题，本发明提供一种露点温度调节用除湿装置，其特征在于，调整部是控制运转动作的控制部。
22.根据该露点温度调节用除湿装置，能够更加准确地控制供给风扇的转速、除湿转子的旋转速度、吹出风量调节风门的开度、排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度中的至少一个运转动作，因此能够稳定地提供管理在特定的露点温度范围内的制造区域。
23.为了解决上述课题，本发明提供一种露点温度调节用除湿装置的使用方法，所述露点温度调节用除湿装置将空气的露点温度调整到
‑
20℃以下，其特征在于，调节用于向该露点温度调节用除湿装置供给空气的供给风扇的转速、除湿转子的旋转速度、吹出风量调节风门的开度、排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度中的至少一个运转动作。
24.根据该露点温度调节用除湿装置的使用方法，通过调节供给风扇的转速、吹出风量调节风门的开度来增减针对每单位体积的空气进行除湿的处理频率。并且，通过调节除湿转子的旋转速度、排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度来增减除湿转子的除湿处理效率。
25.即，根据该露点温度调节用除湿装置的使用方法，调节供给风扇的转速、除湿转子的旋转速度、吹出风量调节风门的开度、排气风扇的转速及排气风量调节风门的开度中的至少一个运转动作，因此，能够调整对处理空气的除湿强度。因此，该露点温度调节用除湿装置的使用方法能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度。由此获得能够将作
业区域内的露点温度稳定地维持在任意的设定值的效果。
26.发明效果
27.根据本发明，提供一种能够将空气的露点温度稳定地调节至任意的设定值的露点温度调节用除湿装置。
附图说明
28.图1是表示除湿转子的结构的概略说明图。
29.图2是表示本发明的露点温度调节用除湿装置的结构和空气流的概略说明图。
具体实施方式
30.以下，参考附图对本发明所涉及的露点温度调节用除湿装置的实施方式进行详细说明。
31.另外，实施方式中所记载的露点温度调节用除湿装置只不过是为了说明本发明所涉及的露点温度调节用除湿装置而举出的例子，其并不只限定于此。
32.〔第1实施方式〕
33.在制造二次电池等的作业区域中使用去除空气中的湿度的除湿装置。作为产业用的除湿装置，广泛使用干燥剂式除湿装置。干燥剂式除湿装置的基本原理如下：使处理空气通过担载有除湿剂的结构体，由所述除湿剂吸附空气中的水分，从而提供干燥的空气。
34.本发明的第1实施方式中的露点温度调节用除湿装置具备干燥剂式除湿装置作为除湿装置。如图1所示，干燥剂式除湿装置具有担载有除湿剂的圆形的除湿转子7，该除湿转子7被分隔为处理区8、预冷区9及再生区10。在处理区8中，利用除湿剂吸附水分来去除需要处理的空气中的水分。在再生区10中，使用从预冷区9循环过来并且被再生加热器14加热的空气对吸附在除湿转子7上的水分进行脱水，从而再生除湿转子7的水分吸附能力。除湿转子7通过旋转而在处理区8和再生区10中反复进行水分的吸附和脱水。由此，能够持续去除处理空气中的水分。
35.就干燥剂式除湿装置而言，通过基于上述吸附原理的连续的运转动作，无需依赖于处理空气的温度，对低温的空气也能够有效率地进行除湿，因此能够实现非常低的露点温度。
36.另外，在本发明的露点温度调节用除湿装置中，作为除湿装置，除了可以采用利用转子使除湿剂旋转的方式以外，也可以使用其他方式的除湿装置。作为其他方式的除湿装置，例如，可举出将除湿剂予以固定的方式等。
