流体移送用连接器的制作方法

本发明涉及一种流体移送用连接器。

背景技术：

1、例如，如专利文献1所示，为了移送半导体制造装置中使用的流体（化学溶液或气体），可以使用流体移送用连接器。流体移送用连接器例如包括：插座，其固定设置在设有临时贮存流体的缓冲罐的建筑物侧；以及插头，其固定于从罐车引出的软管的前端。通过将插头与插座连接，流体从罐车移送至缓冲罐。

2、专利文献1所公开的流体移送用连接器，在将插头插入插座侧的插入口并固定后，清洗插头的前端及插座的前端。之后，通过插座的内部机构向插头侧伸出，使插头侧的阀体与插座侧的阀体抵接，同时通过使各个阀体相互退避来形成流路，从而进行流体的移送。

3、专利文献1所公开的流体移送用连接器，在相对于密封部件（用于对插入插座的插头的外周进行密封）的与插头的前端相反一侧的位置，向插座的内部机构供给清洗液，由此防止在流体移送时清洗液混入流体。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1日本特开2020-128753号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、然而，专利文献1所公开的流体移送用连接器，在流体移送时，在比密封部件更靠插头前端侧的位置，不仅是插头侧的阀体和插座侧的阀体上附着有流体，插座的内部机构上也附着有流体。因此，为了可靠地清洗这些部位，需要供给足够量的清洗液，清洗所需的时间长，且需要大量的清洗液。

3、本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种流体移送用连接器，其能够缩短在插头的第一阀体部不与插座的第二阀体部接触的阻断状态下清洗插头和插座所需的时间，并且减少清洗所需的清洗液的流量。

4、用于解决问题的技术手段

5、本发明为了解决上述问题，采用了下述的方法。

6、本发明的第一方案的流体移送用连接器，包括：插头，其被安装于使流体流通的第一配管的端部；以及插座，其供所述插头插入，并且所述插座与使从所述第一配管流入的流体流出的第二配管连接，所述插头具有：第一阀体部；第一收纳部，其为筒状，并将所述第一阀体部以能够沿第一轴线移动的方式进行收纳；以及第一作用力产生部，其产生使所述第一阀体部与所述第一收纳部接触而成为所述第一配管的流体不从所述第一收纳部流出的第一关闭状态的作用力，所述插座具有：第二阀体部；第二收纳部，其为筒状，并将所述第二阀体部以能够沿第二轴线移动的方式进行收纳；第二作用力产生部，其产生使所述第二阀体部与所述第二收纳部接触而成为流体不流入所述第二收纳部的第二关闭状态的作用力；壳体部，其为筒状，并且所述第一收纳部插入其一端侧，所述第二收纳部插入其另一端侧；固定机构，其将所述第一收纳部以无法沿所述第二轴线移动的方式固定于所述壳体部；以及移动机构，其通过使所述第二收纳部相对于所述壳体部沿所述第二轴线在接近或远离所述第一收纳部的方向上移动，从而在所述第一阀体部与所述第二阀体部接触的流通状态、以及所述第一阀体部不与所述第二阀体部接触的阻断状态之间进行切换，所述壳体部具有：第一通孔，其使清洗液从形成于外周面的第一流入口朝向形成于内周面的第一流出口流入；以及第二通孔，其将所述清洗液从形成于所述内周面的第二流入口朝向形成于所述外周面的第二流出口排出，所述第一收纳部与所述第二收纳部相对配置，并且具有以绕所述第一轴线包围所述第一阀体部的方式形成为环状的第一前端面；所述第二收纳部与所述第一收纳部相对配置，并且具有以绕所述第二轴线包围所述第二阀体部的方式形成为环状的第二前端面；在所述第二前端面上，绕所述第二轴线形成有环状槽；并且在所述流通状态下，安装于所述环状槽中的密封部件与所述第一前端面接触，形成绕所述第一轴线延伸的密封区域。

7、根据本发明的第一方案的流体移送用连接器，作业人员将插头插入插座，并使插座所具有的固定机构动作，由此插头以无法沿第二轴线移动的方式固定于插座的壳体部。在插头固定于壳体部的状态下，当通过移动机构使第二收纳部沿第二轴线移动而将阻断状态切换为流通状态时，插头的第一阀体部与插座的第二阀体部接触。由此，成为流体从插头侧的第一配管向插座侧的第二配管流通的状态。

