用于三坐标测量的定位夹具和三坐标测量装置的制作方法

本技术涉及机械，尤其涉及一种用于三坐标测量的定位夹具和三坐标测量装置。

背景技术：

1、三坐标测量机（coordinate measuring machine，简称 cmm）是一种通过探测工件表面点集，并通过计算机计算来确定工件尺寸、形状和位置公差的精密测量设备。 简单来说，它就是给物体建立三维坐标系，然后用探针去“触摸”物体表面各个点，通过计算这些点的坐标值，来精确描述物体的几何特征。

2、在三坐标测量技术领域，对被测件进行精确、稳定的固定是确保测量精度的关键环节。目前，常见的固定方式通常采用打胶（如使用橡皮泥、黏土或专用胶剂）将被测件粘接固定在测量平台上。这种方法虽然在一定程度上能够实现固定，但存在明显的局限性：首先，打胶固定过程繁琐耗时，每次更换被测件均需经历清洁残胶、重新涂胶、等待固化等步骤，严重制约了测量效率，尤其无法满足批量被测件的快速连续测量需求；其次，胶体本身的稳定性及涂覆的均匀性可能引入微小的位移或变形，影响测量的重复精度和准确性；再者，打胶方式难以实现被测件的精确定位，每次安装后通常需要操作人员手动进行繁琐的坐标系找正操作，不仅增加了劳动强度，也带来了人为误差的风险。这些问题使得现有技术难以支撑三坐标测量装置实现高效、高精度、批量化测量的作业目标。

3、如在半导体零部件中，负载锁定腔室中的晶圆承载件起到支撑晶圆，冷却晶圆的作用，晶圆承载件的平面的平行度不好会导致晶圆滑片，在使用三坐标测量机批量测量晶圆承载件时，需要频繁更换产品，每次测量需要重新打胶固定产品并手动坐标系找正才能进行测量，严重影响了测量效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于三坐标测量的定位夹具和三坐标测量装置，能快速对被测件定位固定，避免了每次测量更换被测件都需要重新手动调整被测件进行坐标系找正，有利于提高三坐标测量时被测件的稳定性，以及有利于保证三坐标测量的精准性。

2、为实现上述目的，本实用新型的第一方面，所述用于三坐标测量的定位夹具包括基座、第一夹持件、第二夹持件和定位件；所述基座包括底座、第一固定凸台和滑块，所述第一固定凸台固定设置于所述底座的一端，所述第二夹持件可拆卸设置于所述第一固定凸台，所述滑块滑动设置于所述底座并在所述底座上朝向或远离所述第一固定凸台滑动，所述第一夹持件可拆卸设置于所述滑块并与所述第二夹持件相对设置，所述第一夹持件和所述第二夹持件中的至少一个的作用面设有用于承托被测件的承托台，且所述第一夹持件在所述滑块的带动下朝向或远离所述第二夹持件运动以与所述第二夹持件配合夹紧或松开所述被测件；所述定位包括固定块和定位挡块，所述固定块沿所述承托台的底部延伸的方向设置于所述第二夹持件，所述定位挡块垂直设置于所述固定块的一端部并沿远离所述第二夹持件的侧壁延伸以用于抵持所述被测件的侧端部。

3、优选的，所述定位夹具还包括旋转手柄，所述底座的另一端设有第二固定凸台，所述第一固定凸台和所述第二固定凸台之间的所述底座的顶面设有滑槽，所述旋转手柄贯穿所述第二固定凸台并与所述滑块固定连接。

4、优选的，所述第一夹持件和所述第二夹持件远离所述底座的一侧设有至少2个夹持爪，至少2个所述夹持爪沿所述第一夹持件或所述第二夹持件的宽度方向顺次间隔排列设置，每个所述夹持爪的至少一个作用面均设有所述承托台，且所述承托台沿所述夹持爪的宽度方向延伸设置。

5、优选的，所述承托台朝远离所述作用面内凹设置，且所述承托台由所述夹持爪的顶端部朝向所述底座延伸设置；所述承托台的侧壁与所述作用面的距离大于等于1.5mm，且小于等于35mm；所述承托台的底部与所述夹持爪的顶端部的距离大于等于2mm，且小于等于10mm。

6、优选的，所述定位夹具还包括垫片，所述垫片设置于所述承托台的侧壁。

7、优选的，所述第二夹持件的第二作用面设有内凹的安装槽，所述安装槽沿所述第二夹持件的宽度方向延伸设置，所述固定块卡设于所述安装槽内，且所述安装槽内凹的深度等于所述固定块的厚度。

8、优选的，所述安装槽内沿所述第二夹持件的宽度方向顺次设有若干个间隔设置的螺纹过孔，所述固定块设有沿所述固定块延伸方向设置的腰型孔，所述定位件通过螺钉顺次穿过所述腰型孔和所述螺纹过孔而固定于所述第二夹持件。

9、优选的，所述第一固定凸台设有第一沉头孔，所述第二夹持件设有与所述第一沉头孔适配的第一螺纹过孔，所述第二夹持件通过螺钉顺次穿过所述第一沉头孔和所述第一螺纹过孔而固定于所述第一固定凸台；所述滑块设有第二螺纹过孔，所述第一夹持件设有与所述第二螺纹过孔适配的第二沉头孔，所述第一夹持件通过螺钉顺次穿过所述第二沉头孔和所述第二螺纹过孔而固定于所述滑块。