37.图2是表示本发明的第1实施方式中的露点温度调节用除湿装置的结构和空气流的概略说明图。另外，图2中的实线箭头表示装置部及配管中的空气流。并且，图2中的单点划线的直线表示可控制地连接在一起。
38.如图2所示，露点温度调节用除湿装置1具备调节露点温度的功能部，即，供给风扇2(第1功能部)、除湿转子7(第2功能部)、吹出风量调节风门17(第3功能部)、排气风扇18(第4功能部)、排气风量调节风门19(第5功能部)。
39.并且，露点温度调节用除湿装置1具有：除湿剂或除湿转子7等除湿部；调整部，对调节该除湿部的除湿性能的第1～5功能部进行调节；及控制部，控制该调整部。另外，调整
部也可以手动进行调节。
40.关于露点温度调节用除湿装置1所执行的露点温度的控制，例如只要是能够将露点温度降低至
‑
80℃为止的露点温度调节用除湿装置，则在
‑
80℃左右到
‑
20℃以下的大范围的露点温度范围内能够稳定地维持设定值。作为相对于设定值的露点温度的精度误差的下限值，优选为
‑
10℃以上，更优选为
‑
5℃以上，尤其优选为
‑
2.5℃以上。另一方面，作为相对于设定值的露点温度的精度误差的上限值，优选为10℃以下，更优选为5℃以下，尤其优选为2.5℃以下。
41.以下，对各功能部进行说明。
42.(第1功能部)
43.露点温度调节用除湿装置1具备用于吸入外部空气及处理空气的第1功能部(即，供给风扇2)，并且在露点温度调节用除湿装置1中的外部空气及处理空气的吸入部(即，风门3)与供给风扇2之间设置有冷却线圈4。并且，在冷却线圈4的前后，设置有温度传感器5和温度传感器6。
44.关于在供给风扇2的作用下从风门3吸入的外部空气及处理空气，其温度由温度传感器5来测量，且其被冷却线圈4冷却。由此，空气中的水分结露，外部空气及处理空气得到除湿。
45.关于被冷却线圈4除湿后的空气，其温度由温度传感器6来测量，且其通过供给风扇2而输送至除湿转子7。根据由所述温度传感器5和温度传感器6测量的值，能够确认冷却线圈4的除湿能力。
46.另外，也可以利用任意的空气过滤器来处理从风门3吸入的空气。由此，能够去除外部空气及处理空气中所含的尘埃。作为空气过滤器，例如，可举出粗尘用过滤器、超高性能过滤器(ulpa过滤器)及化学过滤器等。
47.接着，对第1功能部(即，供给风扇2)在该露点温度调节用除湿装置1的除湿能力中所起的功能进行说明。
48.若使第1功能部(即，供给风扇2)的转速增加，则导入该露点温度调节用除湿装置1的外部空气或处理空气的量会增加。此时，若供给至作业区域的已处理完空气量或排出的再生空气量、除湿转子7的旋转速度等条件恒定，则除湿转子7针对每单位体积的空气的除湿频率会增加，这会导致供给至作业区域的已处理完空气量增加。由此，作业区域内的露点温度会缓慢地下降。
49.相反，若使第1功能部(即，供给风扇2)的转速下降，则导入该露点温度调节用除湿装置1的外部空气或处理空气的量会降低。此时，若供给至作业区域的已处理完空气量或排出的再生空气量、除湿转子7的旋转速度等条件恒定，则除湿转子7针对每单位体积的空气的除湿频率会下降，这会导致供给至作业区域的已处理完空气量减少。因此，若供给风扇2的转速减小，则处理频率会降低，这会导致供给至作业区域的已处理完空气量减少，因此作业区域的露点温度会缓慢上升。
50.但是，若导入到露点温度调节用除湿装置1的空气的量超过了除湿转子7的除湿能力，则即使已处理完空气量增加也无法降低作业区域内的露点温度。
51.通过基于该供给风扇2的功能来调节供给风扇2的转速，能够控制露点温度调节用除湿装置1的除湿能力，并且能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度和供给