8、根据本发明的第一方案的流体移送用连接器，在流通状态下，插头的第一收纳部的第一前端面与插座的第二收纳部的第二前端面相对配置。在流通状态下，安装于第二前端面上形成的环状槽中的密封部件与第一前端面接触，形成绕第一轴线延伸的密封区域。因此，在流通状态下，流体附着的区域被限制为：插头的密封区域所包围的附着区域、以及插座的密封区域所包围的附着区域。

9、根据本发明的第一方案的流体移送用连接器，在流通状态下，流体附着的区域被密封部件限制，因此，与不进行该限制的情况相比，能够缩短在阻断状态下清洗液从第一通孔流入壳体部内部的时间，并且减少清洗所需的清洗液的流量。

10、如上所述，根据本发明的第一方案的流体移送用连接器，能够缩短在插头的第一阀体部不与插座的第二阀体部接触的阻断状态下清洗插头和插座所需的时间，并且减少清洗所需的清洗液的流量。

11、本发明的第二方案的流体移送用连接器，在第一方案中，进一步为以下结构。即，所述第一流出口在所述流通状态下，配置于与所述第二收纳部的外周面的整个区域相对的位置，并且在所述阻断状态下，配置于不与所述第二收纳部的外周面的一部分区域相对的位置。

12、根据本发明的第二方案的流体移送用连接器，在流通状态下，向壳体部引导清洗液的第一流出口配置于与第二收纳部的外周面的整个区域相对的位置，因此能够防止清洗液侵入密封部件附近而混入流体的不良情况。此外，还能够防止从密封区域意外流出的流体侵入第一流出口的不良情况。

13、本发明的第三方案的流体移送用连接器，在第一方案或第二方案中，进一步为以下结构。即，所述插座具有：第一接头部，其具有沿与所述第二轴线平行的第三轴线延伸的流入流路、以及连结所述流入流路与所述第一流入口的第一连结流路；以及第二接头部，其具有沿与所述第二轴线平行的第四轴线延伸的排出流路、以及连结所述第二流出口与所述排出流路的第二连结流路。

14、根据本发明的第三方案的流体移送用连接器，使清洗液流入第一流入口的第一接头部的流入流路沿与第二轴线平行的第三轴线延伸；并且将从第二流出口导出的清洗液排出的第二接头部的排出流路沿与第二轴线平行的第四轴线延伸。因此，能够减小沿第二轴线观察时插座的投影面积（占地面积），实现流体移送用连接器的小型化。

15、本发明的第四方案的流体移送用连接器，在第一方案或第二方案中，进一步为以下结构。即，在所述流通状态下，流体附着于所述插头的所述密封区域所包围的附着区域，所述第一通孔形成为：在所述阻断状态下，所述附着区域配置于穿过所述第一流入口与所述第一流出口的直线上。

16、根据本发明的第四方案的流体移送用连接器，由于所述附着区域配置于穿过第一流入口与第一流出口的直线上，因此，能够利用从第一流出口导入壳体部内部的清洗液可靠地清洗附着区域，提高清洗效果。

17、本发明的第五方案的流体移送用连接器，在第四方案中，进一步为以下结构。即，在包含所述第一流入口和所述第二轴线的平面中，连接所述第一流入口与所述第一流出口的直线与所述第二轴线所成的角度被设定在30度及以上且80度及以下的范围内。

18、根据本发明的第五方案的流体移送用连接器，通过将连接第一流入口与第一流出口的直线与第二轴线所成的角度设定在30度及以上且80度及以下的范围内，能够在缩短插座沿第二轴线的长度而实现小型化的同时，利用清洗液可靠地清洗附着区域。

19、本发明的第六方案的流体移送用连接器，在第一方案或第二方案中，进一步为以下结构。即，在沿所述第二轴线的方向上观察所述第一通孔时，连接所述第一流入口与所述第一流出口的直线相对于连接所述第一流入口与所述第二轴线的直线倾斜配置。

20、根据本发明的第六方案的流体移送用连接器，通过使连接第一流入口与所述第一流出口的直线相对于连接第一流入口与第二轴线的直线倾斜，能够使流入壳体部内部的清洗液绕第二轴线旋转，从而提高清洗效果。

21、发明效果

22、根据本发明，能够提供一种流体移送用连接器，其能够缩短在插头的第一阀体部不与插座的第二阀体部接触的阻断状态下清洗插头和插座所需的时间，并且减少清洗所需的清洗液的流量。