镀膜监控机构的制作方法

本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种镀膜监控机构。

背景技术：

1、薄膜厚度监控机构是真空镀膜设备的关键模块，其通过实时监控薄膜沉积厚度和沉积速率等参数来实现真空镀膜的控制精度。常见的薄膜厚度监控机构包括晶体振动监控和光学膜厚监控两种类型。在前述两种类型技术中，分别通过测量沉积有镀膜材料的监控片的质量信息和光学信息来提取薄膜的厚度信息。由于监控片在使用一段时间后往往会出现控制精度的下降，因此，薄膜厚度监控机构通常设置有分布在一圆周上的多个监控片放置位，并通过旋转运动使每个监控点位上的监控片依次正对监控孔。一般来说，多个监控点位所构成的探头端优选尽可能地靠近镀膜基板，且探头端所在平面尽可能地与镀膜基板所在平面靠近，以确保既能按需切换监控片又能保证膜厚监控精度。但是，现有旋转式薄膜厚度监控机构中，多个监控点位所构成的探头端会占用较多的可镀膜空间，影响了镀膜设备的镀膜基板装载量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种镀膜监控机构，在不影响监控相关镀膜参数的前提下，实现多个监控片的自由切换，与旋转式的切换方式相比，本实用新型提供的镀膜监控机构结构宽度更窄小，安装在镀膜机内部占用更少的镀膜面积，减少对产能的影响。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、镀膜监控机构，包括：

4、外壳，所述外壳开设有监测孔；

5、监测模块，所述监测模块包括监测端头，且所述监测端头与所述监测孔对应设置，所述监测端头用于获取监控片上与薄膜厚度相关的信息；

6、监控片装载模块，所述监控片装载模块包括监控片装载板，所述监控片装载板上设置有多个监控位，至少部分的所述监控位呈直线式且延第一方向排列，所述监控位用于放置所述监控片，

7、监控片切换模块，所述监控片切换模块用于使所述监控片装载板沿所述第一方向移动，以使所述第一方向上的所述监控片能依次正对所述监测孔。

8、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述外壳设置有直线导轨，所述监控片装载模块包括滑块，所述监控片装载板与所述滑块固定连接，所述滑块与所述直线导轨沿所述第一方向滑动连接。

9、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述监控片切换模块包括切换输入轴，所述切换输入轴转动能使所述监控片装载板沿所述第一方向移动。

10、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述监控片切换模块包括槽轮和主动拨盘，所述主动拨盘设置偏心随动部和凸锁止弧部，所述切换输入轴与所述凸锁止弧部同轴固定；所述槽轮转动设置在所述外壳的内壁，所述槽轮的转轴平行于所述切换输入轴的转轴，所述槽轮设置有多个径向槽，所述径向槽的延伸方向穿过所述槽轮的转轴，相邻两个所述径向槽之间设置有凹锁止弧部，所述槽轮转动以使所述监控片装载板直线移动。

11、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述槽轮同轴固定有齿轮，所述监控片装载板沿多个所述监控片排列的延伸方向设置有齿条，所述槽轮转动能带动所述齿轮与所述齿条啮合传动，以使所述监控片装载板直线移动。

12、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述径向槽设置有四个，相邻两个所述径向槽的延伸方向夹角为90°，当所述槽轮转动90°，所述监控片装载模块能切换下一个所述监控片正对所述监测孔。

13、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述监控片切换模块包括丝杠和丝杠螺母，当所述丝杠转动，所述丝杠螺母沿所述丝杠的轴线转动，所述切换输入轴与所述丝杠同轴固定，所述丝杠的轴线与多个所述监控片排列的延伸方向平行，所述丝杠螺母固定于所述连接板。

14、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述外壳的内壁设置有微动开关，所述监控片装载板沿多个所述监控片排列的延伸方向间隔设置有多个滚轮，所述滚轮与所述监控片一一对应设置，当其中一个所述监控片正对所述监测孔，对应的所述滚轮与所述微动开关相切且对应的所述滚轮按动所述微动开关，所述微动开关与所述监控片切换模块通讯连接。

15、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述外壳的内壁设置有非接触式传感器，所述监控片装载模块上设置有感应片，当位于首位的所述监控片正对所述监测孔，所述感应片位于所述非接触式传感器的感应范围，所述非接触式传感器与所述监控片切换模块通讯连接。

16、作为镀膜监控机构的可选技术方案，所述监测模块还包括冷却组件，所述冷却组件包括冷却盒、冷却下管和冷却上管，所述冷却盒穿设有冷却通孔，所述监测端头穿置于所述冷却通孔内，所述冷却盒的其余部分中空设置有冷却腔，所述冷却下管穿过所述冷却盒的底壁与所述冷却腔连通，所述冷却上管穿过所述冷却盒的顶壁与所述冷却腔连通。

