一种分子泵装拆工具的制作方法

本说明书一个或多个实施例涉及分子泵装拆，尤其涉及一种分子泵装拆工具。

背景技术：

1、分子泵是一种真空泵，它通过高速旋转的转子将动量传递给气体分子，从而将气体分子从泵的入口定向驱送到出口，达到抽真空的目的。它是在高真空和超高真空领域应用最广泛的核心设备之一。在芯片制造用离子注入机中，分子泵也是建立高真空的重要一环，对于确保离子束的精准传输、防止杂质污染至关重要，因此对分子泵的质量、数量、安装工艺等方面也提出了极高的要求。在设备调试过程中人工安装分子泵操作困难，出现了诸多问题。

2、传统的调试过程中，由于分子泵重量大，使用的分子泵型号重量较大时，在装配时，靠人工托举装配的难度很大，装配时间较长时容易出现脱力情况，容易造成意外，长时间作业下，装配人员易产生疲劳积累，降低了安装精度与安全性。

3、为此，我们设计了一种分子泵装拆工具用来解决上述问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种分子泵装拆工具，以解决问题。

2、基于上述目的，本实用新型提供了提供的一种分子泵装拆工具，包括支架主体，所述支架主体的顶部固定安装有安装板，所述安装板的顶部固定安装有横板，所述横板的底部转动安装有丝杠，所述丝杠的外侧螺纹套接有螺母，所述螺母的一侧固定连接有移动板，所述移动板的一侧固定连接有托举板，所述托举板的顶部固定连接有导向手臂，所述导向手臂的一端活动连接有固定环。

3、进一步地，所述固定环的一侧固定连接有圆柱，所述圆柱的一端固定连接有限位柱，所述导向手臂的一侧开设有圆孔，所述限位柱转动插接在圆孔的内部。

4、进一步地，所述安装板的一侧固定安装有滑轨，所述滑轨的外侧滑动连接有滑块，所述滑块与移动板固定连接。

5、进一步地，所述横板的顶部固定安装有安装块，所述安装块的顶部转动安装有手轮，所述手轮通过转轴与丝杠固定连接。

6、进一步地，所述支架主体的底部活动安装有脚轮，所述支架主体的顶部一侧固定安装有配重块。

7、进一步地，所述安装板的一侧底部固定安装有固定座，所述丝杠转动安装在固定座的顶部。

8、从上面所述可以看出，本实用新型提供的有益效果是：

9、1.通过转动手轮，驱动丝杠转动，从而调节托举板在竖直方向上的高度，直至提升分子泵至所需高度，利用导向手臂与固定环实现泵体的悬挂与姿态调整，使泵体法兰与腔体法兰精准对位，安装过程中，脚轮辅助工具精确定位，配重块平衡负载，避免倾覆风险。

1.一种分子泵装拆工具，包括支架主体（1），其特征在于，所述支架主体（1）的顶部固定安装有安装板（2），所述安装板（2）的顶部固定安装有横板（5），所述横板（5）的底部转动安装有丝杠（6），所述丝杠（6）的外侧螺纹套接有螺母（8），所述螺母（8）的一侧固定连接有移动板（9），所述移动板（9）的一侧固定连接有托举板（12），所述托举板（12）的顶部固定连接有导向手臂（13），所述导向手臂（13）的一端活动连接有固定环（15）。

2.如权利要求1所述的一种分子泵装拆工具，其特征在于：所述固定环（15）的一侧固定连接有圆柱（16），所述圆柱（16）的一端固定连接有限位柱，所述导向手臂（13）的一侧开设有圆孔（14），所述限位柱转动插接在圆孔（14）的内部。

3.如权利要求2所述的一种分子泵装拆工具，其特征在于：所述安装板（2）的一侧固定安装有滑轨（10），所述滑轨（10）的外侧滑动连接有滑块（11），所述滑块（11）与移动板（9）固定连接。

4.如权利要求3所述的一种分子泵装拆工具，其特征在于：所述横板（5）的顶部固定安装有安装块（17），所述安装块（17）的顶部转动安装有手轮（18），所述手轮（18）通过转轴与丝杠（6）固定连接。

5.如权利要求4所述的一种分子泵装拆工具，其特征在于：所述支架主体（1）的底部活动安装有脚轮（4），所述支架主体（1）的顶部一侧固定安装有配重块（3）。

6.如权利要求5所述的一种分子泵装拆工具，其特征在于：所述安装板（2）的一侧底部固定安装有固定座（7），所述丝杠（6）转动安装在固定座（7）的顶部。