一种靶材模具及靶材制备装置的制作方法

本技术属于靶材制备，尤其涉及一种靶材模具及靶材制备装置。

背景技术：

1、靶材是物理气相沉积工艺中使用的一种关键材料。在薄膜制造过程中，如溅射镀膜或蒸发镀膜，靶材被用作源材料来生成需要沉积到基底上的薄膜。高纯溅射靶材主要是指纯度为99.9%～99.9999%(3n—6n之间）的金属或非金属靶材，是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料；

2、制备靶材的方法有许多，例如：熔炼铸造法、粉末冶金法以及冷压烧结法等，以冷压烧结法为例，冷压烧结法通过在常温条件下对粉末施加高压进行压制，使粉末颗粒紧密排列形成具有一定强度的坯体，随后将坯体置于高温环境中进行烧结，以进一步增强颗粒之间的结合力，最终得到所需的靶材。在冷压之前，需要先将经过预处理的粉末装入模具中，再由工作人员使用刮板将多余的粉末刮去，完成压制后，需要从模具中取出坯体，此时的坯体虽然已经具备一定的几何形态，但其密度较低，因此工作人员想要完整取出胚体就需要十分小心，胚体的边缘位置还可能受损。

3、为此，我们提出一种靶材模具及靶材制备装置解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中的问题，而提出的一种靶材模具及靶材制备装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种靶材模具，包括固定部与活动部，所述固定部底部固定设置有底盘，所述活动部安设在底盘上，所述固定部面向活动部一端侧壁安设有右弧形槽，所述活动部面向固定部一端侧壁安设有左弧形槽，所述固定部侧壁开设有凹槽，所述凹槽中安设有按板，所述固定部中开设有工作腔，所述工作腔与凹槽连通，所述工作腔中安设有用于固定活动部的固定机构。

4、优选地，所述活动部底部开设有两个放置槽，两个所述放置槽中均固定设置有上钩杆。

5、优选地，所述底盘顶部开设有两个运动槽，两个所述运动槽的位置与两个放置槽的位置相对应，所述运动槽中滑动连接有下钩杆。

6、优选地，所述固定机构包括升降块、推杆、竖板以及第一伸缩弹簧，所述升降块安设在按板底部，所述推杆与工作腔底部滑动连接，所述升降块与推杆侧壁相抵，所述升降块与推杆均为弧形设计，所述推杆另一端与下钩杆侧壁固定连接，所述竖板固定设置在推杆顶部，所述第一伸缩弹簧一端与竖板侧壁固定连接，另一端与所述工作腔侧壁固定连接。

7、优选地，所述固定部背对活动部一端侧壁开设有通槽，两个所述升降块之间固定安设有连接杆，所述连接杆侧壁转动连接有第一支杆，所述连接杆侧壁开设有横槽，所述横槽中滑动连接有滑块，所述滑块侧壁转动连接有第二支杆，所述第一支杆远离工作腔一端与第二支杆远离滑块一端转动连接有中轴，所述中轴位于通槽上方，所述滑块侧壁还固定连接有横板，所述横板顶部固定设置有弧形块，所述按板底部固定设置有顶块，所述顶块也为弧形设置，所述弧形块与顶块相抵。

8、优选地，所述横板远离滑块一端侧壁固定连接有第二伸缩弹簧，所述连接杆侧壁固定连接有固定板，所述第二伸缩弹簧远离横板一端与固定部侧壁固定连接。

9、一种靶材制备装置，包括加压装置与加压头，其特征在于，所述加压头位于加压装置上方，所述加压装置内具有加压腔，上述任意一项所述的模具均置于所述加压腔内。

10、优选地，所述加压腔中安设有气缸，所述气缸输出端固定设置有顶板，所述顶板顶部固定连接有两个固定杆，两个所述固定杆的位置对应两个通槽位置，所述模具放置在顶板上。

11、综上所述，本实用新型的技术效果和优点：

12、粉末倒入固定部与活动部之间的凹陷中，而后经过加压头压制之后，就会被逐渐压实，压制完成之后，气缸将模具顶出，在取出模具之后，按板会自动弹起，工作人员通过按下按板，就可以使得活动部与固定部之间的固定关系被解除，进而方便工作人员拆下活动部，从而完整地将靶材从底盘上取下。

1.一种靶材模具，包括固定部（1）与活动部（2），其特征在于，所述固定部（1）底部固定设置有底盘（3），所述活动部（2）安设在底盘（3）上，所述固定部（1）面向活动部（2）一端侧壁安设有右弧形槽（4），所述活动部（2）面向固定部（1）一端侧壁安设有左弧形槽（5），所述固定部（1）侧壁开设有凹槽（6），所述凹槽（6）中安设有按板（7），所述固定部（1）中开设有工作腔，所述工作腔与凹槽（6）连通，所述工作腔中安设有用于固定活动部（2）的固定机构。

2.根据权利要求1所述的一种靶材模具，其特征在于，所述活动部（2）底部开设有两个放置槽（8），两个所述放置槽（8）中均固定设置有上钩杆（9）。

3.根据权利要求2所述的一种靶材模具，其特征在于，所述底盘（3）顶部开设有两个运动槽（10），两个所述运动槽（10）的位置与两个放置槽（8）的位置相对应，所述运动槽（10）中滑动连接有下钩杆（11）。

4.根据权利要求3所述的一种靶材模具，其特征在于，所述固定机构包括升降块（12）、推杆（13）、竖板（14）以及第一伸缩弹簧（15），所述升降块（12）安设在按板（7）底部，所述推杆（13）与工作腔底部滑动连接，所述升降块（12）与推杆（13）侧壁相抵，所述升降块（12）与推杆（13）均为弧形设计，所述推杆（13）另一端与下钩杆（11）侧壁固定连接，所述竖板（14）固定设置在推杆（13）顶部，所述第一伸缩弹簧（15）一端与竖板（14）侧壁固定连接，另一端与所述工作腔侧壁固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种靶材模具，其特征在于，所述固定部（1）背对活动部（2）一端侧壁开设有通槽（16），两个所述升降块（12）之间固定安设有连接杆（32），所述连接杆（32）侧壁转动连接有第一支杆（17），所述连接杆（32）侧壁开设有横槽（18），所述横槽（18）中滑动连接有滑块（19），所述滑块（19）侧壁转动连接有第二支杆（20），所述第一支杆（17）远离工作腔一端与第二支杆（20）远离滑块（19）一端转动连接有中轴（21），所述中轴（21）位于通槽（16）上方，所述滑块（19）侧壁还固定连接有横板（22），所述横板（22）顶部固定设置有弧形块（23），所述按板（7）底部固定设置有顶块（24），所述顶块（24）也为弧形设置，所述弧形块（23）与顶块（24）相抵。

6.根据权利要求5所述的一种靶材模具，其特征在于，所述横板（22）远离滑块（19）一端侧壁固定连接有第二伸缩弹簧（25），所述连接杆（32）侧壁固定连接有固定板（26），所述第二伸缩弹簧（25）远离横板（22）一端与固定部（1）侧壁固定连接。

7.一种靶材制备装置，包括加压装置与加压头（28），其特征在于，所述加压头（28）位于加压装置上方，所述加压装置内具有加压腔（27），权利要求1-6中任意一项所述的模具置于所述加压腔（27）内。

8.根据权利要求7所述的一种靶材制备装置，其特征在于，所述加压腔（27）中安设有气缸（29），所述气缸（29）输出端固定设置有顶板（30），所述顶板（30）顶部固定连接有两个固定杆（31），两个所述固定杆（31）的位置对应两个通槽（16）位置，所述模具放置在顶板（30）上。