17、本实用新型的有益效果：

18、本实用新型所提供的镀膜监控机构用于安装在镀膜机内实时监测镀膜相关参数，包括外壳、监测模块、监控片装载模块和监控片切换模块。外壳开设有监测孔；监测模块包括监测端头，且监测端头与监测孔对应设置，监测端头用于获取监控片上与薄膜厚度关联的信息；监控片装载模块包括监控片装载板，监控片装载板上设置有多个监控位，至少部分的监控位呈直线式且延第一方向排列，监控位用于放置监控片。监控片切换模块用于使监控片装载板沿第一方向能够相对外壳进行直线移动，以使第一方向上的监控片能依次正对监测孔，实现多个监控片的直线式位置自由切换，当监控片移动至正对监测孔时，能够与监测模块配合，实时监控镀膜厚度和沉积速率。与旋转式的切换方式相比，该镀膜监控机构宽度更窄小，安装在镀膜机内部占用更少的镀膜面积，减少对产能的影响。

1.镀膜监控机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述外壳（100）设置有直线导轨（120），所述监控片装载模块（300）包括滑块，所述监控片装载板（310）与所述滑块固定连接，所述滑块与所述直线导轨（120）沿所述第一方向滑动连接。

3.根据权利要求1所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述监控片切换模块（400）包括切换输入轴（401），所述切换输入轴（401）转动能使所述监控片装载板（310）沿所述第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述监控片切换模块（400）包括槽轮（411）和主动拨盘（412），所述主动拨盘（412）设置偏心随动部（4121）和凸锁止弧部（4122），所述切换输入轴（401）与所述凸锁止弧部（4122）同轴固定；所述槽轮（411）转动设置在所述外壳（100）的内壁，所述槽轮（411）的转轴平行于所述切换输入轴（401）的转轴，所述槽轮（411）设置有多个径向槽（4111），所述径向槽（4111）的延伸方向穿过所述槽轮（411）的转轴，相邻两个所述径向槽（4111）之间设置有凹锁止弧部（4112），所述槽轮（411）转动以使所述监控片装载板（310）直线移动。

5.根据权利要求4所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述槽轮（411）同轴固定有齿轮（4113），所述监控片装载板（310）沿多个所述监控片（600）排列的延伸方向设置有齿条（321），所述槽轮（411）转动能带动所述齿轮（4113）与所述齿条（321）啮合传动，以使所述监控片装载板（310）直线移动。

6.根据权利要求4所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述径向槽（4111）设置有四个，相邻两个所述径向槽（4111）的延伸方向夹角为90°，当所述槽轮（411）转动90°，所述监控片装载模块（300）能切换下一个所述监控片（600）正对所述监测孔（111）。

7.根据权利要求3所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述监控片切换模块(400)包括丝杠和丝杠螺母(422)，当所述丝杠转动，所述丝杠螺母(422)沿所述丝杠的轴线转动，所述切换输入轴(401)与所述丝杠同轴固定，所述丝杠的轴线与多个所述监控片(600)排列的延伸方向平行，所述丝杠螺母(422)固定于所述监控片装载模块（300）。

8.根据权利要求1所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述外壳（100）的内壁设置有微动开关（130），所述监控片装载板（310）沿多个所述监控片（600）排列的延伸方向间隔设置有多个滚轮（322），所述滚轮（322）与所述监控片（600）一一对应设置，当其中一个所述监控片（600）正对所述监测孔（111），对应的所述滚轮（322）与所述微动开关（130）相切且对应的所述滚轮（322）按动所述微动开关（130），所述微动开关（130）与所述监控片切换模块（400）通讯连接。

9.根据权利要求1所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述外壳（100）的内壁设置有非接触式传感器（140），所述监控片装载模块（300）上设置有感应片（323），当位于首位的所述监控片（600）正对所述监测孔（111），所述感应片（323）位于所述非接触式传感器（140）的感应范围，所述非接触式传感器（140）与所述监控片切换模块（400）通讯连接。

10.根据权利要求1-9任一项所述的镀膜监控机构，其特征在于，所述监测模块（200）还包括冷却组件（230），所述冷却组件（230）包括冷却盒（231）、冷却下管（232）和冷却上管（233），所述冷却盒（231）穿设有冷却通孔（2311），所述监测端头（210）穿置于所述冷却通孔（2311）内，所述冷却盒（231）的其余部分中空设置有冷却腔（2312），所述冷却下管（232）穿过所述冷却盒（231）的底壁与所述冷却腔（2312）连通，所述冷却上管（233）穿过所述冷却盒（231）的顶壁与所述冷却腔（2312）连通。