机械手装置的制作方法

本申请涉及半导体加工领域，尤其是指一种机械手装置。

背景技术：

1、机械手装置是半导体自动化加工中必不可少的装置，其能够实现晶圆的拾取、运输等功能。机械手装置包括用于拾取晶圆的拾取组件，在晶圆加工的过程中，拾取组件会附着水珠、灰尘、颗粒物等杂质，当拾取组件拾取晶圆时，拾取组件上附着的杂质会对晶圆产生污染，导致晶圆损伤。

2、若通过人工对拾取组件进行清洁，一方面可能引入新的杂质或原有杂质重新附着，造成二次污染，导致晶圆仍受到污染，另一方面人工清洁所需的时间较长，导致加工效率下降。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种可以避免晶圆污染，提高加工效率的机械手装置。

2、为实现上述目的，本申请采用如下技术方案：

3、一种机械手装置，其包括基座组件、机械臂组件、拾取组件和清洁组件，机械臂组件安装于基座组件，并能够在基座组件的带动下平移、旋转或升降，机械臂组件包括机械臂驱动单元以及与机械臂驱动单元连接的摆臂组合，机械臂驱动单元用于驱动摆臂组合沿第一预设方向伸长或缩短，摆臂组合包括依次连接的若干摆臂，将若干摆臂中远离机械臂驱动单元的摆臂定义为远端摆臂，拾取组件与远端摆臂连接，清洁组件包括导气件和吹气件，导气件安装于远端摆臂，并位于远端摆臂与拾取组件的结合处，导气件中形成第一气道，吹气件覆盖导气件及结合处，吹气件中形成与第一气道连通的吹气道，吹气道贯穿吹气件，使吹气道流出的气体覆盖拾取组件的表面。

4、在一些实施例中，吹气件中还形成有边缘呈弧形的气腔，气腔与吹气道连通，气腔背离吹气道的一端形成供气体流出的开口，开口的宽度大于吹气道的宽度。

5、在一些实施例中，导气件中还形成有第二气道，拾取组件中形成与第二气道连通的通气道，拾取组件的表面具有与通气道连通的吸附口，第二气道用于抽取气体，吸附口处形成负压，使拾取组件抓取晶圆；或第二气道用于通入气体，吸附口处形成正压，使拾取组件放下晶圆。

6、在一些实施例中，拾取组件包括两块板状且层叠粘合设置的晶圆手指，两块晶圆手指分别为铝和碳纤维复合材料，通气道形成于两块晶圆手指之间。

7、在一些实施例中，基座组件包括平移机构，机械臂组件安装于平移机构，并能够在平移机构的带动下沿第二预设方向往复运动，第二预设方向与水平面平行；

8、平移机构包括横向导轨、第一安装板和平移驱动单元，横向导轨的延伸方向与第二预设方向平行，第一安装板安装于横向导轨，并能够沿第二预设方向相对横向导轨滑移，机械臂组件被固定于第一安装板，平移驱动单元安装于横向导轨，并用于驱动第一安装板。

9、在一些实施例中，基座组件包括升降机构，机械臂组件安装于升降机构，并能够在升降机构的带动下沿第三预设方向往复运动，第三预设方向垂直于水平面；

10、升降机构包括固定板、纵向导轨、第二安装板、丝杆和丝杆驱动单元，固定板沿第三预设方向延伸，纵向导轨安装于固定板，第二安装板安装于纵向导轨并能够相对纵向导轨滑移，机械臂组件被固定于第二安装板，丝杆沿第三预设方向延伸，并穿设于第二安装板且与第二安装板螺纹连接，丝杆驱动单元与丝杆连接，并用于驱动丝杆旋转。

11、在一些实施例中，固定板的数量为至少两个，其中一个固定板的厚度大于其余的固定板的厚度，使第二安装板通过纵向导轨连接于固定板时，厚度较小的固定板与纵向导轨之间形成间隙，间隙用于调节纵向导轨与固定板之间的预紧程度。

12、在一些实施例中，基座组件包括旋转机构，机械臂组件安装于旋转机构，并能够在旋转机构的带动下绕一参考直线旋转，参考直线垂直于水平面；

13、旋转机构包括旋转平台和旋转驱动单元，旋转平台连接于旋转驱动单元，并能够在旋转驱动单元的作用下绕参考直线旋转，机械臂组件被固定于旋转平台。

14、在一些实施例中，各摆臂之间通过驱动轴连接，同一摆臂中用于连接不同摆臂的两个驱动轴之间通过同步带传动连接。

15、在一些实施例中，将若干摆臂中与机械臂驱动单元相连的摆臂定义为近端摆臂，近端摆臂与远端摆臂之间还连接有中间摆臂，中间摆臂的长度与近端摆臂的长度相等，使摆臂组合在机械臂驱动单元的驱动下，远端摆臂沿第一预设方向做直线运动。

16、上述机械手装置，通过将形成第一气道的导气件安装于远端摆臂，并使形成吹气道的吹气件覆盖导气件以及拾取组件和远端摆臂的结合处，使导气件吹出的气体能够经第一气道和吹气道吹过拾取组件的表面，实现对拾取组件的清洁，避免人工对拾取组件进行清洁，在提高晶圆的生产效率的同时避免晶圆受到污染。

1.一种机械手装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的机械手装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的机械手装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的机械手装置，其特征在于，