一种晶圆干燥用介质的脱泡装置的制作方法

本技术属于晶圆干燥设备，具体涉及一种晶圆干燥用介质的脱泡装置。

背景技术：

1、在半导体制造产业中，清洗工序是确保半导体器件性能、稳定性及高良品率的关键环节。清洗过程中化学药液的温度稳定性是保证晶圆与化学液反应均匀、有效的重要手段。

2、在实际清洗过程中，合适的温度可加速化学反应速率，增强清洗效率，同时确保清洗过程的均匀性与稳定性。因此，精准控制化学药液的温度成为提升清洗工艺水平的核心要素。温度发生偏差从而会导致化学液与晶圆之间的反应速度过快或过慢，造成良率降低。

3、在先进制程中，清洗后的干燥可以采用的化学药液ipa(异丙醇)来置换晶圆表面的水，实现干燥效果。高温下ipa被加热时，其溶解气体的能力急剧下降。原本溶解在液体中的气体会被迫析出。且如果在经过加热器的过程，热源功率过高或者传热不均，会导致与热源接触的内层液体温度高于液体温度，从而在这些局部区域发生剧烈的汽化，产生气泡。而气泡的存在会严重影响晶圆的表面质量。气泡会使液体无法完全包裹器件，导致器件表面的水分不能被完全置换掉。当ipa挥发之后，残留的水分蒸发后会留下水渍，这对晶圆来说是致命缺陷。所以需要对ipa进行脱泡后才能对晶圆进行处理。

4、目前，常见的脱泡技术有：离心脱泡技术、渗透膜脱泡等。其中，离心脱泡技术需要增加离心机以及复杂的控制系统。而渗透膜脱泡技术，对于高温介质不适用。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，消除干燥介质中存在的气泡，确保干燥过程中介质内无气泡作用在晶圆表面上，从而避免气泡冲击晶圆表面，造成的芯片不良。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

3、一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，包括介质供液系统、加热器，所述介质供液系统通过管路连接至所述加热器，还包括除泡器，所述除泡器包括内部具有腔体的器身、设于所述器身侧上部的进液管、设于所述器身顶部的出气管、设于所述器身底部的出液管，所述进液管的进口端通过管路与所述加热器相连，所述进液管的出口端穿入所述腔体内并呈向下倾角延伸至靠近所述腔体另一侧内壁，所述出液管的出口端通过管路通至待干燥晶圆处。

4、所述向下倾角的范围为17°±2°。

5、所述腔体的内壁由上至下呈向内倾斜。

6、所述向内倾斜的角度范围为1°～2°。

7、所述腔体顶部由下至上呈向内倾斜的圆台状。

8、所述出液管的进口端向上伸入所述腔体并高出所述腔体的底面。

9、所述器身上还设有低位液位传感器与高位液位传感器，所述出气管连接至排气管，所述排气管上设有与所述低位液位传感器、所述高位液位传感器相联动的电磁阀。

10、所述除泡器采用氟塑料材质。

11、所述出液管通至待干燥晶圆处的管路上设有三通阀门。

12、采用本实用新型的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，具备以下优点：

13、1、增加有除泡器，能够消除ipa介质经过加热器加热后产生或者是从化学药液供应设备(csm)工艺系统中存在的气泡，保证供给到晶圆表面的干燥介质内无气泡，确保晶圆表面的干燥效果。

14、2、采用除泡器形式对介质内气泡进行消除，结构简单，控制系统易实现。除泡器的占地面积小，更易安装在机台端。

15、3、整个除泡器的材质采用氟塑料，具有低析出和高耐温的特性，不仅适用于ipa介质，同样适用于其他的高温介质。

1.一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，包括介质供液系统、加热器，所述介质供液系统通过管路连接至所述加热器，其特征在于：还包括除泡器，所述除泡器包括内部具有腔体的器身、设于所述器身侧上部的进液管、设于所述器身顶部的出气管、设于所述器身底部的出液管，所述进液管的进口端通过管路与所述加热器相连，所述进液管的出口端穿入所述腔体内并呈向下倾角延伸至靠近所述腔体另一侧内壁，所述出液管的出口端通过管路通至待干燥晶圆处。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述向下倾角的范围为17°±2°。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述腔体的内壁由上至下呈向内倾斜。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述向内倾斜的角度范围为1°～2°。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述腔体顶部由下至上呈向内倾斜的圆台状。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述出液管的进口端向上伸入所述腔体并高出所述腔体的底面。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述器身上还设有低位液位传感器与高位液位传感器，所述出气管连接至排气管，所述排气管上设有与所述低位液位传感器、所述高位液位传感器相联动的电磁阀。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述除泡器采用氟塑料材质。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，其特征在于：所述出液管通至待干燥晶圆处的管路上设有三通阀门。