一种电极快拆结构及具有该快拆结构的热丝CVD设备的制作方法

本技术涉及热丝cvd设备，具体而言，涉及一种电极快拆结构，以及具有该快拆结构的热丝cvd设备。

背景技术：

1、热丝化学气相沉积（hot filament chemical vapor deposition，hofcvd）是一种利用高温热丝分解反应气体实现薄膜沉积的技术。在hofcvd设备中，热丝起着关键作用，热丝通过施加电流产生高温，将反应气体催化裂解成活性粒子，最后在衬底上沉积成膜。

2、目前，hofcvd设备中热丝常见的安装方式是通过螺栓固定在腔体上端的电极上，当进行热丝拆卸更换时，需要在腔体狭小的空间内作业，拆卸繁琐耗时；且经常松紧螺栓，螺栓与电极之间经常压松会造成电极外观损伤，影响电极的导电性能等问题。

3、基于上述背景，亟待提供一种针对适用腔体真空且狭小环境下使用的电极快拆结构。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的问题是提供为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供了一种电极快拆结构，包括：

2、电极块；

3、第一限位板，位于所述电极块的一侧对其进行限位；

4、第二限位板，位于所述电极块的另一侧，与所述第一限位板相对设置以对所述电极块进行固定，且所述第二限位板能够相对于所述第一限位板移动使得两者之间的距离适应所述电极块的尺寸。

5、在一些实施例中，所述第一限位板与所述第二限位板通过弹性伸缩组件或螺旋升降组件连接。

6、在一些实施例中，所述第一限位板与所述第二限位板之间通过弹性件和连接杆连接，所述电极块插入状态下，所述第二限位板在所述弹性件的弹力作用下与所述第一限位板配合夹紧所述电极块。

7、在一些实施例中，所述第一限位板的一个侧边连接挡板，以限制所述电极块插入所述第一限位板和所述第二限位板之间的位置。

8、在一些实施例中，所述第一限位板的两端或两端的外延部，分别设置安装孔，所述第二限位板上设置与所述安装孔对应的固定孔，所述弹性件安装在所述连接杆上，所述连接杆的两端分别安装在所述安装孔和所述固定孔上。

9、在一些实施例中，所述电极块的插入侧，以及与该插入侧接触的所述第一限位板和/或所述第二限位板的插入侧设置为倒角结构。

10、在一些实施例中，还包括第三限位板，所述第二限位板安装在所述第一限位板和所述第三限位板之间，所述第三限位板和所述第二限位板之间通过弹性伸缩组件或螺旋升降组件连接，所述电极块插入所述第一限位板和所述第二限位板之间。

11、在一些实施例中，所述第一限位板和所述第三限位板之间设置挡板，使整体结构呈u型。

12、在一些实施例中，所述电极块上设置有安装槽，所述安装槽呈u型结构，且其底面与侧面连接处设置为台阶状，使所述安装槽的开口尺寸大于底部尺寸，所述底部尺寸与所述第二限位板的尺寸配合。

13、本实用新型提供的电极快拆结构，设置了能够相对移动的第一限位板和第二限位板，并将电极块插入第一限位板和第二限位板之间，从而使得电极块能够更快速方便的实现拆装，因此在需要对热丝进行更换时，只需要拔出电极块，即可避免平常在狭小空间操作的问题，便于操作的同时更换效率也更高。此外，该设置也避免了反复拆卸螺栓对电极造成的影响，更好的保护了设备内的零件，延长了其使用寿命。

14、基于上述电极快拆结构，本实用新型还提供一种热丝cvd设备，包括热丝，还包括固定热丝的电极快拆结构，所述电极快拆结构为上述任一项所述的电极快拆结构。

15、由于该热丝cvd设备具备上述电极快拆结构，因此，该热丝cvd设备直接或间接的具有电极快拆结构所具备的拆装高效、零件损耗小等特点。

1.一种电极快拆结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电极快拆结构，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的电极快拆结构，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的电极快拆结构，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的电极快拆结构，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的电极快拆结构，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的电极快拆结构，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的电极快拆结构，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的电极快拆结构，其特征在于，

10.一种热丝cvd设备，其特征在于，包括热丝，还包括固定热丝的电极快拆结构，所述电极快拆结构为权利要求1至9任一项所述的电极快拆结构。