10、优选的，所述定位夹具还包括底板和若干定位销，所述底板设有若干呈阵列排布的螺纹孔，若干所述定位销围绕所述基座的四周侧壁设置且插入所述螺纹孔内，以将所述基座固定于所述底板。

11、本实用新型的第二方面，所述三坐标测量装置包括测头系统和前述的用于三坐标测量的定位夹具。

12、本实用新型的所述用于三坐标测量的定位夹具和三坐标测量装置的有益效果在于：

13、（1）本申请通过所述滑块带动所述第一夹持件运动即可使所述第一夹持件和所述第二夹持件实现快速夹紧固定所述被测件，以及松开对被测件的固定，相对于现有技术中需打胶固定被测件才能进行测量，本申请的定位夹具能快速更换被测件，有利于提高三坐标测量装置的测量效率，使三坐标测量装置实现批量测量被测件。

14、（2）本申请不仅通过所述第一夹持件和所述第二夹持件夹紧固定了被测件的第一端部的边缘，而且通过定位挡块抵持所述被测件的与所述第一端部边缘垂直的侧端部的边缘，从而能快速对所述被测件定位固定，避免了每次测量更换被测件都需要重新手动调整被测件进行坐标系找正，使得有利于提高三坐标测量时被测件的稳定性，以及有利于保证三坐标测量的精准性，而且重复定位稳定性好，有效解决了三坐标测量中批量测量定位的问题，使三坐标测量装置实现了快速批量测量被测件，以及对相似被测件进行一次装夹即可测量全部尺寸的目的。

1.一种用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，包括基座、第一夹持件、第二夹持件和定位件；所述基座包括底座、第一固定凸台和滑块，所述第一固定凸台固定设置于所述底座的一端，所述第二夹持件可拆卸设置于所述第一固定凸台，所述滑块滑动设置于所述底座并在所述底座上朝向或远离所述第一固定凸台滑动，所述第一夹持件可拆卸设置于所述滑块并与所述第二夹持件相对设置，所述第一夹持件和所述第二夹持件中的至少一个的作用面设有用于承托被测件的承托台，且所述第一夹持件在所述滑块的带动下朝向或远离所述第二夹持件运动以与所述第二夹持件配合夹紧或松开所述被测件；所述定位包括固定块和定位挡块，所述固定块沿所述承托台的底部延伸的方向设置于所述第二夹持件，所述定位挡块垂直设置于所述固定块的一端部并沿远离所述第二夹持件的侧壁延伸以用于抵持所述被测件的侧端部。

2.根据权利要求1所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，还包括旋转手柄，所述底座的另一端设有第二固定凸台，所述第一固定凸台和所述第二固定凸台之间的所述底座的顶面设有滑槽，所述旋转手柄贯穿所述第二固定凸台并与所述滑块固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，所述第一夹持件和所述第二夹持件远离所述底座的一侧设有至少2个夹持爪，至少2个所述夹持爪沿所述第一夹持件或所述第二夹持件的宽度方向顺次间隔排列设置，每个所述夹持爪的至少一个作用面均设有所述承托台，且所述承托台沿所述夹持爪的宽度方向延伸设置。

4.根据权利要求3所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，所述承托台朝远离所述作用面内凹设置，且所述承托台由所述夹持爪的顶端部朝向所述底座延伸设置；所述承托台的侧壁与所述作用面的距离大于等于1.5mm，且小于等于35mm；所述承托台的底部与所述夹持爪的顶端部的距离大于等于2mm，且小于等于10mm。

5.根据权利要求4所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，所述定位夹具还包括垫片，所述垫片设置于所述承托台的侧壁。

6.根据权利要求1所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，所述第二夹持件的第二作用面设有内凹的安装槽，所述安装槽沿所述第二夹持件的宽度方向延伸设置，所述固定块卡设于所述安装槽内，且所述安装槽内凹的深度等于所述固定块的厚度。

7.根据权利要求6所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，所述安装槽内沿所述第二夹持件的宽度方向顺次设有若干个间隔设置的螺纹过孔，所述固定块设有沿所述固定块延伸方向设置的腰型孔，所述定位件通过螺钉顺次穿过所述腰型孔和所述螺纹过孔而固定于所述第二夹持件。

8.根据权利要求1所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，所述第一固定凸台设有第一沉头孔，所述第二夹持件设有与所述第一沉头孔适配的第一螺纹过孔，所述第二夹持件通过螺钉顺次穿过所述第一沉头孔和所述第一螺纹过孔而固定于所述第一固定凸台；

9.根据权利要求1所述的用于三坐标测量的定位夹具，其特征在于，还包括底板和若干定位销，所述底板设有若干呈阵列排布的螺纹孔，若干所述定位销围绕所述基座的四周侧壁设置且插入所述螺纹孔内，以将所述基座固定于所述底板。

10.一种三坐标测量装置，其特征在于，包括测头系统和如权利要求1-9任一项所述的用于三坐标测量的定位夹具。