量。由此，能够使作业区域内的露点温度稳定地维持在目标值。
52.(第2功能部)
53.第2功能部(即，除湿转子7)为配置有除湿剂的结构体，且其被分隔为处理区8、预冷区9及再生区10。除湿转子7以被齿轮马达11控制的速度进行旋转。
54.另外，代表性的除湿转子7的结构为蜂窝状，但是，只要是能够有效率地吸附空气中的水分并且能够解吸水分的结构体均可使用。
55.并且，除湿剂只要能够吸附/解吸水分即可。例如，可举出硅胶或沸石等吸湿特性高的除湿剂。
56.在除湿转子7的处理区8的后段，设置有用于供给经由供给路13供给至作业区域的已处理完空气的吹出风量调节风门17。
57.在除湿转子7的预冷区9至再生区10之间，设置有再生加热器14。并且，在再生区10的前后，设置有温度传感器15和温度传感器16。
58.在除湿转子7的处理区8中，从供给风扇2输送过来的空气的水分被吸附从而被除湿。根据由温度传感器6测量出的温度，如有必要，利用控制加热器12将除湿后的空气加热至规定的温度。
59.另外，也可以使用任意的空气过滤器对输送至除湿转子7的处理区8而被除湿后的干燥空气进行处理。由此，能够去除从除湿转子7脱落的除湿剂，从而能够供给净化后的空气。
60.输送至除湿转子7的预冷区9的空气被再生加热器14加热，并作为除湿转子7的再生空气而输送至再生区10。由此，被再生加热器14加热后的空气使吸附在除湿转子7的处理区8中的水分解吸而释放湿气，由此除湿转子7的水分吸附能力得以再生。温度传感器15和温度传感器16测量通过该再生区之前及之后的空气的温度来管理再生效率。
61.接着，对第2功能部(即，除湿转子7)在该露点温度调节用除湿装置1的除湿能力中所起的功能进行说明。
62.若使第2功能部(即，除湿转子7)的旋转速度增加，则再生区10中的水分吸附能力的再生会降低。此时，若供给至该除湿转子7的空气量或空气的质量等条件恒定，则空气的除湿效率会降低，供给至作业区域的已处理完空气的露点温度会上升。相反，若使除湿转子7的旋转速度减小，则空气的除湿效率会上升，供给至作业区域的已处理完空气的露点温度会下降。
63.通过基于该除湿转子7的功能来调节除湿转子7的旋转速度，能够控制露点温度调节用除湿装置1的除湿能力，并且能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度。由此，能够使作业区域内的露点温度稳定地维持在目标值。
64.(第3功能部)
65.露点温度调节用除湿装置1在供给路13的终点处具备用于排出除湿处理后的空气的第3功能部(即，吹出风量调节风门17)。
66.流过除湿转子7的处理区8而被除湿处理后流入供给路13的空气作为已处理完空气经由第3功能部(即，吹出风量调节风门17)供给至作业区域。作为作业区域，例如，可举出干燥室等，但并不只限于此。而且，该作业区域可以是供人员进行作业等的空间，也可以是仅有机械等的无人空间。
67.接着，对第3功能部(即，吹出风量调节风门17)在该露点温度调节用除湿装置1的除湿能力中所起的功能进行说明。
68.若使第3功能部(即，吹出风量调节风门17)的开度增加，则供给至作业区域的已处理完空气量会增加。此时，若导入空气量或除湿转子7的旋转速度等条件恒定，则供给至作业区域的已处理完空气量会增加，因此作业区域内的露点温度会下降。相反，若使吹出风量调节风门17的开度减小，则供给至作业区域的已处理完空气量会减少，因此作业区域的露点温度会上升。
69.通过基于该吹出风量调节风门17的功能来调节吹出风量调节风门17的开度，能够控制露点温度调节用除湿装置1的除湿能力，并且能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度和供给量。由此，能够使作业区域内的露点温度稳定地维持在目标值。
