用于离子迁移过滤器的制造方法与流程

技术特征：
1.一种制造离子迁移过滤器的方法，所述方法包括：提供包括孔口的支撑件；将电极层附接到所述支撑件，使得所述电极层覆盖所述孔口；以及通过机械地切割穿过所述电极层来形成多个离子迁移电极；其中，每个相邻的电极对在该电极对之间限定出离子通道，并且每个电极与相邻的电极分开。2.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述多个离子迁移电极包括：切割穿过所述电极层的多个平行的通道，其中每个通道具有10微米至50微米的宽度。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，形成所述多个离子迁移电极包括：切割多个通道，其中每个通道具有至少10:1的纵横比。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，提供所述支撑件包括：提供支撑层，所述支撑层具有在该支撑层的第一面上的第一导电层以及具有在该支撑层的相对面上的第二导电层。5.根据权利要求4所述的方法，包括：在所述第一导电层中形成多个电连接，其中，所述电连接是成对的，并且在电极的每一端处各有一个电连接。6.根据权利要求4或5所述的方法，包括：形成穿过所述支撑层的过孔，以电连接所述第一导电层和所述第二导电层。7.根据权利要求5或6所述的方法，其中，所述多个电连接和/或所述过孔是在形成所述多个离子迁移电极之前形成的。8.根据权利要求7所述的方法，包括：蚀刻所述多个电连接和/或所述过孔。9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，包括：在形成所述多个离子迁移电极时部分地切割所述支撑件。10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，包括在附接所述电极层之前形成穿过所述支撑件的所述孔口。11.一种根据权利要求1至10中任一项所述的方法制造的离子迁移过滤器。12.一种离子迁移过滤器，包括：支撑件，其包括孔口；和电极层，其包括多个离子迁移电极，其中每个相邻的电极对在该电极对之间限定出离子通道，并且每个电极与所述多个离子迁移电极中的其它电极分开，其中，每个离子迁移电极跨越所述孔口，并且每个离子迁移电极的相对端附接到所述支撑件。13.根据权利要求12所述的离子迁移过滤器，其中，每个离子通道的宽度为10微米至50微米。14.根据权利要求12或13所述的离子迁移过滤器，其中，每个离子通道的纵横比为至少10:1。15.根据权利要求12至14中任一项所述的离子迁移过滤器，其中，所述电极层的厚度为1微米至10微米。16.根据权利要求12至15中任一项所述的离子迁移过滤器，其中，所述电极层是金属。17.根据权利要求12至16中任一项所述的离子迁移过滤器，其中，所述支撑件包括支撑
层、在所述支撑层的第一面上的第一导电层、以及在所述支撑层的相对面上的第二导电层。18.根据权利要求17所述的离子迁移过滤器，其中，所述第一导电层和所述第二导电层中的至少一者由半导体材料形成。19.根据权利要求17或18所述的离子迁移过滤器，包括：在所述第一导电层中的多个电连接，其中，所述电连接是成对的，并且在电极的每一端处各有一个电连接。20.根据权利要求17至19中任一项所述的离子迁移过滤器，包括过孔，所述过孔穿过所述支撑层，以电连接所述第一导电层和所述第二导电层。21.一种离子迁移谱系统，包括：根据权利要求11至20中任一项所述的离子过滤器；电离器，其用于利用气体样本生成离子；以及探测器，其用于探测来自所述离子过滤器的输出。22.根据权利要求21所述的离子迁移谱系统，还包括驱动信号系统，所述驱动信号系统连接到所述多个离子迁移电极并且被配置成单独地控制所述多个离子迁移电极中的每一者的电位。23.根据权利要求22所述的离子迁移谱系统，其中，所述驱动信号系统被配置成：控制至少第一电极对中的每个电极上的电位，以在至少一个所述第一电极对之间的离子通道内生成第一电场，以及同时控制至少第二电极对中的每个电极上的电位，以在至少一个所述第二电极对之间的离子通道内生成第二电场，其中，所述第二电场不同于所述第一电场。24.一种使用根据权利要求11至20中任一项所述的离子过滤器来探测气体样本中的离子的方法，所述方法包括：在限定在所述多个电极中的第一电极对之间的第一离子通道中创建第一电场；在限定在所述多个电极中的第二电极对之间的第二离子通道中创建不同的电场；电离气体样本，以生成所述气体样本内的目标化学物质的多个离子；使用所述离子过滤器过滤所述气体样本，从而所述目标化学物质的所述多个离子中的第一部分通过所述第一离子通道，并且所述目标化学物质的多个离子中的第二部分被所述第二离子通道吸收；以及探测从所述过滤器输出的所述目标化学物质的所述多个离子。

技术总结
本技术涉及制造MEMS气体传感器的方法，例如用于制造可以用作场非对称离子迁移谱过滤器的离子迁移过滤器的方法。该方法包括步骤：提供具有孔口的支撑件(S300、S302)；以及在支撑件中形成电连接(S304)。该方法还包括步骤：将电极层附接到支撑件(S306)，使得电极层覆盖孔口；以及通过机械地切割穿过电极层来形成多个离子迁移电极(S308)。每个相邻电极对在它们之间限定出离子通道，并且每个电极与相邻电极分开。分开。分开。


技术研发人员：乔纳森
受保护的技术使用者：奥斯通有限公司
技术研发日：2020.03.20
技术公布日：2021/11/2