一种晶圆载体抓取装置的制作方法

本技术涉及一种晶圆载体抓取装置。

背景技术：

1、现有的晶圆在外观检测时由于产品的不同存在两种承载方式;

2、方式一:参考图图1，载体2包括晶圆21、蓝膜22和铁环23，蓝膜22顶部设有黏胶，晶圆21和铁环23都粘附在顶部，晶圆21放置在蓝膜22上表面的圆心处，铁环23的中心为空，铁环23外径外径227mm，厚度为1.2mm；

3、方式二:参考图图2，载体2’包括晶圆21’、蓝膜22’和子母环23’，蓝膜22’表面涂有黏胶，晶圆21’放置在蓝膜22’上表面的圆心处，子母环23’子环和母环为一对扣合的圆环，蓝膜22’夹在子环和母环之间，子母环23’外径为186mm，厚度为6mm，子母环23’单侧的材料宽度7mm；

4、现采用的夹嘴式夹具1参考图3至图4，结合附图可知，该夹具包括与机器人连接的安装臂11，设置在安装臂11抓取前端的夹持板12，夹持板12的前端为夹嘴区14，在夹嘴区14的顶部设置夹块15，夹块15通过驱动机构13实现上下运动，通过夹块15和夹嘴区14的作用从而夹持铁环23的本体；

5、驱动机构13的结构参考图4，包括后方的气缸131、与气缸131的推杆相连的推块132、与夹块15后方连接的升降块136，推块132和升降块136的贴合面为一升降斜面，在升降块136的外面设置一罩体133，升降块136的顶部为平面，该平面竖立一导杆134，导杆134向上穿透罩体133并与其滑动配合，导杆134的外侧套设一复位弹簧135，弹簧135顶部抵到罩体133的内壁顶部；

6、气缸131推动推块132实现夹块15与夹嘴区14的张开与闭合实现抓取与放置；

7、夹嘴式夹具1在抓取载体2时较为顺利，原因是铁环23较薄厚度1.2mm且平整度好夹取较为稳定，但是在抓取载体2’时存在不足，主要原因是子母环23’厚度6mm，材料宽度7mm且为圆弧状，导致夹持面积小，导致夹持子母环23’时硅片不稳定。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆载体抓取装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆载体抓取装置，包括与机器人连接的安装臂、设置在安装臂抓取前端的支撑板、沿所述支撑板滑动连接的移动块以及推动所述移动块沿抓取方向往复移动的气缸；

3、在所述支撑板靠近抓取端一侧设有一对可拆卸的第一夹持柱；

4、在所述移动块朝向抓取端一侧设有也一对可拆卸的第一夹持柱；

5、2对所述第一夹持柱对应载体的外轮廓；

6、在所述移动块朝向抓取端一侧还设有一对可拆卸的第二夹持柱；

7、其中，所述支撑板上的所述第一夹持柱可被替换为第二夹持柱，则2对所述第二夹持柱对应载体的外轮廓；

8、在所述支撑板上还设有用于检测抓取物品的传感器。

9、进一步，所述支撑板上设有供所述移动块移动的滑槽。

10、进一步，所述支撑板靠近抓取端一侧设有缺口，所述第一夹持柱/所述第二夹持柱分别设置于所述缺口的两侧。

11、进一步，所述移动块包括基体，所述气缸的推杆连接所述基体的后方；

12、在所述基体的顶部分别设有用于安装一对所述第一夹持柱的第一延伸杆和用于安装一对所述第二夹持柱的第二延伸杆。

13、进一步，所述第一夹持柱和所述第二夹持柱都位于所述支撑板下方。

14、进一步，所述第一夹持柱包括柱体和螺丝，所述柱体通过所述螺丝分别连接到所述支撑板/所述移动块。

15、进一步，在所述柱体的外侧还设有分别卡住抓取物品上下表面的挡料环。

16、与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

17、改进后的抓取装置采用四个可根据载体尺寸进行更换的对应的夹持柱来固定载体，实现较为稳定的抓取2种载体，实现实现2种载体在单台机兼容作业的目的。

1.一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：包括与机器人连接的安装臂（31）、设置在安装臂（31）抓取前端的支撑板（32）、沿所述支撑板（32）滑动连接的移动块（33）以及推动所述移动块（33）沿抓取方向往复移动的气缸（35）；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：所述支撑板（32）上设有供所述移动块（33）移动的滑槽（321）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：所述支撑板（32）靠近抓取端一侧设有缺口（322），所述第一夹持柱（34）/所述第二夹持柱（36）分别设置于所述缺口（322）的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：所述移动块（33）包括基体（331），所述气缸（35）的推杆连接所述基体（331）的后方；

5.根据权利要求1所述的一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：所述第一夹持柱（34）和所述第二夹持柱（36）都位于所述支撑板（32）下方。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：所述第一夹持柱（34）包括柱体（342）和螺丝（341），所述柱体（342）通过所述螺丝（341）分别连接到所述支撑板（32）/所述移动块（33）。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆载体抓取装置，其特征在于：在所述柱体（342）的外侧还设有分别卡住抓取物品上下表面的挡料环（3421）。