70.(第4功能部)
71.露点温度调节用除湿装置1具备用于在除湿转子7的再生区10的出口形成再生空气流的第4功能部(即，排气风扇18)。
72.从除湿转子7的预冷区9通过再生区10的空气流是排气风扇18的作用下形成的。
73.接着，对第4功能部(即，排气风扇18)在该露点温度调节用除湿装置1的除湿能力中所起的功能进行说明。
74.若使第4功能部(即，排气风扇18)的转速增加，则流入除湿转子7的再生区10的再生空气量会增加，因此除湿转子7的再生能力会提高。因此，若导入到该露点温度调节用除湿装置1的空气量或供给至作业区域的已处理完空气量、除湿转子7的旋转速度等条件恒定，则除湿转子7对空气的除湿效率会提高，供给至作业区域的已处理完空气的露点温度会急剧下降。相反，若使排气风扇18的转速减小，则除湿转子7的再生能力会降低，因此供给至作业区域的已处理完空气的露点温度会急剧上升。
75.通过基于该排气风扇18的功能来调节排气风扇18的转速，能够控制露点温度调节用除湿装置1的除湿能力，并且能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度和供给量。由此，能够使作业区域内的露点温度稳定地维持在目标值。
76.(第5功能部)
77.露点温度调节用除湿装置1具备用于排出从排气风扇18输送过来的再生空气的第5功能部(即，排气风量调节风门19)。
78.从排气风扇18输送过来的再生空气经由第5功能部(即，排气风量调节风门19)排出至露点温度调节用除湿装置1的外部。
79.接着，对第5功能部(即，排气风量调节风门19)在该露点温度调节用除湿装置1的除湿能力中所起的功能进行说明。
80.若使作为第5功能部(即，排气风量调节风门19)的开度增加，则流入除湿转子7的再生区10的再生空气量会增加，因此除湿转子7的再生能力会提高。因此，若导入到该露点温度调节用除湿装置1的空气量或供给至作业区域的已处理完空气量、除湿转子7的旋转速度等条件恒定，则除湿转子7对空气的除湿效率将会提高，供给至作业区域的处理完空气的露点温度会急剧下降。相反，若使排气风量调节风门19的开度减小，则供给至作业区域的已处理完空气的露点温度会上升。
81.通过基于该排气风量调节风门19的功能来调节排气风量调节风门19的开度，能够
控制露点温度调节用除湿装置1的除湿能力，并且能够调节供给至作业区域的已处理完空气的露点温度和供给量。由此，能够使作业区域内的露点温度稳定地维持在目标值。
82.接着，对这些第1～第5功能部的特征对供给至作业区域的已处理完空气的露点温度的调节进行说明。
83.通过供给风扇2的运转动作而被导入到露点温度调节用除湿装置1的空气被除湿转子7除湿之后，作为从露点温度调节用除湿装置1供给至作业区域的已处理完空气从吹出风量调节风门17排出。通过吹出风量调节风门17的运转动作，被除湿转子7除湿后的空气的一部分再次被除湿转子7进行除湿处理。并且，通过排气风扇18和排气风量调节风门19的运转动作，除湿转子7的水分吸附能力得以再生。
84.因此，通过控制第1～第5功能部的运转动作，能够调节露点温度调节用除湿装置1的除湿能力。
85.(试验例)
