一种传感器用电阻应变计的制作方法

技术特征：
1.一种传感器用电阻应变计，其特征在于，包括基底(1)、敏感栅(2)和焊盘(5)；基底(1)设置在双孔平行梁传感器上；敏感栅(2)和焊盘(5)均设置在基底(1)上，敏感栅(2)中心位于双孔平行梁传感器的应变孔薄壁100％应力区，焊盘(5)位于应变孔薄壁30％及以下的应力区内，敏感栅(2)两端分别连接有一个连接栅(3)一端，两个连接栅(3)的另一端分别连接一个焊盘(5)；连接栅(3)与焊盘(5)之间连接部分为应力释放环(4)，应力释放环(4)成圆弧状，应力释放环(4)的圆弧方向朝向或远离应变计水平轴线弯曲，两个应力释放环(4)沿应变计水平轴线镜像设置。2.根据权利要求1所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，敏感栅(2)总宽度w
a
为应变孔单孔宽度的1/6～1/15。3.根据权利要求2所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，敏感栅(2)总宽度w
a
为1.5～3.0mm。4.根据权利要求1所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，敏感栅(2)长度l
a
为应变孔薄壁臂70％～100％应力区之间。5.根据权利要求4所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，敏感栅(2)长度l
a
为1.0～3.0mm。6.根据权利要求1所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，敏感栅端头(6)长度l
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与单一敏感栅(2)宽度w
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比值≥3。7.根据权利要求6所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，10kg及以下小量程应变计的敏感栅端头(6)长度l
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与单一敏感栅(2)宽度w
b
比值为4.0～5.0。8.根据权利要求1所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，焊盘(5)与敏感栅(2)距离s为2～8mm。9.根据权利要求1所述的传感器用电阻应变计，其特征在于，敏感栅(2)截面梯形侧向腐蚀率≤10％。

技术总结
本发明公开了一种传感器用电阻应变计，连接栅和焊盘之间设计了应力释放环，应力释放环成圆弧状，应力释放环的圆弧方向可以弯向内侧呈镜像分布，也可以弯向外侧呈镜像分布，敏感栅总宽度介于应变孔单孔宽度的1/6～1/15，敏感栅长度介于单一应变孔薄壁臂70％～100％应力曲线间距之间，敏感栅截面梯形侧向腐蚀率≤10％，端头长度与单一敏感栅宽度比值≥3，焊盘与敏感栅距离焊盘位于30％及以下应力区之外，通过工艺控制敏感栅侧向腐蚀率，合理匹配弹性体、应变计蠕变，提高了传感器蠕变精度、蠕变稳定性和回零速度，整体提升了传感器性能，满足C6级传感器和10万分度天平传感器批量指标要求。求。求。


技术研发人员：晏志鹏 赵凯锋 刘忙贤 刘建群 雒平华 张勋
受保护的技术使用者：中航电测仪器股份有限公司
技术研发日：2021.07.30
技术公布日：2021/10/18