86.露点温度调节用除湿装置1具有上述结构。本发明人分析了各结构对该露点温度调节用除湿装置1的除湿功能的贡献率。另外，贡献率是指：在仅变动该功能部的控制参数的情况下对露点温度的变动量的大小进行评价的结果。关于控制参数的变动，对该功能部作为装置的最大输出时和最小输出时的变动进行了评价。其结果，明确地发现了第1功能部(即，供给风扇2)的转速、第2功能部(即，除湿转子7)的旋转速度、第3功能部(即，吹出风量调节风门17)的开度、第4功能部(即，排气风扇18)的转速及第5功能部(即，排气风量调节风门19)的开度的运转动作对露点温度调节用除湿装置1的除湿功能带来很大影响。具体而言，通过在供给风扇2的转速为30～60转/分钟、排气风扇18的转速为10～60转/分钟、除湿转子7的旋转速度为15～60转/小时、吹出风量调节风门17的开度为50～100％、排气风量调节风门19的开度为30～100％的范围内控制运转动作，能够有效地调节露点温度调节用除湿装置1的除湿功能，并且能够将露点温度稳定地维持在任意的露点温度。具体而言，在
‑
20℃以下的露点温度下，能够调整为任意的露点温度的设定值
±
5℃的范围内。并且，在
‑
30℃以下的露点温度下，也能够调整为任意的露点温度的设定值
±
5℃的范围内。
87.另外，包括再生加热器14在内的其他部位的运转动作给露点温度调节用除湿装置1的除湿功能带来的影响较小，或者未带来影响。并且，对除湿功能影响较小的部位的运转动作也可以用于露点温度调节用除湿装置1的除湿功能的微调。
88.关于对除湿功能的贡献率，“第4功能部(即，排气风扇18)的转速”、“第2功能部(即，除湿转子7)的旋转速度”、“第5功能部(即，排气风量调节风门19)的开度”比较大，“第3功能部(即，吹出风量调节风门17)的开度”、“第1功能部(即，供给风扇2)的转速”则比较小。通过调节各功能部中的至少一个功能部来控制露点温度。此时，也可以调节多个功能部来控制露点温度，尤其，优选调节贡献率比较大的“第4功能部(即，排气风扇18)的转速”、“第2功能部(即，除湿转子7)的旋转速度”及“第5功能部(即，排气风量调节风门19)的开度”中的一个以上来控制露点温度。并且，优选将贡献率比较大的功能部即“第4功能部(即，排气风扇18)的转速”、“第2功能部(即，除湿转子7)的旋转速度”及“第5功能部(即，排气风量调节风门19)的开度”中的任一个以上和贡献率比较小的功能部即“第3功能部(即，吹出风量调节风门17)的开度”、“第1功能部(即，供给风扇2)的转速”中的一个以上进行组合来控制露点温度。
89.如上所述，在露点温度调节用除湿装置1中，通过根据露点温度的设定值来使供给风扇的转速、排气风扇的转速、除湿转子的旋转速度、吹出风量调节风门的开度、排气风量调节风门的开度最佳化，能够稳定地供给目标露点温度的空气。
90.本发明的第1实施方式的露点温度调节用除湿装置1具有控制部20。控制部20与用于检测供给至作业区域的已处理完空气的湿度的湿度传感器21、供给风扇2的调整部22、除湿转子7的调整部23、吹出风量调节风门17的调整部24、排气风扇18的调整部25及排气风量调节风门19的调整部26相连。关于连接方式，可以通过配线等直接连接，也可以经由无线等通信技术间接连接。
91.另外，在图2中，湿度传感器21设置于露点温度调节用除湿装置1的外部，但是，只要能够测量被控制加热器12加热后的空气的湿度，则也可以设置于装置内部的供给路13上的任意位置上。并且，根据需要，还可以将湿度传感器21替换成露点温度传感器。
92.控制部20根据检测供给至作业区域的已处理完空气的湿度的湿度传感器21的测量结果来判断相对于露点温度的设定值的露点温度调节用除湿装置1的除湿效率，并且内置有用于控制供给风扇2、除湿转子7、吹出风量调节风门17、排气风扇18、排气风量调节风门19的运转动作的控制程序。
93.该控制程序包括从实测值计算出供给风扇2、除湿转子7、吹出风量调节风门17、排气风扇18及排气风量调节风门19对任意露点温度的设定值的贡献率并使各运转动作最佳化的运动控制算法。该运动控制算法例如可以根据事先对露点温度调节用除湿装置1进行的性能试验来进行设计。
94.控制部20根据由湿度传感器21检测出的供给至作业区域的已处理完空气的湿度和所设定的露点温度运算出供给风扇2的转速、除湿转子7的旋转速度、吹出风量调节风门17的开度、排气风扇18的转速及排气风量调节风门19的开度。根据该运算结果，向供给风扇2的调整部22、除湿转子7的调整部23、吹出风量调节风门17的调整部24、排气风扇18的调整部25及排气风量调节风门19的调整部26发出供给风扇2、除湿转子7、吹出风量调节风门17、排气风扇18及排气风量调节风门19的最佳运转动作指令，以便成为设定露点温度
±
5℃。
95.例如，在供给风扇2的转速为30～60转/分钟、除湿转子7的旋转速度为15～60转/小时、吹出风量调节风门17的开度为50～100％、排气风扇18的转速为10～60转/分钟及排气风量调节风门19的开度为30～100％的范围内控制运转动作。
96.另外，关于供给风扇2、除湿转子7、吹出风量调节风门17、排气风扇18及排气风量调节风门19的运转动作的控制范围，只要能够达到根据露点温度调节用除湿装置1的性能来设定的露点温度即可，其并不只限于上述范围。
97.并且，露点温度调节用除湿装置1还可以设置有用于测量所吸入的外部空气或处理空气的湿度的湿度传感器27，且其与控制部20直接或间接连接。湿度传感器27将所吸入的空气的湿度信息发送至控制部20。控制部20根据所吸入的空气的湿度，运算出能够迅速调节露点温度的供给风扇2、除湿转子7、吹出风量调节风门17、排气风扇18及排气风量调节风门19的运转动作，并向各调整部发出指令。由此，可以期待露点温度调节用除湿装置1的露点温度调节功能的提高。
98.另外，在图2中，湿度传感器27设置于露点温度调节用除湿装置1的外部，但是，只要能够测量所吸入的处理空气的质量，则也可以设置于装置内部的从风门3至冷却线圈4为
止的任意位置上。并且，根据需要，也可以将湿度传感器27替换成温湿度传感器。
99.如上所述，在本发明的露点温度调节用除湿装置中，通过具有控制程序的控制部，根据露点温度的设定值和所排出的空气的湿度能够控制供给风扇、除湿转子、吹出风量调节风门、排气风扇及排气风量调节风门的运转动作，从而调节露点温度。并且，所述控制程序也可以具有执行按照时间区段设定的各种露点温度等的定时器功能。这些运转控制可以由控制部基于控制程序而全自动执行，也可以包括作业人员的手动操作。另外，从减少作业人员的劳力的观点出发，更优选采用基于控制程序的自动控制。
100.产业上的可利用性
101.本发明的露点温度调节用除湿装置能够用于将作业区域的湿度稳定地调节在作为目标的任意露点温度。具体而言，在干燥室内，能够用于维持作为目标的湿度条件。
102.并且，本发明的露点温度调节用除湿装置基于控制程序进行自动控制，从而能够减少作业人员的劳力。而且，通过最佳化的控制程序，能够减少不必要的耗电。
103.符号说明
[0104]1‑
露点温度调节用除湿装置，2
‑
供给风扇，3
‑
风门，4
‑
冷却线圈，5
‑
温度传感器，6
‑
温度传感器，7
‑
除湿转子，8
‑
处理区，9
‑
预冷区，10
‑
再生区，11
‑
齿轮马达，12
‑
控制加热器，13
‑
供给路，14
‑
再生加热器，15
‑
温度传感器，16
‑
温度传感器，17
‑
吹出风量调节风门，18
‑
排气风扇，19
‑
排气风量调节风门，20
‑
控制部，21
‑
湿度传感器，22
‑
供给风扇2的调整部，23
‑
除湿转子7的调整部，24
‑
吹出风量调节风门17的调整部，25
‑
排气风扇18的调整部，26
‑
排气风量调节风门19的调整部，27
‑
湿度传感器。